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22 Tg1373-ID-SO ノート (a) カバーを閉じると“生産運転”画面の供給コンベア部分が緑色 に点灯し、 “カバー / 閉”状態が表示されます。 緑色に点灯 Fig. 6 (b) GXH-1 シリーズ装置本体が停止状態の場合、の操作パネルの [START] ボタンを押して、生産運転を開始してください。 POWER ON START STOP PNL CHANGE 非常停止 LOCK Fig. 7 操作パネル 4.1 供給コン…
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(b) 基板を置くときは、ベルトの上に静かに置いてください。
搬送ベルトの伸びや切断により、基板の搬送が正常に行えなく
なる可能性があります。
(c) 搬送基板検出センサに基板をぶつけないでください。
センサが破損し、基板が検出できなくなります。
(d) コンベア上面カバーが 3 分以上開いた状態にあると、装置が異
常停止します。
(3) コンベア上面カバーを閉じます。
基板の搬送が開始されます。
Fig. 5
注意
コンベア上面カバーを閉じるときは、手や指などのはさみこ
みに注意してください。
コンベア上面カバーで手や指などをはさみ、けがをするおそ
れがあります。
取っ手をしっかりと持って、ゆっくり閉じてください。
注 意
コンベア上面カバーを強い力で閉じると、コンベア上面カバーとカ
バー開閉検出センサが破損するおそれがあります。
取っ手をしっかりと持って、ゆっくり閉じてください。
4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順
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ノート
(a) カバーを閉じると“生産運転”画面の供給コンベア部分が緑色
に点灯し、“カバー / 閉”状態が表示されます。
緑色に点灯
Fig. 6
(b) GXH-1 シリーズ装置本体が停止状態の場合、の操作パネルの
[START] ボタンを押して、生産運転を開始してください。
POWER ON START
STOP
PNL CHANGE
非常停止
LOCK
Fig. 7 操作パネル
4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順
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4.2 排出コンベアからの基板の取出し手順
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4.2 排出コンベアからの基板の取出し手順
各部の位置は、“4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順”を参照
してください。
手順
(1) 取っ手を持って、コンベア上面カバーを開けます。
コンベア上面カバーをステージ横の準備完了スイッチ横のマグ
ネットキャッチで固定してください。
注 意
(a) コンベア上面カバーを開けるときは、取っ手をしっかりと持っ
て、ゆっくり開けてください。
(b) 基板搬送中に上面カバーを開けると、装置 (GXH-1 シリーズ )
が異常停止し、画面に装置稼動情報が表示されます。
(2) 基板を排出コンベアから取出します。
注 意
(a) 搬送基板検出センサに基板をぶつけないでください。
センサが破損し、基板が検出できなくなります。
(b) コンベア上面カバーが 3 分以上開いた状態にあると、装置が異
常停止します。
(3) コンベア上面カバーを閉じます。
注意
コンベア上面カバーを閉じるときは、手や指などのはさみこ
みに注意してください。
コンベア上面カバーで手や指などをはさみ、けがをするおそ
れがあります。
取っ手をしっかりと持って、ゆっくり閉じてください。
注 意
コンベア上面カバーを強い力で閉じると、コンベア上面カバーとカ
バー開閉検出センサが破損するおそれがあります。
取っ手をしっかりと持って、ゆっくり閉じてください。