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6 - 41 Tg 1298 -ID-OP 6.2.1 座標ティーチング操作手順 (1) ダミー基板投入位置に基板をセットして［基板位置決め］ボタ ンを選択して前面操作パネルの ［始動］ ボタンを押してください。 ダミー基板投入位置から基板を取り込み位置決めを行います。 (2) ［基板基準へ移動］ボタンを選択して前面操作パネルの［始動］ ボタンを押してください。 カメラセンタ画面に下図のように基板基準が映しだされます。 ［座標目合わせ］…
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[1] 動作ユニット選択ボタン
[ 基板位置決め ( 始動 ) ] ボタン
基板を取り込み位置決めを行います。
[ 基板基準へ移動 ( 始動 ) ] ボタン
基板認識カメラが基板基準へ移動します。
[ 基板認識マーク 1 へ移動 ( 始動 ) ] ボタン
基板認識カメラが基板認識マーク 1
へ移動します。
[ 基板認識マーク 2
へ移動 ( 始動 ) ] ボタン
基板認識カメラが基板認識マーク 2 へ移動します。
[ スクリーン認識マーク 1
へ移動 ( 始動 ) ] ボタン
スクリーン認識カメラが上記ティーチングした座標に移動しま
す。
[ スクリーン認識マーク 1 座標教示 ( 始動 ) ] ボタン
基板認識カメラがスクリーン認識マーク 1
座標の基板上での座
標に移動します。
[ スクリーン認識マーク 2
へ移動 ( 始動 ) ] ボタン
スクリーン認識カメラが上記ティーチングした座標に移動しま
す。
[ スクリーン認識マーク 2 座標教示 ( 始動 ) ] ボタン
基板認識カメラがスクリーン認識マーク 2
座標の基板上での座
標に移動します。
[ ユニット復帰 ( 始動
) ] ボタン
ボタンを押すと、その背景色が青色に変わります。次に前面操
作パネルの［始動］ボタンを押すと、各ユニットの原点復帰を
行います。
[2] 基板認識座標
1 点目 (X,Y, コード ) : 基板認識座標
1 点目の座標です。
2 点目 (X,Y, コード ) : 基板認識座標 2 点目の座標です。
[3] スクリーン認識座標
1 点目 (X,Y, コード ) : スクリーン認識座標
1 点目の座標です。
2 点目 (X,Y, コード ) : スクリーン認識座標 2 点目の座標です。
[4] [ ↓ コピー ] ボタン
“基板認識座標”のデータを“スクリーン認識座標”へコピーし
ます。
[5] [ データ保存 ] ボタン
設定し終わったら押してください。
設定値が装置に保存されます。
6.2 “座標ティーチング”タブ
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6.2.1 座標ティーチング操作手順
(1) ダミー基板投入位置に基板をセットして［基板位置決め］ボタ
ンを選択して前面操作パネルの［始動］ボタンを押してください。
ダミー基板投入位置から基板を取り込み位置決めを行います。
(2) ［基板基準へ移動］ボタンを選択して前面操作パネルの［始動］
ボタンを押してください。
カメラセンタ画面に下図のように基板基準が映しだされます。
［座標目合わせ］ボタンを選択して基板基準がクロスライン上に
なるように目合わせ動作を行ってください。
目合わせ終了後［閉じる］ボタンを押してください。
Fig. 2F34
6.2 “座標ティーチング”タブ
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(3) 座標ティーチングに入ると、Fig.2F33 に示すように座標データ
が表示されます。
このデータは、オペレーションデータの基板認識マークデータ
が反映されています。
必要があれば、あらかじめ測定した大体の基板認識座標
X,Y の
1 点目、2 点目の値、およびスクリーン認識座標
X,Y の 1 点目、
2 点目をテンキーで入力します。
また、マークデータの編集は各々のマークのティーチングで
［マークデータ］のボタンを押すことで可能となります。
詳細は、“6.2.2 認識マークデータ編集”を参照してください。
［基板認識マーク 1 へ移動］ ボタンを選択し、前面操作パネルの
［始動 ] ボタンを押してください。
基板認識カメラがマークのところに移動します。
“カメラモニタ”画面上に以下のような基板認識マークが映しだ
されます。
［座標目合わせ］ボタンを選択して、認識マークが“カメラモニ
タ”画面中央のアウトラインと一致するように［目合わせ動作］
を行ってください。
目合わせ終了後［閉じる］ボタンを押してください。
目合わせ操作は“6.2.3 目合わせ移動操作”を参照してくださ
い。
アウトライン
目合わせ動作
認識マーク
Fig. 2F35
(4) 基板認識マーク 2 について同様に行ってください。
(5) 基板認識座標データとスクリーン認識座標データを同じにした
い場合は、［
↓
コピー］ボタンを選択してください。
基板認識座標のティーチングで得られた座標データがスクリー
ン認識座標にコピーされます。
6.2 “座標ティーチング”タブ
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