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目 次 14 ページ Tg1373-ID-SO 0607-001 6. 資料 ..................................................... 27 6.1 電気回路図 ........................................... 27 UB14 I/O ボード 搬送 L ................................ 27 UB14 I/O ボード …

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目 次
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Tg1373-ID-SO
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はじめに .................................................... 1
取扱説明書について ........................................... 2
ご注意 .................................................... 3
製品の保証について ........................................ 3
仕様の変更について ........................................ 4
安全にお取扱いいただくために
1. 安全に関する注意事項の表示について ........................ 5
2. 安全に関する共通的な注意事項 .............................. 7
基本的な注意 .............................................. 7
使用前の注意 .............................................. 8
使用時の注意 .............................................. 9
3. 取扱説明書の中の警告表示 .................................. 10
注意と表示されているもの .................................. 10
4. 警告ラベル ................................................ 11
目 次 ................................................... 13
1. 概 要 ................................................... 15
2. 仕 様 ................................................... 15
3. 概観図 ................................................... 16
4. 基板の手差しおよび取出し手順 ............................. 17
4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順 ..................... 18
4.2 排出コンベアからの基板の取出し手順 ................... 23
5. トラブルシューティング ................................... 24
5.1 起動案内 ............................................. 24
5.1.1 起動案内一覧 .................................... 24
5.2 装置情報 ............................................. 25
5.2.1 装置情報一覧 .................................... 25
5.3 異常 ID からのトラブルシューティング .................. 26
5.3.1 異常 ID と復帰方法 ............................... 26
目 次
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ページ
Tg1373-ID-SO
0607-001
6. 資料 ..................................................... 27
6.1 電気回路図 ........................................... 27
UB14 I/O ボード 搬送 L ................................ 27
UB14 I/O ボード 搬送 R ................................ 28
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Tg1373-ID-SO
1. 概 要
0607-001
1. 概 要
本特別仕様は、GXH-1 シリーズ装置本体の基板搬送コンベア部 ( 基板
供給部、基板排出部 ) に開閉式のカバーを設置し、生産運転中の基
板の手差しと取出しの作業を可能にしたものです。
ノート
本取扱説明書では、基板流れ方向が左から右の場合について説明し
ています。
2. 仕 様
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