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6 - 63 Tg 1298 -ID-OP 指定位置移動操作 基板認識マーク 2 点目は［指定位置移動（始動） ］ボタンを押してく ださい。 Fig.2F53 • 指定位置 X、Y の［データ］ボタンを押して、テンキーでデータを 入力してください。 ノート [ 認識 1 点目位置 ] ボタンまたは [ 認識 2 点目位置 ] ボタンを押すと、 指定しているパターンプログラムの座標を“認識カメラ移動位置指 定”欄にコピーできます。 必要に…
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Tg1298-ID-OP
7.1.3 カメラ移動操作
［カメラ XY 移動操作］ボタンを選びます。
以下の基板認識カメラ XY 移動操作画面が表示されます。
Fig.2F52
目合わせ移動操作
基板認識マーク 1 点目は［目合わせ
（始動）］ボタンを選んでください。
•
［
▲
］、［
▲
］、［▲］、［▼］ボタンで方向指定をします。
•
[ 高速 ]、
［低速］、 ［1 パルス］ ボタンで速度指定を行います。
•
前面操作パネルの［始動］ボタンを押して基板認識マークを認識
領域内の認識させたい位置へ移動させます。
前面操作パネルの［始動］ボタンを押している間、カメラの移動
は継続します。
•
［閉じる］ボタンを押して
Fig.2F48 の画面へ戻します。
7.1 “基板認識テスト”タブ
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Tg1298-ID-OP
指定位置移動操作
基板認識マーク 2 点目は［指定位置移動（始動）］ボタンを押してく
ださい。
Fig.2F53
•
指定位置 X、Y の［データ］ボタンを押して、テンキーでデータを
入力してください。
ノート
[ 認識 1 点目位置 ] ボタンまたは [ 認識 2 点目位置 ] ボタンを押すと、
指定しているパターンプログラムの座標を“認識カメラ移動位置指
定”欄にコピーできます。
必要に応じて [AC] ボタンでデータをクリアしてください。
•
前面操作パネルの［始動］ボタンを押すと、指定された位置へ基
板認識カメラが移動します。
•
［目合わせ］ボタンを押し、“目合わせ移動操作”と同じ操作を行
い認識させたい位置へ基板認識マークを移動させます。
7.1
“基板認識テスト”タブ
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Tg1298-ID-OP
7.1.4 “カメラモニタ”画面
“基板認識テスト”画面に移行すると、“カメラモニタ”画面に認識
範囲が表示されます。
ノート
認識範囲の設定が変更されると、表示も変わります。
認識範囲（認識領域）
マーク形状を示す
アウトライン
認識領域を示す
ウインドウ
クロスライン
基板認識マーク像
X＝○○○○ Y＝○○○○
A
Fig.2F54
•
認識が正常に行われた場合
テーブルが移動し、基板認識マーク像がカメラ中心に移り、マーク
形状のアウトラインおよびクロスラインが表示されます。
また、A 部には、カメラ中心からの基板認識マークの位置ずれ量（X、
Y）が表示されます。
（ここで表示される位置ずれ量は、テスト前の位置ずれ量です。）
カメラ座標系中心
Y（＋）
X（＋）
Fig.2F55
ノート
クロスラインの交点位置がカメラ中心位置となります。
•
認識が NG の場合
マーク形状のアウトラインおよびクロスラインは表示されず、タッ
チパネルに異常表示（認識異常）されます。
7.1 “基板認識テスト”タブ
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