SOM-1909-001_w - 第26页

23 Tg1373-ID-SO 4.2 排出コンベアからの基板の取出し手順 0607-001 4.2 排出コンベアからの基板の取出し手順各部の位置は、 “4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順”を参照してください。手順 (1) 取っ手を持って、コンベア上面カバーを開けます。コンベア上面カバーをステージ横の準備完了スイッチ横のマグネットキャッチで固定してください。注意 (a) コンベア上面カバーを開けるときは、取っ手をしっ…

Tg1373-ID-SO

ノート

(a) カバーを閉じると“生産運転”画面の供給コンベア部分が緑色

に点灯し、“カバー / 閉”状態が表示されます。

緑色に点灯

Fig. 6

(b) GXH-1 シリーズ装置本体が停止状態の場合、の操作パネルの

[START] ボタンを押して、生産運転を開始してください。

POWER ON START

STOP

PNL CHANGE

非常停止

LOCK

Fig. 7 操作パネル

4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順

0607-001

Tg1373-ID-SO

4.2 排出コンベアからの基板の取出し手順

0607-001

4.2 排出コンベアからの基板の取出し手順

各部の位置は、“4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順”を参照

してください。

手順

(1) 取っ手を持って、コンベア上面カバーを開けます。

コンベア上面カバーをステージ横の準備完了スイッチ横のマグ

ネットキャッチで固定してください。

注意

(a) コンベア上面カバーを開けるときは、取っ手をしっかりと持っ

て、ゆっくり開けてください。

(b) 基板搬送中に上面カバーを開けると、装置 (GXH-1 シリーズ )

が異常停止し、画面に装置稼動情報が表示されます。

(2) 基板を排出コンベアから取出します。

注意

(a) 搬送基板検出センサに基板をぶつけないでください。

センサが破損し、基板が検出できなくなります。

(b) コンベア上面カバーが 3 分以上開いた状態にあると、装置が異

常停止します。

(3) コンベア上面カバーを閉じます。

注意

コンベア上面カバーを閉じるときは、手や指などのはさみこ

みに注意してください。

コンベア上面カバーで手や指などをはさみ、けがをするおそ

れがあります。

取っ手をしっかりと持って、ゆっくり閉じてください。

注意

コンベア上面カバーを強い力で閉じると、コンベア上面カバーとカ

バー開閉検出センサが破損するおそれがあります。

取っ手をしっかりと持って、ゆっくり閉じてください。

Tg1373-ID-SO

5. トラブルシューティング

画面の説明については、GXH-1 シリーズ本体取扱説明書第 4 巻

メンテナンス & トラブルシューティング “2 章トラブルシューティ

ング”を参照してください。

5.1 起動案内

5.1.1 起動案内一覧

Table 2

起動案内コード表示区分 A ( 起動案内の概要 )

表示区分 B ( 起動案内の詳細 )

0d0301 供給コンベア上面カバーが開いています。

カバーを閉めてください。

0d0302 排出コンベア上面カバーが開いています。

カバーを閉めてください。

0d0303 前工程コンベア上面カバーが開いています。

カバーを閉めてください。

0d0304 後工程コンベア上面カバーが開いています。

カバーを閉めてください。

010f25 供給コンベア上に基板を 2 枚検出しました。

コンベア入口の基板を取り除いてください。

010f26 排出コンベア上に基板を 2 枚検出しました。

コンベア上の基板を取り除いてください。

5. トラブルシューティング

0607-001