8800401-3F_VT-S730_MaintenanceManual(C)PDFA - 第82页
43 发生预料之外的错误。 0x00000018 内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。 44 发生预料之外的错误。 0x00000019 内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。 45 发生预料之外的错误。 0x0000001A 内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。 46 发生预料之外的错误。 0x0000001B 内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。 47 发生预料之外的错误。 0x0000001C 内部处理出错 切断电源…
故障排除
在使用装置过程中，出现不能正常操作的情况时，请先确认以下项目。
注意
偶尔会发生发生受伤危险。
开关正面门时，务必双手握住把
手将门开、关到位。
No 状态 错误代码 原因 改善方法
1 -
装置背面的总开关没有打开 打开总开关
2 -
电源插头松开 关闭总开关后重新插好插头
3 -
显示器电源开关没有打开 打开显示器电源开关
4 -
显示器亮度设定不当 根据显示器使用说明书进行亮度调整
5 -
UPS未接通电源
打开正面门，确认UPS是否接通电源（UPS前面的字
段显示为「--」则表示UPS电源未接通）。未接通
电源的情况下请联系欧姆龙。
6
触摸屏无法操作
-
触摸屏通信线是否脱落、断线 请咨询欧姆龙
7 -
导轨宽度不合适
有可能是使用的检查程序的基板信息没有注册正
确，
8 -
上下游接口连接器脱落 请连接上下游接口连接器
9 -
外部连锁连接器脱落 请连接外部连锁连接器
10 -
正在使用基板拍摄模式
选择检查模式
设定方法请参照操作手册
11 -
选错检查程序 请选择正确的检查程序
12 -
选择了PASS模式 先退出PASS模式，再进行检查。
13 -
选择的检查程序没有元件信息
请先注册元件信息后再开始检查
选择了没有元件信息的检查程序后自动切换至PASS
模式
14 -
网络设置错误 请确认设定模式中的网络设置
15 -
连接的设备未起动 确认连接的设备（伺服等）是否正常起动
16 -
网络设备未起动 确认网络设备（HUB等）是否正常起动
17 -
通信线脱落 确认通信线（LAN等）是否正常起动
18
装置起动时出现BIOS画面（黑色屏幕上显示白色字体）停
止起动
上一次起动时，主机异常关机导致无
法起动
打开装置正面下方的机柜门，按下主机的起动按钮
关闭主机电源，然后关闭装置电源，等待3分钟后
再起动装置电源。
如果再起动后任然出现BIOS画面，请咨询欧姆龙公
司。
19
蓝屏（蓝色背景上显示白色字体） 软件发生异常
请咨询欧姆龙公司。
可能会询问画面中显示的错误代码（以0x开头的5
个数值）。
如果反复出现蓝屏，请使用强制PASS模式。
20
检查画面的检查信息栏中显示“请确认搬运传送带状
态。”
搬运传送带和检查电路板打滑。
请参考“6.5 各部分的清洁 传送带的清洁”章
节，对传送带进行清扫。清扫后若依然提示警告信
息，则请更换传送带。
①将所设传送带速度与搬运电路板时的速度进行对
比，装置若判断传送带与电路板之间为打滑状态，
则会提示此信息。
②同时执行5.1接通电源前确认的“搬运传送带绽
开剪切”
③调整速度，使上下游装置与传送带速度达到一
致。
※想要清除“请确认搬运传送带脏污状态”的提示
信息时，请切断装置电源。
21
检测到高度测量值异常。
投影机异常导致异常高度测量值输
出。
请向欧姆龙咨询。
执行投影机高度校准作业。
在装置使用过程中发生异常会显示以下错误代码。
显示下方没有记载的错误代码时，请切断电源后咨询欧姆龙公司。
No 错误信息 错误代码 原因 对策
20
检测到装置内残留有基板
0x00000001
基板残留在装置内
打开正面门取出基板后复位。
21
发生预料之外的错误
0x00000002
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
22
上次结束时，遗留有以下错误为解决
0x00000003
上次结束时，错误未处理 确认后按OK键
23
复位处理出错
0x00000004
复位处理出错 解除错误原因后再次复位
24
复位处理出错
0x00000005
复位处理出错 解除错误原因后再次复位
25
发生预料之外的错误。
0x00000006
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
26
发生预料之外的错误。
0x00000007
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
27
发生预料之外的错误。
0x00000008
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
28
发生预料之外的错误。
0x00000009
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
29
发生预料之外的错误。
0x0000000A
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
30
发生预料之外的错误。
0x0000000B
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
31
发生预料之外的错误。
0x0000000C
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
32
发生预料之外的错误。
0x0000000D
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
33
发生预料之外的错误。
0x0000000E
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
34
发生预料之外的错误。
0x0000000F
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
35
发生预料之外的错误。
0x00000010
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
36
DB数据输出失败。
0x00000011
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
37
发生预料之外的错误。
0x00000012
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
38
发生预料之外的错误。
0x00000013
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
39
发生预料之外的错误。
0x00000014
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
40
发生预料之外的错误。
0x00000015
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
41
发生预料之外的错误。
0x00000016
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
42
发生预料之外的错误。
0x00000017
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
检查程序一览中不显示检查程序
不上电
触摸屏不显示
基板无法搬入
无法检查基板
43
发生预料之外的错误。
0x00000018
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
44
发生预料之外的错误。
0x00000019
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
45
发生预料之外的错误。
0x0000001A
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
46
发生预料之外的错误。
0x0000001B
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
47
发生预料之外的错误。
0x0000001C
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
48
发生预料之外的错误。
0x0000001D
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
49
值不正确
0x0000001E
值不正确 请输入正确值
50
值在范围外
0x0000001F
值在范围外 请输入设定范围内的数值
51
值在范围外
0x00000020
值在范围外 请输入设定范围内的数值
52
发生预料之外的错误。
0x00000021
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
53
下限值超出范围
0x00000022
下限值超出范围 请输入设定范围内的数值
54
上限值超出范围
0x00000023
上限值超出范围 请输入设定范围内的数值
55
下限值大于上限值
0x00000024
下限值大于上限值 下限值中请输入小于上限制的数值。
56
上限制小于下限值
0x00000025
上限制小于下限值 上限值中请输入大于下限制的数值。
57
未安装
0x00000026
调用了装置本来就不支持的处理 切断电源后咨询欧姆龙公司。
58
没有选择电极种类
0x00000027
没有选择电极种类 请选择至少1个以上的电极种类
59
没有选择元件种类
0x00000028
没有选择元件种类 请选择至少1个以上的元件种类
60
没有选择电极种类和元件种类
0x00000029
没有选择电极种类和元件种类 请选择至少1个以上的电极种类和元件种类
61
没有输入文字
0x0000002A
没有输入文字 请输入至少1个以上的文字
62
检查程序名称重复
0x0000002B
检查程序名称重复 请输入不重复的名称。
63
其他用户所锁定
0x0000002C
其他用户所锁定 等待显示的用户操作完毕后再进行作业。
64 MASK的设定区域时元件的100%。
0x0000002D
MASK设定区域不正确 设定MASK时请勿选择元件所有区域。
65
下限值超出范围
0x0000002E
下限值超出范围 请输入设定范围内的数值。
66 基板名称重复
0x0000002F
基板名称重复
请输入不重复的名称。
67 导入失败
0x00000030
导入失败
请重新选择正确的文件。
并再次导出。
68 导出失败
0x00000031
导出失败
请确认硬盘可用空间容量。
并确认与DB连接是否正确。
69 没有校正量
0x00000032
未设定校正量
可能时位置校正设定不正确。
请测试定位标记。
70 与DB连接失败
0x00000033
与DB连接异常
请确认与DB连接是否正常
71 上限制超出范围
0x00000034
上限制超出范围
请输入xxx以下的数值
72 空白
0x00000035
空白
不允许空白
73 不是整数
0x00000036
格式不符
请输入整数
74 不是小数
0x00000037
格式不符
请输入小数
75 不是16进制数
0x00000038
格式不符
请输入16进制数
76 不允许有符号
0x00000039
格式不符
请勿输入符号
77 含有不符文字
0x0000003A
含有不符文字
不能使用xxx
78 字符串长度超出上限制
0x0000003B
字符串长度超出上限制
请勿超过xxx字
79 小数点后的位数超过了上限制
0x0000003C
小数点后的位数超过了上限制
小数点后的位数请勿超过xxx位
80 机种代码重复
0x0000003D
机种代码重复
机种代码:xxx重复，请设定其他代码
81 机种代码
0x0000003E
机种代码
xxx的机种代码设定为0
82 因为不是最新修订本所以不能锁定
0x0000003F
因为不是最新修订本所以不能锁定
请获取最新版本
83 窗口尺寸太大
0x00000040
窗口尺寸太大
请将窗口大小设定在xxx[mm]以下
84 其他用户已经解除锁定，所以不能保存
0x00000041
其他用户已经解除锁定，所以不能保存
返回至基板选择画面重新操作
85 机种代码簿重复
0x00000042
机种代码簿重复
设定机种代码时请勿重复
86 位置校正失败。
0x00000043
位置校正失败。
位置校正设定可能不正确。请测试定位标记。
87 不能输入英语之外的语言及全角输入。
0x00000044
不能输入英语之外的语言及全角输入。
请输入半角英文字母数字
88 输入值0无效。
0x00000045
输入值0无效。
请输入0之外的数值
89 Mount数据格式名重复
0x00000046
Mount数据格式名重复
请勿将Mount数据格式名设定重复
90 标准规范名称重复
0x00000047
标准规范名称重复
标准规范名称重复
91 sheet名重复。
0x00000048
sheet名重复。
sheet名重复。
92 图像保存失败
0x00000049
图像保存失败
请确认磁盘的可用空间
93 ID重复
0x0000004A
ID重复
请输入不重复的ID
94 调整检查无法继续执行。
0x0000004B
调整检查无法继续执行。
请重新选择检查程序。
95 检查程序读入失败。
0x0000004C
检查程序读入失败。
请确认检查程序。
96 与DB连接异常
0x0000004D
与DB连接异常
请确认是否与DB连接成功
97 存在名称相同但ID不同的产品编号。
0x0000004E
存在名称相同但ID不同的产品编号。
请重新选择正确的文件名
98 元件产品编号分组名称已存在。
0x0000004F
元件产品编号分组名称已存在。
请设定元件产品编号分组名称并注意不要重复。
99 无法访问检查装置的BDB，故数据更新失败。
0x00000050
无法访问检查装置的BDB，故数据更新失败。
请在确认检查机的BDBServices是否启动后再重新
启动v-TS。
100 位置校正标记的设定尚未完成。
0x00000051
位置校正标记的设定尚未完成。
请确认位置校正标记的设定状况，以确保所有电路
板图的位置校正标记检测成功。
101 元件料号名称重复。
0x00000052
元件料号名称重复。
请勿设定重复的元件料号名称。
102 编程中发生错误。
0x00000053
编程中发生错误。
请完成编程。
103
与机械控制部的通信出错。
0x02800001
与机械控制板的通信出错。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
104
与机械控制部的通信出错。
0x02800002
与机械控制板的通信出错。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
105
与机械控制部的通信出错。
0x02800003
与机械控制板的通信出错。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
106
与机械控制部的通信出错。
0x02800004
与机械控制板的通信出错。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
107
与机器控制板的通信出错
0x028000E3
与机器控制板的通信出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
108
搬入位置移动失败（X轴）
0x02802001
搬入位置移动指令后、X轴的移动坐
标与当前位置坐标不同
切断电源后咨询欧姆龙公司。
109
搬入位置移动失败（Y轴）
0x02802002
搬入位置移动指令后、Y轴的移动坐
标与当前位置坐标不同
切断电源后咨询欧姆龙公司。
110
搬出位置移动失败（X轴）
0x02802003
搬出位置移动指令后、X轴的移动坐
标与当前位置坐标不同
切断电源后咨询欧姆龙公司。
111
搬出位置移动失败（Y轴）
0x02802004
搬出位置移动指令后、Y轴的移动坐
标与当前位置坐标不同
切断电源后咨询欧姆龙公司。
112
切换失败
0x02802005
切换处理没有正常完成 切断电源后咨询欧姆龙公司。
113
X轴驱动器的电量低。
0x02802006
检测到X轴发出的低电量报警
请勿切断电源、咨询欧姆龙公司。
需要更换驱动器电池
114
Y轴驱动器的电量低。
0x02802007
检测到Y轴发出的低电量报警
请勿切断电源、咨询欧姆龙公司。
需要更换驱动器电池
115
X轴ABS读取失败。
0x02802008
X轴ABS读取失败。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
116
Y轴ABS读取失败。
0x02802009
Y轴ABS读取失败。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
117
基板不能长时间搬送
0x0280200A
搬入动作超时 确认上下游的工作状态后按下OK键
118
X轴原点复位未完成。
0x0280200B
X轴原点没有复位的情况下发出动作
指令
切断电源后咨询欧姆龙公司。
119
Y轴原点复位未完成。
0x0280200C
Y轴原点没有复位的情况下发出动作
指令
切断电源后咨询欧姆龙公司。
120
W轴原点复位未完成。
0x0280200D
W轴原点没有复位的情况下发出动作
指令
切断电源后咨询欧姆龙公司。
121
检测到X轴右侧限制传感器。
0x0280200E
检测X轴右侧限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。
122
检测到X轴左侧限制传感器。
0x0280200F
检测X轴左侧限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。
123
检测到Y轴前侧限制传感器。
0x02802010
检测Y轴前侧限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。
124
检测到Y轴里侧限制传感器。
0x02802011
检测Y轴里侧限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。
125
检测到W轴开限制传感器。
0x02802012
检测W轴开限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。
126
检测到W轴关限制传感器。
0x02802013
检测W轴关限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。
127
指定坐标超出了X轴的软极限范围。
0x02802014
指定坐标超出了X轴的软极限范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
128
指定坐标超出了Y轴的软极限范围。
0x02802015
指定坐标超出了Y轴的软极限范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
129
指定坐标超出了W轴的软极限范围。
0x02802016
指定坐标超出了W轴的软极限范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
130
指定坐标超出了X轴的机械限制范围。
0x02802017
指定坐标超出了X轴的机械限制范
切断电源后咨询欧姆龙公司。
131
指定坐标超出了Y轴的机械限制范围。
0x02802018
指定坐标超出了Y轴的机械限制范
切断电源后咨询欧姆龙公司。
132
指定坐标超出了W轴的机械限制范围。
0x02802019
指定坐标超出了W轴的机械限制范
切断电源后咨询欧姆龙公司。
133
设定超出了X轴的控制参数范围。
0x0280201A
设定超出了X轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
134
设定超出了Y轴的控制参数范围。
0x0280201B
设定超出了Y轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
135
设定超出了W轴的控制参数范围。
0x0280201C
设定超出了W轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
136
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x0280201D
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
137
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x0280201E
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
138
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x0280201F
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
139
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x02802020
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
140
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x02802021
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
141
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x02802022
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
142
没有检测到到位传感器。请将基板放置在传感器遮光位
置。
0x02802023
离线搬入时没有检测到达传感器
离线搬入基板时，必须将基板放置在到位传感器
（3个搬送传感器中离在线搬出口最近的一个）ON
的位置。基板没有放置在传感器上时请重新放置基
板。
143
设定超出了X轴的控制参数范围。
0x02802024
设定超出了X轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
144
设定超出了Y轴的控制参数范围。
0x02802025
设定超出了Y轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
145
设定超出了W轴的控制参数范围。
0x02802026
设定超出了W轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
146
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x02802027
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
147
X轴伺服发生异常。
0x02802028
检测出X轴伺服报警 请勿切断电源、咨询欧姆龙公司。
148
Y轴伺服发生异常。
0x02802029
检测出Y轴伺服报警 请勿切断电源、咨询欧姆龙公司。
149
W轴原点复位发生异常。
0x0280202A
W轴原点复位搜索原点时、没有检测
到原点传感器
切断电源后咨询欧姆龙公司。
150
设定超出了裂缝宽度的最大尺寸范围。
0x0280202B
搬送参数设定超出了设定范围 切断电源后咨询欧姆龙公司。
151
X轴List的切换位置超出范围。
0x0280202C
X轴动作参数设定超出了设定范围之
外。
切断电源后咨询欧姆龙公司。
152
Y轴List的切换位置超出范围。
0x0280202D
Y轴动作参数设定超出了设定范围之
外。
切断电源后咨询欧姆龙公司。
153
发生预料之外的错误。
0x0280202E
检测动作超时 切断电源后咨询欧姆龙公司。
154
X轴移动速度(搬入・搬出位置移动时)超出设定范围
0x0280202F
X轴动作参数设定超出了设定范围之
外。
切断电源后咨询欧姆龙公司。
155
W轴移动速度（移入基板时）超出设定范围
0x02802030
V轴动作参数设定超出了设定范围之
外。
切断电源后咨询欧姆龙公司。
156
伺服工作禁止状态。
0x02802069
伺服工作禁止状态 切断电源后咨询欧姆龙公司。
157
摄像头连接发生异常。
0x02803001
检测出摄像头控制板与摄像头间的通
信停止
切断电源后咨询欧姆龙公司。
158
相机控制部出错
0x02803033
触发设定异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
159
照明连接发生异常
0x02804000
照明控制板没有响应 切断电源后咨询欧姆龙公司。
160
检测出照明异常
0x02804001
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
161
检测出照明异常
0x02804002
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
162
检测出照明异常
0x02804003
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
163
检测出照明异常
0x02804004
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
164
检测出照明异常
0x02804005
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
165
检测出照明异常
0x02804006
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
166
检测出照明异常
0x02804007
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
167
照明达到寿命，校准中断。
0x02804008
照明校准过程中电流值超过错误值 切断电源后咨询欧姆龙公司。
168
照明即将需要更换。
0x02804009
照明校准结果、电流值超过警戒值
如果不进行照明更换而继续使用，可能导致无法调
整照明。在中止校准（出现错误代码0x02804008）
之前请更换照明。
169
基板残留在了装置内。
0x02805001
初始化及W轴动作前检测到有基板存
在
将正面门完全关紧后按下复位按钮。如果继续出现
异常，请切断电源后咨询欧姆龙公司。
170
搬送传感器发生异常。
0x02805002
检测到到位传感器异常信号
请按照《保养手册》中的“光纤传感器的调整步
骤”调整传感器。
调整后如果继续出现异常，请咨询欧姆龙公司。
171
搬送传感器发生异常。
0x02805003
检测到减速传感器异常信号
请按照《保养手册》中的“光纤传感器的调整步
骤”调整传感器。
调整后如果继续出现异常，请咨询欧姆龙公司。
172
搬送传感器发生异常。
0x02805004
检测到搬入传感器异常信号
请按照《保养手册》中的“光纤传感器的调整步
骤”调整传感器。
调整后如果继续出现异常，请咨询欧姆龙公司。
173
基板固定部分的基板标准侧的固定传感器不能ON。
0x02805005
基板固定的基板标准侧的动点传感器
不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
174
基板固定部分的基板标准侧的固定解除传感器不能ON。
0x02805006
基板固定解除的基板标准侧的原点传
感器不能OFF
切断电源后咨询欧姆龙公司。
175
基板固定部分的基板移动侧的固定传感器不能ON。
0x02805007
基板固定的基板移动侧的动点传感器
不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
176
基板固定部分的基板移动侧的固定解除传感器不能ON。
0x02805008
基板固定解除的基板移动侧的原点传
感器不能OFF
切断电源后咨询欧姆龙公司。
177
基板固定爪的基板标准侧的传感器不能ON
0x02805009
固定基板时基板标准侧的固定爪传感
器不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
178
基板固定爪的基板标准侧的传感器不能OFF
0x0280500A
解除固定爪时基板标准侧的固定爪传
感器不能OFF
切断电源后咨询欧姆龙公司。
179
基板固定爪的基板移动侧的传感器不能ON
0x0280500B
固定基板时基板移动侧的固定爪传感
器不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
180
基板固定爪的基移动侧的传感器不能OFF
0x0280500C
解除固定爪时基板移动侧的固定爪传
感器不能OFF
切断电源后咨询欧姆龙公司。
181
基板固定部分的基板标准/移动侧的固定传感器不能ON。
0x0280500D
基板固定时基板标准/移动侧的动点
传感器不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
182
基板固定部分的基板标准/移动侧的固定解除传感器不能
ON。
0x0280500E
基板固定解除时基板标准/移动侧的
原点传感器不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
183
基板固定爪的基板标准/移动侧的传感器不能ON
0x0280500F
固定基板时固定爪的基板标准/移动
侧的传感器不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
184
基板固定爪的基板标准/移动侧的传感器不能OFF
0x02805010
解除固定爪时固定爪的基板标准/移
动侧的传感器不能OFF
切断电源后咨询欧姆龙公司。
185
Door error mask不能ON。
0x02805011
Door error mask不能ON 切断电源后咨询欧姆龙公司。