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15 Tg1373-ID-SO 1. 概要 0607-001 1. 概要本特別仕様は、GXH-1 シリーズ装置本体の基板搬送コンベア部 ( 基板供給部、基板排出部 ) に開閉式のカバーを設置し、生産運転中の基板の手差しと取出しの作業を可能にしたものです。ノート本取扱説明書では、基板流れ方向が左から右の場合について説明しています。 2. 仕様 Table 1

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Tg1373-ID-SO

0607-001

6. 資料 ..................................................... 27

6.1 電気回路図 ........................................... 27

UB14 I/O ボード搬送 L ................................ 27

UB14 I/O ボード搬送 R ................................ 28

Tg1373-ID-SO

1. 概要

0607-001

1. 概要

本特別仕様は、GXH-1 シリーズ装置本体の基板搬送コンベア部 ( 基板

供給部、基板排出部 ) に開閉式のカバーを設置し、生産運転中の基

板の手差しと取出しの作業を可能にしたものです。

ノート

本取扱説明書では、基板流れ方向が左から右の場合について説明し

ています。

2. 仕様

Table 1

Tg1373-ID-SO

3. 概観図

0607-001

3. 概観図

基板供給部側

基板排出部側

コンベア上面カバー

マグネットキャッチ

コンベア上面カバー

マグネットキャッチ

カバー開閉検出センサ

Fig. 1