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21 Tg1373-ID-SO (b) 基板を置くときは、ベルトの上に静かに置いてください。搬送ベルトの伸びや切断により、基板の搬送が正常に行えなくなる可能性があります。 (c) 搬送基板検出センサに基板をぶつけないでください。センサが破損し、基板が検出できなくなります。 (d) コンベア上面カバーが 3 分以上開いた状態にあると、装置が異常停止します。 (3) コンベア上面カバーを閉じます。基板の搬送が開始されます。 Fig…

Tg1373-ID-SO

4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順

(2) 基板を供給コンベアの搬送ベルトに置きます。

注意

(a) 基板が搬送基板検出センサの上にくるように置いてください。

正しく置かれていないと基板の有無が検出されなくなります。

基板

A矢視図

B矢視図

正しい置き方

間違った置き方

基板が搬送基板検出センサ

の上に置かれていない

基板が搬送基板検出センサ

の上に置かれている

搬送ベルト

基板

搬送基板検出センサ

基板

搬送ベルト搬送ベルト

基板流れ方向

Fig. 4

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Tg1373-ID-SO

(b) 基板を置くときは、ベルトの上に静かに置いてください。

搬送ベルトの伸びや切断により、基板の搬送が正常に行えなく

なる可能性があります。

センサが破損し、基板が検出できなくなります。

(d) コンベア上面カバーが 3 分以上開いた状態にあると、装置が異

常停止します。

(3) コンベア上面カバーを閉じます。

基板の搬送が開始されます。

Fig. 5

注意

コンベア上面カバーを閉じるときは、手や指などのはさみこ

みに注意してください。

コンベア上面カバーで手や指などをはさみ、けがをするおそ

れがあります。

取っ手をしっかりと持って、ゆっくり閉じてください。

注意

コンベア上面カバーを強い力で閉じると、コンベア上面カバーとカ

バー開閉検出センサが破損するおそれがあります。

取っ手をしっかりと持って、ゆっくり閉じてください。

4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順

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ノート

(a) カバーを閉じると“生産運転”画面の供給コンベア部分が緑色

に点灯し、“カバー / 閉”状態が表示されます。

緑色に点灯

Fig. 6

(b) GXH-1 シリーズ装置本体が停止状態の場合、の操作パネルの

[START] ボタンを押して、生産運転を開始してください。

POWER ON START

STOP

PNL CHANGE

非常停止

LOCK

Fig. 7 操作パネル

4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順

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