8800401-3F_VT-S730_MaintenanceManual(C)PDFA - 第33页
2 ． 装置规格 2-9 2.3 上下游 I/F ・ 上下游Ｉ ／Ｆ适用于检查及 PASS 模式。 ・ 上下游Ｉ ／Ｆ信号用于检查 装置与上下游装 置间基板的 交接时序及检查结果的 传递。 信号时序 时序图 ( 标准 模式 ) （ 1 ）搬入方法 （上游装置 搬入基板） 基板检查装置处 于可以搬入基板 的状态时（从 发出检查指令到 到位传感器 ON ( 传感器关 闭 ) ） ，向上游 输出 READY 信号。 （开始输出 READY…
2．装置规格
2-8
通过变更光纤传感器受光部的高度，能够变更基本检测位置。
光轴中心位置默认在基板中心，变更后位于从装置前侧的基板边缘到基板宽度的约 2/3 的位置。（光轴
中心位置因基板弯曲会变动。）
光纤传感器的高度变更请按照以下步骤进行。
高度变更处
1.
请拧松下图的螺丝，将固定块按到下面。
2.
按住固定块拧紧螺丝进行固定。
3.
其他 2 处也请同样地变更高度。
传送带
装置前侧
基板导向板
变更后
光纤传感器固定块下部位置
默认
光纤传感器固定块上部位置
2/3
1/2
2．装置规格
2-9
2.3 上下游 I/F
・ 上下游Ｉ／Ｆ适用于检查及 PASS 模式。
・ 上下游Ｉ／Ｆ信号用于检查装置与上下游装置间基板的交接时序及检查结果的传递。
信号时序
时序图(标准模式)
（1）搬入方法（上游装置搬入基板）
基板检查装置处于可以搬入基板的状态时（从发出检查指令到到位传感器ON(传感器关
闭)），向上游输出READY信号。（开始输出READY信号的同时，传送带开始运转、直至
到位传感器ON。）
检查装置处于不可搬入基板的状态时（可搬入基板状态之外的状态），向上游输出BUSY信号
（READY信号OFF）。
（2）搬出方法（搬出基板至下游装置）
基板检查装置处于可以搬出基板的状态时，确认下游的READY信号后再开始搬出。
输送机上没有基板、下游确认已经接收到基板后，搬出动作完成。
※标准模式情况下，判定为良品基板时输出结果A、判定为不良品基板时输出结果B。
READY
BUSY
上游 READY
( 输出给上游
装置的信号)
ON
OFF
传送带
运转
停止
到位传感器 ON
READY
BUSY
下游 READY
(下游装置输出的信号)
ON
OFF
传送带开始运转
传送带停止
搬出结束
结果 A 或是结果 B 的
输出信号※
ON
OFF
ON
OFF
检查结束
下游装置_基板接收信号
2．装置规格
2-10
时序图(SMEMA 模式)
（1）基板搬入时序图（上游装置搬入基板）
上游装置持有基板，当本装置接收到可以搬出基板信号（上游输出的准备完成信号）后、
且装置本身处于可以接收基板的状态（从发出检查指令到到位传感器ON(传感器关闭)）时、
向上游输出READY信号。（开始输出READY信号的同时，传送带开始运转、直至到位传
感器ON。）
传送带根据上游输出的准备完成信号进行运转。
当本装置处于不能接收基板的状态时（可以接收基板状态之外的状态），READY信号将
OFF。
（2）基板搬出时序图（搬出基板至下游装置）
本装置处于可以搬出基板状态时，输出检查结果信号（良品基板/不良品基板）。当下游装
置接收到检查结果信号后、会输出READY信号给本装置，本装置对READY信号进行确认
并开始搬出基板。
输送机上没有基板后、确认下游READY信号OFF、且检查结果信号OFF后，传送带将停止
运转（基板搬出完成）。
※ SMEMA 模式情况下，判定为良品基板时输出结果 A、判定为不良品基板时输出结果 A 与
结果 B。
传送带
上游 READY
( 输 出 给 上 游 装 置 的
READY 信号)
READY
到位传感器 ON
BUSY
ON
OFF
运转
ON
停止
OFF
输出结果 A 或结果 B 信号※
上游 END
（从上游装置输入的“上游
准备完成”信号）
输送机运转
下游 READY
(从下游装置输入的
“READY”信号)
READY
下游 READY
( 从 下 游 装 置 输 入 的
“READY”信号)
BUSY
ON
OFF
ON
OFF
ON
OFF
从下游装置下游 Ready信号
OFF