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27 Tg1373-ID-SO 0607-001-(M803WN--A2015) 6. 資 料 6. 資料 6.1 電気回路図 UB14 I/O ボード 搬送 L 部分が、本特別仕様です。 ノート

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Tg1373-ID-SO
5.3 異常 ID からのトラブルシューティング
0607-001
5.3 異常 ID からのトラブルシューティング
異常 ID 記載例、異常 ID 管理区分については、GXH-1 シリーズ 本
体取扱説明書 第 4 巻 メンテナンス & トラブルシューティング “2
章トラブルシューティング”を参照してください。
5.3.1 異常 ID と復帰方法
Table 4
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
421106 供給コンベア　基板検出
コンベア上面カバーが開いたままです。
カバーを閉じてください。生産続行可能です。
421108 供給コンベア　基板検出
コンベア上に基板がある状態で基板が手差しされました。
手差しした基板を取り除いてください。生産続行可能です。
421209 供給コンベア　基板検出
適正な位置に基板を検出できませんでした。
コンベア上の基板を取り除いてください。生産続行可能です。
421210 供給コンベア　基板検出
基板授受位置でないところでの基板の手差しはできません。
カバーを閉じてください。生産続行可能です。
421211 供給コンベア　基板検出
コンベア上の基板が取り除かれました。
カバーを閉じてください。生産続行可能です。
421312 供給コンベア　基板検出
コンベア幅　軸動作中にコンベア上面カバーが開きました。
カバーを閉じて再度実行してください。
425107 排出コンベア　基板検出
コンベア上面カバーが開いたままです。
カバーを閉じてください。生産続行可能です。
425210 排出コンベア　基板検出
コンベア上に基板がある状態で基板が手差しされました。
手差しした基板を取り除いてください。生産続行可能です。
425211 排出コンベア　基板検出
適正な位置に基板を検出できませんでした。
コンベア上の基板を取り除いてください。生産続行可能です。
425212 排出コンベア　基板検出
基板が手差しされました。
手差しした基板を取り除いてください。生産続行可能です。
425202 排出コンベア　基板検出
シャトル動作中に基板が取り除かれたか、落下しました。
コンベア周辺に基板が落ちていないかを確認後、生産を続行してください。
425311 排出コンベア　基板検出
コンベア幅　軸動作中に排出コンベア上面カバーが開きました。
カバーを閉じて再度実行してください。
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Tg1373-ID-SO
0607-001-(M803WN--A2015)
6. 資 料
6. 資料
6.1 電気回路図
UB14 I/O ボード 搬送 L
部分が、本特別仕様です。
ノート
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Tg1373-ID-SO
0607-001-(M803WN--A2016)
6.1 電気回路図
UB14 I/O ボード 搬送 R
部分が、本特別仕様です。
ノート