8800401-3F_VT-S730_MaintenanceManual(C)PDFA - 第73页
6 ． 定期检修与保养 6- 13 基板检测传感器的清洁 传输机上有 6 个光纤传感器 。建议按照以下 步骤、三个月清理一 次。 传感器的分布请参照下 图。 5. 打开正面门。 6. 请气枪清除粘附在传感 器上的尘埃等 细小杂物。 7. 对基板检测传感器进行 校准。步骤请 参阅《操作手册》 。 装置内部的清洁 建议按以下步骤、三个 月清理一次装 置内部。 1. 打开正面门。 2. 双手慢慢压下输送机可 动导轨的两端 、扩宽导轨宽度 。 …
6．定期检修与保养
6-12
照明扩散板的清洁
照明扩散板就是安装在照明投射部的圆顶型的亚克力罩。
建议按以下步骤、三个月清理一次扩散板。
1.
打开正面门。
2.
在照明组件的正下方放置一面镜子。
3.
用手电筒等照射镜面对扩散板进行确认。
4.
如果有粘附污垢及杂物等请及时清除。较细小的尘埃等可用气枪吹走。用气枪无法吹走的尘垢、
灰尘、以及污垢等，可用脱脂棉等柔软的布蘸湿水后进行擦拭，注意请勿划伤表面。
请勿用酒精类溶剂擦拭照明扩散板。
清洁扩散板后，请务必用白色板进行校准。
内部安装有扩散板
在照明组件正下方放置一面镜子
用来确认扩散板上是否有杂物粘
附
照明组件
6．定期检修与保养
6-13
基板检测传感器的清洁
传输机上有 6 个光纤传感器。建议按照以下步骤、三个月清理一次。
传感器的分布请参照下图。
5.
打开正面门。
6.
请气枪清除粘附在传感器上的尘埃等细小杂物。
7.
对基板检测传感器进行校准。步骤请参阅《操作手册》。
装置内部的清洁
建议按以下步骤、三个月清理一次装置内部。
1.
打开正面门。
2.
双手慢慢压下输送机可动导轨的两端、扩宽导轨宽度。
3.
发现有尘埃及灰尘等污垢时，请用脱脂棉等软布进行擦拭，注意勿划伤表面。
请注意不要损伤传感器。
6．定期检修与保养
6-14
6.6 照明校准方法
照明校准是自动进行拍摄照明部调节功能。使用白色板（校准板）进行校准。目的是为了检测各检查
装置的拍摄照明光量随时间的劣化状况。并且，使用白色板对照明光量进行设定，用相同色调拍摄黑
色和白色，可将多台检查装置间的误差控制在最低限度。
校准步骤请参阅附册《操作手册》。
6.7 测量精度验证方法
测量精度验证是自动进行装置测量精度验证的选购功能。使用测量精度验证板（选购销售）进行验证。
目的是为了验证各检查装置是否维持着测量精度(高度和长度)。并且，测量精度验证板内含白色板部
分，因此使用本验证板也能够进行照明校准。测量精度验证步骤请参阅附册《操作手册》。
警 告
偶尔会发生严重受伤危险。
请勿将手伸入侧面的基板搬送部分。
长度测量部分
高度测量部分
白色板部分