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6 - 48 Tg 1298 -ID-OP 6.3 “吸着治具位置ティーチング”タブ “カメラモニタ”画面上に下図のように吸着治具上流端面が映し だされます。 吸着治具上流端面がクロスライン上になるように目合わせ動作 を行ってください。 クロスライン 吸着治具 吸着治具上流端面 目合わせ移動 Fig.2F40 目合わせが終了したら［閉じる］ボタンを押してください。 Fig.2F38 の画面に戻ります。 (4) 次に［治具下流端面へカメラ…
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[3] 動作ユニット選択ボタン
[ 治具上流端面へカメラ移動 ( 始動 ) ] ボタン
状態表示が動作可のとき、このボタンを選択して前面操作パネ
ルの [ 始動 ] ボタンを押すと、基板認識カメラが移動して“認
識画像画面”に吸着治具の上流端面が表示されます。
[ 治具下流端面へカメラ移動 ( 始動
) ] ボタン
状態表示が動作可のとき、このボタンを選択して前面操作パネ
ルの [ 始動 ] ボタンを押すと、基板認識カメラが移動して“認
識画像画面”に吸着治具の下流端面が表示されます。
[4] [
ユニット復帰 ] ボタン
状態表示が動作可のとき、このボタンを選択して前面操作パネ
ルの [ 始動 ] ボタンを押すと、各ユニットが原点復帰します。
6.3.1 吸着治具位置ティーチング設定手順
(1) 吸着治具を段取替えメニュー画面の［個別段取替え］サブメ
ニュー画面で、“バックアップ治具交換”タブを使用してセット
してください。
詳細については、“5 章 2.3.4“バックアップ治具交換”タブ”
を参照してください。
(2) ［治具上流端面へカメラ移動（始動）］ボタンを選択し、前面操
作パネルの［始動］ボタンを押してください。
基板認識カメラが吸着治具の上流端面に移動し、“カメラモニタ”
画面に上流端面とクロスラインが表示されます。
(3) ［座標目合わせ］ボタンを押してください。
以下の画面が表示されます。
Fig.2F39
6.3 “吸着治具位置ティーチング”タブ
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6.3 “吸着治具位置ティーチング”タブ
“カメラモニタ”画面上に下図のように吸着治具上流端面が映し
だされます。
吸着治具上流端面がクロスライン上になるように目合わせ動作
を行ってください。
クロスライン
吸着治具
吸着治具上流端面
目合わせ移動
Fig.2F40
目合わせが終了したら［閉じる］ボタンを押してください。
Fig.2F38 の画面に戻ります。
(4) 次に［治具下流端面へカメラ移動］ボタンを選択し、前面操作
パネルの［始動］ボタンを押してください。
基板認識カメラが吸着治具の下流端面に移動し、
“カメラモニタ”
画面に下流端面とクロスラインが表示されます。
(3) と同様に治具下流端面とクロスラインの目合わせを行ってく
ださい。
(5)
［データ保存］ボタンを押してください。
ティーチング結果が［オフセットデータ］の吸着治具に保存さ
れます。
ノート
［オペレーションデータ］“基板保持”タブの“チャックステー
ジ選択”をバックアップピン、バックアップ治具にしたとき
はこのオフセットを必ずゼロにしてください。
(6) ［ユニット復帰（始動）］ボタンを選択して、前面操作パネルの［始
動］ボタンを押してください。
元の状態へ戻します。
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6.3 “吸着治具位置ティーチング”タブ
6.3.2 治具位置オフセット補正の機能
テーブル XY 上の治具位置オフセットを持つことと、そのオフセット
をティーチング可能にすることで基板と治具の位置関係（基板位置
決め時）を容易に合わせることができます。（ただし、X 方向のみです。）
基 板
治 具
カメラ中心
基板ストッパ
Ｌ1
Ｌ2
Fig.2F41
•
ティーチングは、吸着治具の X 方向両端の位置を読み取り、吸着治
具と基板の X 方向の中心が重なるように吸着治具位置オフセットを
設定します。
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