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6 - 31 Tg 1298 -ID-OP 5.9 “基板認識 Y 軸”タブ 5.9 “基板認識 Y 軸” タブ 基板認識部の Y 軸のインチング操作を行います。 • シートの表示 “インチング操作” サブメニュー画面の ［基板認識 Y 軸］ タブを押すと、 以下のタブシートが表示されます。 [1] Fig.2F25 “基板認識 Y 軸”タブシート • シートの構成 [1] 現在位置 ユニットの現在の位置が、移動距離とパルス数で表示され…
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Tg1298-ID-OP
5.8 “基板認識 X 軸”タブ
5.8 “基板認識 X 軸”タブ
基板認識部の X 軸のインチング操作を行います。
•
シートの表示
“インチング操作”サブメニュー画面の［基板認識 X
軸］タブを押すと、
以下のタブシートが表示されます。
[1]
Fig.2F24 “基板認識 X 軸”タブシート
•
シートの構成
[1]
現在位置
ユニットの現在の位置が、移動距離とパルス数で表示されます。
“基板認識 X 軸”の 1
パルスは、0.02 mm に相当します。
インチングの操作手順については“5.1 インチングの基本操作方法”
を参照してください。
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5.9 “基板認識 Y 軸”タブ
5.9 “基板認識 Y 軸” タブ
基板認識部の Y 軸のインチング操作を行います。
•
シートの表示
“インチング操作”サブメニュー画面の［基板認識 Y
軸］タブを押すと、
以下のタブシートが表示されます。
[1]
Fig.2F25 “基板認識 Y 軸”タブシート
•
シートの構成
[1]
現在位置
ユニットの現在の位置が、移動距離とパルス数で表示されます。
“基板認識 Y 軸”の 1
パルスは、0.02 mm に相当します。
インチングの操作手順については“5.1 インチングの基本操作方法”
を参照してください。
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5.10 “基板バックアップ”タブ
5.10 “基板バックアップ”タブ
基板バックアップ軸のインチング操作を行います。
•
シートの表示
“インチング操作”サブメニュー画面の［基板バックアップ］タブを
押すと、以下のタブシートが表示されます。
[1]
Fig.2F26 “基板バックアップ”タブシート
•
シートの構成
[1]
現在位置
ユニットの現在の位置が、移動距離とパルス数で表示されます。
“基板バックアップ”の 1 パルスは、0.0067 mm に相当します。
インチングの操作手順については“5.1 インチングの基本操作方法”
を参照してください。
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