8800401-3F_VT-S730_MaintenanceManual(C)PDFA - 第83页
125 检测到W轴开限制传感器。 0x02802012 检测W轴开限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。 126 检测到W轴关限制传感器。 0x02802013 检测W轴关限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。 127 指定坐标超出了X轴的软极限范围。 0x02802014 指定坐标超出了X轴的软极限范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。 128 指定坐标超出了Y轴的软极限范围。 0x02802015 指定坐标超出了Y轴的软极限范围。 切断…
43
发生预料之外的错误。
0x00000018
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
44
发生预料之外的错误。
0x00000019
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
45
发生预料之外的错误。
0x0000001A
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
46
发生预料之外的错误。
0x0000001B
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
47
发生预料之外的错误。
0x0000001C
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
48
发生预料之外的错误。
0x0000001D
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
49
值不正确
0x0000001E
值不正确 请输入正确值
50
值在范围外
0x0000001F
值在范围外 请输入设定范围内的数值
51
值在范围外
0x00000020
值在范围外 请输入设定范围内的数值
52
发生预料之外的错误。
0x00000021
内部处理出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
53
下限值超出范围
0x00000022
下限值超出范围 请输入设定范围内的数值
54
上限值超出范围
0x00000023
上限值超出范围 请输入设定范围内的数值
55
下限值大于上限值
0x00000024
下限值大于上限值 下限值中请输入小于上限制的数值。
56
上限制小于下限值
0x00000025
上限制小于下限值 上限值中请输入大于下限制的数值。
57
未安装
0x00000026
调用了装置本来就不支持的处理 切断电源后咨询欧姆龙公司。
58
没有选择电极种类
0x00000027
没有选择电极种类 请选择至少1个以上的电极种类
59
没有选择元件种类
0x00000028
没有选择元件种类 请选择至少1个以上的元件种类
60
没有选择电极种类和元件种类
0x00000029
没有选择电极种类和元件种类 请选择至少1个以上的电极种类和元件种类
61
没有输入文字
0x0000002A
没有输入文字 请输入至少1个以上的文字
62
检查程序名称重复
0x0000002B
检查程序名称重复 请输入不重复的名称。
63
其他用户所锁定
0x0000002C
其他用户所锁定 等待显示的用户操作完毕后再进行作业。
64 MASK的设定区域时元件的100%。
0x0000002D
MASK设定区域不正确 设定MASK时请勿选择元件所有区域。
65
下限值超出范围
0x0000002E
下限值超出范围 请输入设定范围内的数值。
66 基板名称重复
0x0000002F
基板名称重复
请输入不重复的名称。
67 导入失败
0x00000030
导入失败
请重新选择正确的文件。
并再次导出。
68 导出失败
0x00000031
导出失败
请确认硬盘可用空间容量。
并确认与DB连接是否正确。
69 没有校正量
0x00000032
未设定校正量
可能时位置校正设定不正确。
请测试定位标记。
70 与DB连接失败
0x00000033
与DB连接异常
请确认与DB连接是否正常
71 上限制超出范围
0x00000034
上限制超出范围
请输入xxx以下的数值
72 空白
0x00000035
空白
不允许空白
73 不是整数
0x00000036
格式不符
请输入整数
74 不是小数
0x00000037
格式不符
请输入小数
75 不是16进制数
0x00000038
格式不符
请输入16进制数
76 不允许有符号
0x00000039
格式不符
请勿输入符号
77 含有不符文字
0x0000003A
含有不符文字
不能使用xxx
78 字符串长度超出上限制
0x0000003B
字符串长度超出上限制
请勿超过xxx字
79 小数点后的位数超过了上限制
0x0000003C
小数点后的位数超过了上限制
小数点后的位数请勿超过xxx位
80 机种代码重复
0x0000003D
机种代码重复
机种代码:xxx重复，请设定其他代码
81 机种代码
0x0000003E
机种代码
xxx的机种代码设定为0
82 因为不是最新修订本所以不能锁定
0x0000003F
因为不是最新修订本所以不能锁定
请获取最新版本
83 窗口尺寸太大
0x00000040
窗口尺寸太大
请将窗口大小设定在xxx[mm]以下
84 其他用户已经解除锁定，所以不能保存
0x00000041
其他用户已经解除锁定，所以不能保存
返回至基板选择画面重新操作
85 机种代码簿重复
0x00000042
机种代码簿重复
设定机种代码时请勿重复
86 位置校正失败。
0x00000043
位置校正失败。
位置校正设定可能不正确。请测试定位标记。
87 不能输入英语之外的语言及全角输入。
0x00000044
不能输入英语之外的语言及全角输入。
请输入半角英文字母数字
88 输入值0无效。
0x00000045
输入值0无效。
请输入0之外的数值
89 Mount数据格式名重复
0x00000046
Mount数据格式名重复
请勿将Mount数据格式名设定重复
90 标准规范名称重复
0x00000047
标准规范名称重复
标准规范名称重复
91 sheet名重复。
0x00000048
sheet名重复。
sheet名重复。
92 图像保存失败
0x00000049
图像保存失败
请确认磁盘的可用空间
93 ID重复
0x0000004A
ID重复
请输入不重复的ID
94 调整检查无法继续执行。
0x0000004B
调整检查无法继续执行。
请重新选择检查程序。
95 检查程序读入失败。
0x0000004C
检查程序读入失败。
请确认检查程序。
96 与DB连接异常
0x0000004D
与DB连接异常
请确认是否与DB连接成功
97 存在名称相同但ID不同的产品编号。
0x0000004E
存在名称相同但ID不同的产品编号。
请重新选择正确的文件名
98 元件产品编号分组名称已存在。
0x0000004F
元件产品编号分组名称已存在。
请设定元件产品编号分组名称并注意不要重复。
99 无法访问检查装置的BDB，故数据更新失败。
0x00000050
无法访问检查装置的BDB，故数据更新失败。
请在确认检查机的BDBServices是否启动后再重新
启动v-TS。
100 位置校正标记的设定尚未完成。
0x00000051
位置校正标记的设定尚未完成。
请确认位置校正标记的设定状况，以确保所有电路
板图的位置校正标记检测成功。
101 元件料号名称重复。
0x00000052
元件料号名称重复。
请勿设定重复的元件料号名称。
102 编程中发生错误。
0x00000053
编程中发生错误。
请完成编程。
103
与机械控制部的通信出错。
0x02800001
与机械控制板的通信出错。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
104
与机械控制部的通信出错。
0x02800002
与机械控制板的通信出错。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
105
与机械控制部的通信出错。
0x02800003
与机械控制板的通信出错。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
106
与机械控制部的通信出错。
0x02800004
与机械控制板的通信出错。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
107
与机器控制板的通信出错
0x028000E3
与机器控制板的通信出错 切断电源后咨询欧姆龙公司。
108
搬入位置移动失败（X轴）
0x02802001
搬入位置移动指令后、X轴的移动坐
标与当前位置坐标不同
切断电源后咨询欧姆龙公司。
109
搬入位置移动失败（Y轴）
0x02802002
搬入位置移动指令后、Y轴的移动坐
标与当前位置坐标不同
切断电源后咨询欧姆龙公司。
110
搬出位置移动失败（X轴）
0x02802003
搬出位置移动指令后、X轴的移动坐
标与当前位置坐标不同
切断电源后咨询欧姆龙公司。
111
搬出位置移动失败（Y轴）
0x02802004
搬出位置移动指令后、Y轴的移动坐
标与当前位置坐标不同
切断电源后咨询欧姆龙公司。
112
切换失败
0x02802005
切换处理没有正常完成 切断电源后咨询欧姆龙公司。
113
X轴驱动器的电量低。
0x02802006
检测到X轴发出的低电量报警
请勿切断电源、咨询欧姆龙公司。
需要更换驱动器电池
114
Y轴驱动器的电量低。
0x02802007
检测到Y轴发出的低电量报警
请勿切断电源、咨询欧姆龙公司。
需要更换驱动器电池
115
X轴ABS读取失败。
0x02802008
X轴ABS读取失败。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
116
Y轴ABS读取失败。
0x02802009
Y轴ABS读取失败。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
117
基板不能长时间搬送
0x0280200A
搬入动作超时 确认上下游的工作状态后按下OK键
118
X轴原点复位未完成。
0x0280200B
X轴原点没有复位的情况下发出动作
指令
切断电源后咨询欧姆龙公司。
119
Y轴原点复位未完成。
0x0280200C
Y轴原点没有复位的情况下发出动作
指令
切断电源后咨询欧姆龙公司。
120
W轴原点复位未完成。
0x0280200D
W轴原点没有复位的情况下发出动作
指令
切断电源后咨询欧姆龙公司。
121
检测到X轴右侧限制传感器。
0x0280200E
检测X轴右侧限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。
122
检测到X轴左侧限制传感器。
0x0280200F
检测X轴左侧限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。
123
检测到Y轴前侧限制传感器。
0x02802010
检测Y轴前侧限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。
124
检测到Y轴里侧限制传感器。
0x02802011
检测Y轴里侧限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。
125
检测到W轴开限制传感器。
0x02802012
检测W轴开限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。
126
检测到W轴关限制传感器。
0x02802013
检测W轴关限制传感器 切断电源后咨询欧姆龙公司。
127
指定坐标超出了X轴的软极限范围。
0x02802014
指定坐标超出了X轴的软极限范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
128
指定坐标超出了Y轴的软极限范围。
0x02802015
指定坐标超出了Y轴的软极限范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
129
指定坐标超出了W轴的软极限范围。
0x02802016
指定坐标超出了W轴的软极限范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
130
指定坐标超出了X轴的机械限制范围。
0x02802017
指定坐标超出了X轴的机械限制范
切断电源后咨询欧姆龙公司。
131
指定坐标超出了Y轴的机械限制范围。
0x02802018
指定坐标超出了Y轴的机械限制范
切断电源后咨询欧姆龙公司。
132
指定坐标超出了W轴的机械限制范围。
0x02802019
指定坐标超出了W轴的机械限制范
切断电源后咨询欧姆龙公司。
133
设定超出了X轴的控制参数范围。
0x0280201A
设定超出了X轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
134
设定超出了Y轴的控制参数范围。
0x0280201B
设定超出了Y轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
135
设定超出了W轴的控制参数范围。
0x0280201C
设定超出了W轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
136
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x0280201D
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
137
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x0280201E
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
138
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x0280201F
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
139
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x02802020
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
140
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x02802021
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
141
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x02802022
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
142
没有检测到到位传感器。请将基板放置在传感器遮光位
置。
0x02802023
离线搬入时没有检测到达传感器
离线搬入基板时，必须将基板放置在到位传感器
（3个搬送传感器中离在线搬出口最近的一个）ON
的位置。基板没有放置在传感器上时请重新放置基
板。
143
设定超出了X轴的控制参数范围。
0x02802024
设定超出了X轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
144
设定超出了Y轴的控制参数范围。
0x02802025
设定超出了Y轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
145
设定超出了W轴的控制参数范围。
0x02802026
设定超出了W轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
146
设定超出了V轴的控制参数范围。
0x02802027
设定超出了V轴的控制参数范围。 切断电源后咨询欧姆龙公司。
147
X轴伺服发生异常。
0x02802028
检测出X轴伺服报警 请勿切断电源、咨询欧姆龙公司。
148
Y轴伺服发生异常。
0x02802029
检测出Y轴伺服报警 请勿切断电源、咨询欧姆龙公司。
149
W轴原点复位发生异常。
0x0280202A
W轴原点复位搜索原点时、没有检测
到原点传感器
切断电源后咨询欧姆龙公司。
150
设定超出了裂缝宽度的最大尺寸范围。
0x0280202B
搬送参数设定超出了设定范围 切断电源后咨询欧姆龙公司。
151
X轴List的切换位置超出范围。
0x0280202C
X轴动作参数设定超出了设定范围之
外。
切断电源后咨询欧姆龙公司。
152
Y轴List的切换位置超出范围。
0x0280202D
Y轴动作参数设定超出了设定范围之
外。
切断电源后咨询欧姆龙公司。
153
发生预料之外的错误。
0x0280202E
检测动作超时 切断电源后咨询欧姆龙公司。
154
X轴移动速度(搬入・搬出位置移动时)超出设定范围
0x0280202F
X轴动作参数设定超出了设定范围之
外。
切断电源后咨询欧姆龙公司。
155
W轴移动速度（移入基板时）超出设定范围
0x02802030
V轴动作参数设定超出了设定范围之
外。
切断电源后咨询欧姆龙公司。
156
伺服工作禁止状态。
0x02802069
伺服工作禁止状态 切断电源后咨询欧姆龙公司。
157
摄像头连接发生异常。
0x02803001
检测出摄像头控制板与摄像头间的通
信停止
切断电源后咨询欧姆龙公司。
158
相机控制部出错
0x02803033
触发设定异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
159
照明连接发生异常
0x02804000
照明控制板没有响应 切断电源后咨询欧姆龙公司。
160
检测出照明异常
0x02804001
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
161
检测出照明异常
0x02804002
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
162
检测出照明异常
0x02804003
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
163
检测出照明异常
0x02804004
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
164
检测出照明异常
0x02804005
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
165
检测出照明异常
0x02804006
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
166
检测出照明异常
0x02804007
检测出照明异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
167
照明达到寿命，校准中断。
0x02804008
照明校准过程中电流值超过错误值 切断电源后咨询欧姆龙公司。
168
照明即将需要更换。
0x02804009
照明校准结果、电流值超过警戒值
如果不进行照明更换而继续使用，可能导致无法调
整照明。在中止校准（出现错误代码0x02804008）
之前请更换照明。
169
基板残留在了装置内。
0x02805001
初始化及W轴动作前检测到有基板存
在
将正面门完全关紧后按下复位按钮。如果继续出现
异常，请切断电源后咨询欧姆龙公司。
170
搬送传感器发生异常。
0x02805002
检测到到位传感器异常信号
请按照《保养手册》中的“光纤传感器的调整步
骤”调整传感器。
调整后如果继续出现异常，请咨询欧姆龙公司。
171
搬送传感器发生异常。
0x02805003
检测到减速传感器异常信号
请按照《保养手册》中的“光纤传感器的调整步
骤”调整传感器。
调整后如果继续出现异常，请咨询欧姆龙公司。
172
搬送传感器发生异常。
0x02805004
检测到搬入传感器异常信号
请按照《保养手册》中的“光纤传感器的调整步
骤”调整传感器。
调整后如果继续出现异常，请咨询欧姆龙公司。
173
基板固定部分的基板标准侧的固定传感器不能ON。
0x02805005
基板固定的基板标准侧的动点传感器
不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
174
基板固定部分的基板标准侧的固定解除传感器不能ON。
0x02805006
基板固定解除的基板标准侧的原点传
感器不能OFF
切断电源后咨询欧姆龙公司。
175
基板固定部分的基板移动侧的固定传感器不能ON。
0x02805007
基板固定的基板移动侧的动点传感器
不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
176
基板固定部分的基板移动侧的固定解除传感器不能ON。
0x02805008
基板固定解除的基板移动侧的原点传
感器不能OFF
切断电源后咨询欧姆龙公司。
177
基板固定爪的基板标准侧的传感器不能ON
0x02805009
固定基板时基板标准侧的固定爪传感
器不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
178
基板固定爪的基板标准侧的传感器不能OFF
0x0280500A
解除固定爪时基板标准侧的固定爪传
感器不能OFF
切断电源后咨询欧姆龙公司。
179
基板固定爪的基板移动侧的传感器不能ON
0x0280500B
固定基板时基板移动侧的固定爪传感
器不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
180
基板固定爪的基移动侧的传感器不能OFF
0x0280500C
解除固定爪时基板移动侧的固定爪传
感器不能OFF
切断电源后咨询欧姆龙公司。
181
基板固定部分的基板标准/移动侧的固定传感器不能ON。
0x0280500D
基板固定时基板标准/移动侧的动点
传感器不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
182
基板固定部分的基板标准/移动侧的固定解除传感器不能
ON。
0x0280500E
基板固定解除时基板标准/移动侧的
原点传感器不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
183
基板固定爪的基板标准/移动侧的传感器不能ON
0x0280500F
固定基板时固定爪的基板标准/移动
侧的传感器不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
184
基板固定爪的基板标准/移动侧的传感器不能OFF
0x02805010
解除固定爪时固定爪的基板标准/移
动侧的传感器不能OFF
切断电源后咨询欧姆龙公司。
185
Door error mask不能ON。
0x02805011
Door error mask不能ON 切断电源后咨询欧姆龙公司。
186
Door error mask不能OFF
0x02805012
Door error mask不能OFF 切断电源后咨询欧姆龙公司。
187
X轴右侧限制传感器不能ON
0x02805013
X轴右侧限制传感器不能ON 切断电源后咨询欧姆龙公司。
188
X轴左侧限制传感器不能ON
0x02805014
X轴左侧限制传感器不能ON 切断电源后咨询欧姆龙公司。
189
Y轴前侧限制传感器不能ON
0x02805015
Y轴前侧限制传感器不能ON 切断电源后咨询欧姆龙公司。
190
Y轴里侧限制传感器不能ON
0x02805016
Y轴里侧限制传感器不能ON 切断电源后咨询欧姆龙公司。
191
W轴开限制传感器不能ON
0x02805017
W轴开限制传感器不能ON 切断电源后咨询欧姆龙公司。
192
W轴关限制传感器不能ON
0x02805018
W轴关限制传感器不能ON 切断电源后咨询欧姆龙公司。
193
风扇发生异常
0x02806001
检测出风扇报警 切断电源后咨询欧姆龙公司。
194
UPS电量低
0x02807001
检测出UPS电量低
切断电源后咨询欧姆龙公司。
需要更换UPS电池
195
UPS异常
0x02807002
检测出UPS异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
196
UPS电池未连接
0x02807003
UPS电池未连接
更换电池后请切断电源确认电池是否连接良好。
其他情况下奇怪切断电源后咨询欧姆龙公司。
197
UPS发生异常
0x02807004
检测出UPS异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
198
UPS发生异常
0x02807005
检测出UPS异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
199
UPS发生异常
0x02807006
检测出UPS异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
200
UPS发生异常
0x02807007
检测出UPS异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
201
UPS发生异常
0x02807008
检测出UPS异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
202
UPS发生异常
0x02807009
检测出UPS异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
203
UPS发生异常
0x0280700A
检测出UPS异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
204
UPS发生异常
0x0280700B
检测出UPS异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
205
UPS发生异常
0x0280700C
检测出UPS异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
206
UPS发生异常
0x0280700D
检测出UPS异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
207
UPS发生异常
0x0280700E
检测出UPS异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
208
UPS通信发生异常
0x0280700F
与UPS的通信发生异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
209
UPS通信发生异常
0x02807010
与UPS的通信发生异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
210
UPS通信发生异常
0x02807011
与UPS的通信发生异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
211
UPS通信发生异常
0x02807012
与UPS的通信发生异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
212
UPS通信发生异常
0x02807013
与UPS的通信发生异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
213
伺服继电器发生异常
0x02808001
伺服异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
214
步进继电器发生异常
0x02808002
步进继电器异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
215
照明继电器发生异常
0x02808003
照明继电器异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。
216
检测出上游外部连锁装置ON
0x02809001
检测出上游外部连锁装置ON 请确认上游装置外部连锁信号OFF后在复位。
217
检测出下游外部连锁装置ON
0x02809002
检测出下游外部连锁装置ON 请确认下游装置外部连锁信号OFF后在复位。
218
紧急停止按键按下，紧急停止。
0x0280A001
检测出紧急停止
确认周边安全后解除紧急停止按钮复位。如果装置
内有基板时，请先取出基板关闭正面门后在进行复
位。
219
正面门敞开
0x0280A002
检测出在正面门开启状态下I连锁解
关闭正面门后复位
220
紧急停止按键按下。
0x0280A004
起动时没有解除紧急停止 解除紧急停止按钮后开始初始化
221
正面门敞开
0x0280A005
起动时正面门打开 关闭正面后开始初始化
222
搬入侧活动挡板敞开
0x0280A007
起动时搬入侧活动挡板敞开
确认搬入侧活动单板中没有基板或异物后在开始初
始化。
223
搬出侧活动挡板敞开
0x0280A008
起动时搬出侧活动挡板敞开
确认搬出侧活动单板中没有基板或异物后在开始初
始化。
224
两侧活动挡板敞开
0x0280A009
起动时两侧活动挡板敞开
确认两侧活动单板中没有基板或异物后在开始初始
化。
225
检测出搬入侧活动挡板内有异物
0x0280A00A
检测出搬入侧活动挡板内有异物 将搬入侧活动挡板中异物清除后在进行复位。
226
检测出搬出侧活动挡板内有异物
0x0280A00B
检测出搬出侧活动挡板内有异物 将搬出侧活动挡板中异物清除后在进行复位。
227
切换至强制Pass模式
0x0280B001
強制Pass模式（起动时） 切换至强制Pass模式
228
切换至强制PASS模式
0x0280B002 运行中检测到强制PASS信号
将强制PASS切换开关恢复至原状。
切换至强制PASS模式时请先切断电源。
229
停止供电
0x0280C001 断电后UPS开始工作
立即切断装置电源
230
气压低
0x02814001
检出气压低 调节气压后按下复位按钮。
231
气压低
0x02814002
检出气压低（动力OFF时） 调节气压后按下OK按钮。
232
不能解除门锁
0x02814003
不能解除门锁 切断电源后咨询欧姆龙公司。
233
不能锁门
0x02814004
不能锁门。可能是门没有完全关闭、
或是门锁故障。
将正面门完全关闭后按下复位按钮。如果继续出现
异常，请切断电源后咨询欧姆龙公司。
234
基板固定部分发生异常。
0x02814005
基板固定状态时基板固定原点传感器
不能ON
切断电源后咨询欧姆龙公司。
235
基板固定部分发生异常。
0x02814006
基板固定状态状态时基板固定原点传
感器不能OFF
切断电源后咨询欧姆龙公司。
236
搬入侧活动挡板不关闭
0x02814007
搬入侧活动挡板不关闭 切断电源后咨询欧姆龙公司。
237
搬出侧活动挡板不关闭
0x02814008
搬出侧活动挡板不关闭 切断电源后咨询欧姆龙公司。
238
搬入侧活动挡板打不开
0x02814009
搬入侧活动挡板打不开 切断电源后咨询欧姆龙公司。
239
搬出侧活动挡板打不开
0x0281400A
搬出侧活动挡板打不开 切断电源后咨询欧姆龙公司。
240
检测到搬入侧活动挡板有异物。
0x0281400B
出现确认搬入侧活动挡板中是否有异物的画面
清除搬入侧活动挡板异物后再进行复位。
241
检测到搬出侧活动挡板有异物。
0x0281400C
出现确认搬出侧活动挡板中是否有异物的画面
清除搬出侧活动挡板异物后再进行复位。
242
两侧活动挡板打不开
0x0281400D
两侧活动挡板打不开 切断电源后咨询欧姆龙公司。
243
两侧活动挡板不关闭
0x0281400E
两侧活动挡板不关闭 切断电源后咨询欧姆龙公司。
244
搬入侧活动挡板不能关闭
0x0281400F
搬入侧活动挡板动作异常（关闭异
常）
请确认搬入侧活动挡板中是否存在异物。若有异物
则请清除并进行复位。
245
搬出侧活动挡板不能关闭
0x02814010
搬出侧活动挡板动作异常（关闭异
常）
请确认搬出侧活动挡板中是否存在异物。若有异物
则请清除并进行复位。
246
两侧活动挡板不能关闭
0x02814011
両侧活动挡板动作异常（关闭异常）
请确认两侧活动挡板中是否存在异物。若有异物则
请清除并进行复位。
247 起动时与机械控制板连接失败。 0x02832001 起动时与机械控制板连接失败。
切断电源后咨询欧姆龙公司。
248 起动时外部interlock信号ON 0x02832002 外部连锁装置异常（起动时）
请按OK
249 结束时序内发生异常。 0x02833001 结束时序内发生异常。
切断电源后咨询欧姆龙公司。
250
搬入失败
0x02835001
搬入时没有检测到减速传感器 打开正面门、取出基板后按复位按钮。
251
搬入失败
0x02835002
搬入时没有检测到搬入传感器 打开正面门、取出基板后按复位按钮。
252
搬入失败
0x02835003
搬入时没有检测到到位传感器 打开正面门、取出基板后按复位按钮。
253
取消搬入
0x02835004
上游END信号ON后搬入时，接收到取
消指令而取消搬入。
打开正面门、取出基板后按复位按钮。
254
搬入失败
0x02835005
到位传感器＆搬入传感器异常 打开正面门、取出基板后按复位按钮。
255
搬出失败
0x02836001
搬出时没有检测到到位传感器 打开正面门、取出基板后按复位按钮。
256
取消搬出
0x02836002
下游Ready信号ON后搬出时，接收到
取消指令而取消搬出。
打开正面门、取出基板后按复位按钮。
257
基板搬出完成之前检测到下游Ready信号OFF。
0x02836003
基板搬出所需时间内检测到下游
Ready信号OFF（搬出结束）
因下游装置中发生紧急停止等非正常动作而造成
时，请确认下游装置的状态后再次启动运行。
在正常搬送中发生时，请确认从下游装置输出的
Ready信号通信是否正常输入。
258
搬出失败。
0x02836004
基板搬出超时(搬入传感器) 打开正面门、取出基板后按复位按钮。
259
搬出失败。
0x02836005
基板搬出超时(减速传感器) 打开正面门、取出基板后按复位按钮。
260
指令时序异常
0x02838001
指令时序异常 切断电源后咨询欧姆龙公司。