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4 ． 日常运行 4-5 4.2 正面门的开与关 基板取出、检查等作业 需要打开正面 门进行操作。 请如下方法打 开正面门。 注 意 偶尔会发生受伤 危险。 开关正面门时，务必 双手握 住把手将门开、关 到位。 使用注意 正面门打开后，联锁装 置开始工作。 装置运行中、除 基板取出等必要情况 之外请勿打正 面门。 使用注意 偶尔会发生受伤危险 , 请不要接触到 装置内部的零件。 使用注意 开关正面门时、顶部框 架会前后滑动 。 将头伸入…
4．日常运行
4-4
断电
・切断电源时，请务必按以下步骤退出系统。没有退出系统而直接切断总开关电源、有可能损坏系统
数据或损伤硬盘而导致数据丢失。
・反复开、关电源，可能导致装置本体故障。
切断电源后，请间隔 3 分钟以后再接通。
・正在退出系统时，请勿再起动或关断总开关，否则可能损伤硬盘、导致数据丢失。
点击主菜单中的［关机］按钮。
显示确认信息。
点击［否］则返回主菜单。
点击［是］。
保存系统数据后，退出运行。
自动关断装置电源。
4．日常运行
4-5
4.2 正面门的开与关
基板取出、检查等作业需要打开正面门进行操作。请如下方法打开正面门。
注 意
偶尔会发生受伤危险。
开关正面门时，务必双手握住把手将门开、关
到位。
使用注意
正面门打开后，联锁装置开始工作。
装置运行中、除基板取出等必要情况之外请勿打正面门。
使用注意
偶尔会发生受伤危险,请不要接触到装置内部的零件。
使用注意
开关正面门时、顶部框架会前后滑动。
将头伸入装置内时，请注意不要撞到顶部框架。
打开正面门
双手分别握住右侧及下方的把手解除门锁后即可打开。
即使握住把手也不能解除门锁时，请按住正面门同时用双手
握住把手。
关闭正面门
双手分别握住右侧及下方的把手将门关上。
使用注意
只有在握住正面门的把手时、门锁才会解除。
开关门时请务必双手握住把手。
使用注意
装置在正常运行中、即使双手握住把手也不能解除门锁。
只有在出现提醒请确认装置内是否残留有基板或异物的对话框、以及按下紧急停止开关
后才能解除门锁。
安全要点
开关正面门时，请注意不要夹到手。请务必握住把手将门开关至完全打开、关闭的位置，
手指请勿伸入内侧。
取手
4．日常运行
4-6
4.3 用手动阀排放活动挡板空气余压的方法
当发生异常时，通过开闭手动阀能够手动排放活动挡板的空气余压。
注 意
偶尔会发生受伤危险。
打开着正面门作业时，请注意不要撞到门。
使用注意
正面门打开后，联锁装置开始工作。
装置运行中、除基板取出等必要情况之外请勿打正面门。
使用注意
偶尔会发生受伤危险,请不要接触到装置内部的零件。
使用注意
开关正面门时、顶部框架会前后滑动。
将头伸入装置内时，请注意不要撞到顶部框架。
1.
打开正面门。
2.
通过操作位于各活动挡板上部的 2 个手动阀，能够排放活动挡板的空气余压。
3.
操作后请将手动阀恢复原来的状态。
手动阀原来的状态 排放余压的状态
使用注意
通过操作阀门，活动挡板可上下动作。
请取掉活动挡板附近的基板后再进行作业。
使用注意
根据空气余压，有时需要多次操作。
使用注意
若没有将阀门恢复到原来的状态，在异常复位时会发生错误。
空气软管
调节栓