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4 ． 日常运行 4-6 4.3 用手动阀排放活动挡板空气余压的方法 当发生异常时，通过开 闭手动阀能够 手动排放活动挡板 的空气余压。 注 意 偶尔会发生受伤危险。 打开着正面门作业时， 请注意不要撞 到门。 使用注意 正面门打开后，联锁装 置开始工作。 装置运行中、除基板取 出等必要情况 之外请勿打正面门 。 使用注意 偶尔会发生受伤危险 , 请不要接触到 装置内部的零件。 使用注意 开关正面门时、顶部框 架会前后滑动 。 将头伸入…
4．日常运行
4-5
4.2 正面门的开与关
基板取出、检查等作业需要打开正面门进行操作。请如下方法打开正面门。
注 意
偶尔会发生受伤危险。
开关正面门时，务必双手握住把手将门开、关
到位。
使用注意
正面门打开后，联锁装置开始工作。
装置运行中、除基板取出等必要情况之外请勿打正面门。
使用注意
偶尔会发生受伤危险,请不要接触到装置内部的零件。
使用注意
开关正面门时、顶部框架会前后滑动。
将头伸入装置内时，请注意不要撞到顶部框架。
打开正面门
双手分别握住右侧及下方的把手解除门锁后即可打开。
即使握住把手也不能解除门锁时，请按住正面门同时用双手
握住把手。
关闭正面门
双手分别握住右侧及下方的把手将门关上。
使用注意
只有在握住正面门的把手时、门锁才会解除。
开关门时请务必双手握住把手。
使用注意
装置在正常运行中、即使双手握住把手也不能解除门锁。
只有在出现提醒请确认装置内是否残留有基板或异物的对话框、以及按下紧急停止开关
后才能解除门锁。
安全要点
开关正面门时，请注意不要夹到手。请务必握住把手将门开关至完全打开、关闭的位置，
手指请勿伸入内侧。
取手
4．日常运行
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4.3 用手动阀排放活动挡板空气余压的方法
当发生异常时，通过开闭手动阀能够手动排放活动挡板的空气余压。
注 意
偶尔会发生受伤危险。
打开着正面门作业时，请注意不要撞到门。
使用注意
正面门打开后，联锁装置开始工作。
装置运行中、除基板取出等必要情况之外请勿打正面门。
使用注意
偶尔会发生受伤危险,请不要接触到装置内部的零件。
使用注意
开关正面门时、顶部框架会前后滑动。
将头伸入装置内时，请注意不要撞到顶部框架。
1.
打开正面门。
2.
通过操作位于各活动挡板上部的 2 个手动阀，能够排放活动挡板的空气余压。
3.
操作后请将手动阀恢复原来的状态。
手动阀原来的状态 排放余压的状态
使用注意
通过操作阀门，活动挡板可上下动作。
请取掉活动挡板附近的基板后再进行作业。
使用注意
根据空气余压，有时需要多次操作。
使用注意
若没有将阀门恢复到原来的状态，在异常复位时会发生错误。
空气软管
调节栓
5．日常检查
5-1
5. 日常检查
对本装置日常运行及使用中的日常检查方法进行说明。
运行及使用装置前务必进行此项操作。
5.1 上电前的检查
本装置上电前请务必进行此项操作。
■ 操作人员是否能安全作业
■ 机盖是否安装妥当
确认机盖是否脱落、是否有松动。并请关闭正面门及机柜门。
机盖的作用是在装置运行及使用中、避免高速运转给操作人员带来危险。所以、在运行及使用装置时
请正确安装机盖。
注 意
偶尔会发生受伤危险。
开关正面门时，请务必双手握住把手将门开、关
到位，请不要将手指伸入内部。
■紧急停止开关的周围是否有障碍物。
确认紧急停止开关周围是否有阻碍操作的障碍物。
紧急停止开关是在发生紧急情况时紧急停止装置运行时使用。如果周围有阻碍操作的障碍物，将影响
紧急停止操作而引发事故，所以，请清除紧急停止开关周围的障碍物。
■装置周围是否整洁
确认装置周围是否有障碍物。
为了作业安全，请注意整理整顿装置周边环境。