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Tg 1298 -ID-OP 1 -B 0602 - 001
Tg1298-ID-OP
0602-001 1-A
1 章
動作概要と各種機能
本章では、本装置の動作概要と機能について説明してい
ます。
Tg1298-ID-OP
1-B0602-001
1-1
Tg1298-ID-OP
1. 動作概要
0602-001
1. 動作概要
1.1 基板搬入と基板位置決め
基板
供給側基板検出センサ
基板クランプ
テーブル
供給側基板ストッパ
基板反り上押え
基板認識カメラ
基板検出センサ
基板ストッパ
基板バックアップベース
Fig. 2A1
(1) 前工程装置より L コンベアに送られた基板がベルトで搬送され
て L コンベア上の“供給側基板ストッパ”にあたり、“供給側基
板検出センサ”により基板が検出されると、L コンベアが停止し
ます。
(2) 基板位置決め部を乗せたテーブルが基板供給位置まで移動し、
基板認識カメラも基板認識サイズに応じた位置まで移動すると、
“基板ストッパ”が下降します。
(3) “基板ストッパ”の下降後、L コンベアが駆動します。
基板位置決め部のコンベアは、
L コンベアと歯車が噛み合うこと
により駆動します。
このとき、
“基板反り上押え”が下降します。
(4) 基板が基板位置決め部へ移載され、基板認識カメラ駆動部につ
いた“基板ストッパ”にあたり“基板検出センサ”によって基
板が検出されると L コンベアが停止します。
(5) 基板位置決め部の基板バックアップベースが上昇し、
“基板クラ
ンプ”により基板を固定します。
(6) 基板位置決め部の動作が終了すると、“基板反り上押え”と“基
板ストッパ”が上昇します。