8800401-3F_VT-S730_MaintenanceManual(C)PDFA - 第30页
2 ． 装置规格 2-6 基板 厚度 1.6 mm 基板 厚度 2.0 mm 基板 厚度 3.0 mm
2．装置规格
2-5
基板厚度 0.4mm
基板厚度 0.8mm
基板厚度 1.2mm
2．装置规格
2-6
基板厚度 1.6mm
基板厚度 2.0mm
基板厚度 3.0mm
2．装置规格
2-7
基板厚度 4.0mm
2 ． 装置规格 2-6 基板 厚度 1.6 mm 基板 厚度 2.0 mm 基板 厚度 3.0 mm