SOM-1909-001_w - 第27页
24 Tg1373-ID-SO 5. トラブルシューティング 画面の説明については、GXH-1 シリーズ 本体取扱説明書 第 4 巻 メンテナンス & トラブルシューティング “2 章トラブルシューティ ング”を参照してください。 5.1 起動案内 5.1.1 起動案内一覧 Table 2 起動案内コード 表示区分 A ( 起動案内の概要 ) 表示区分 B ( 起動案内の詳細 ) 0d0301 供給コンベア上面カバーが開いていま…
23
Tg1373-ID-SO
4.2 排出コンベアからの基板の取出し手順
0607-001
4.2 排出コンベアからの基板の取出し手順
各部の位置は、“4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順”を参照
してください。
手順
(1) 取っ手を持って、コンベア上面カバーを開けます。
コンベア上面カバーをステージ横の準備完了スイッチ横のマグ
ネットキャッチで固定してください。
注 意
(a) コンベア上面カバーを開けるときは、取っ手をしっかりと持っ
て、ゆっくり開けてください。
(b) 基板搬送中に上面カバーを開けると、装置 (GXH-1 シリーズ )
が異常停止し、画面に装置稼動情報が表示されます。
(2) 基板を排出コンベアから取出します。
注 意
(a) 搬送基板検出センサに基板をぶつけないでください。
センサが破損し、基板が検出できなくなります。
(b) コンベア上面カバーが 3 分以上開いた状態にあると、装置が異
常停止します。
(3) コンベア上面カバーを閉じます。
注意
コンベア上面カバーを閉じるときは、手や指などのはさみこ
みに注意してください。
コンベア上面カバーで手や指などをはさみ、けがをするおそ
れがあります。
取っ手をしっかりと持って、ゆっくり閉じてください。
注 意
コンベア上面カバーを強い力で閉じると、コンベア上面カバーとカ
バー開閉検出センサが破損するおそれがあります。
取っ手をしっかりと持って、ゆっくり閉じてください。
24
Tg1373-ID-SO
5. トラブルシューティング
画面の説明については、GXH-1 シリーズ 本体取扱説明書 第 4 巻
メンテナンス & トラブルシューティング “2 章トラブルシューティ
ング”を参照してください。
5.1 起動案内
5.1.1 起動案内一覧
Table 2
起動案内コード 表示区分 A ( 起動案内の概要 )
表示区分 B ( 起動案内の詳細 )
0d0301 供給コンベア上面カバーが開いています。
カバーを閉めてください。
0d0302 排出コンベア上面カバーが開いています。
カバーを閉めてください。
0d0303 前工程コンベア上面カバーが開いています。
カバーを閉めてください。
0d0304 後工程コンベア上面カバーが開いています。
カバーを閉めてください。
010f25 供給コンベア上に基板を 2 枚検出しました。
コンベア入口の基板を取り除いてください。
010f26 排出コンベア上に基板を 2 枚検出しました。
コンベア上の基板を取り除いてください。
5. トラブルシューティング
0607-001
25
Tg1373-ID-SO
5.2 装置情報
5.2.1 装置情報一覧
Table 3
異常 ID 表示区分 A ( 装置情報の概要 )
表示区分 B ( 表示情報の詳細 )
809301 コンベア上面カバー開閉
供給コンベア上面カバーが開きました。
809302 コンベア上面カバー開閉
供給コンベア上面カバーが閉まりました。
809303 コンベア上面カバー開閉
排出コンベア上面カバーが開きました。
809304 コンベア上面カバー開閉
排出コンベア上面カバーが閉まりました。
809305 コンベア上面カバー開閉
前工程上面カバーが開きました。
809306 コンベア上面カバー開閉
前工程上面カバーが閉じました。
809307 コンベア上面カバー開閉
後工程上面カバーが開きました。
809308 コンベア上面カバー開閉
後工程上面カバーが閉じました。
809401 基板有無
供給コンベアに手差しした基板を検出しました。
809402 基板有無
排出コンベア上の基板が取り除かれました。
5.2 装置情報
0607-001