JM-20_维修调整要领书 - 第127页
维修调整要领书 10 -2 10 -2 ． 真空泵零件的更换 考虑以下部件的损耗造成压力降低。 < 损耗部件一览 > 更换部 件 组货 号 ： 40099554 检查部位 使用数量 检查内容 检查方法 碗形密封 垫圈 2 有无异常磨耗、硬化、龟裂等现象 目视 吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视 排气阀 2 有无 变形 、硬化、缺损 目视 O 环 S- 67 2 有无 变形 、磨耗、硬化、 龟裂 等無 目视 O 环 P- …
维修调整要领书
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空气机器
10-1．
滤清器的更换
1） 请使主机左下方的主手控阀成为关闭状态。
2） 以便把滑动部下降，以便把主体向左或右转动４５度然后拔下来三。
3） 更换空气滤清器侧的滤清器Ｂ时，向左转动固定滤清器Ｂ的树脂零件就可以卸下来。
4） 更换微喷雾器侧的滤清器时，把滤清器向左转动就可以卸下来。
5） 安装时，请按照相反的程序进行。
注) 作业之前，请关闭蝶阀。
滤清器的寿命为 2 年或压力下降到 0.1MPa (1kgf/cm
2
) 后。
图 9-2-1 滤清器
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
空气滤清器 微喷雾器
PF901006000
滤清器B
PF901010000
滤清器
树脂零件
滑动部
危险
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10-2
10-2．
真空泵零件的更换
考虑以下部件的损耗造成压力降低。
<损耗部件一览> 更换部件组货号：40099554
检查部位
使用数量
检查内容
检查方法
碗形密封垫圈 2 有无异常磨耗、硬化、龟裂等现象 目视
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视
O 环 S-67 2 有无变形、磨耗、硬化、龟裂等無 目视
O 环 P-10 4 有无变形、磨耗、硬化、龟裂等 目视
密封材 2 有无变形、硬化、龟裂等 目视
防止吸气阀碰触胶垫 2 有无裂口、硬化 目视
需要更换下述时，请另行购买。
・真空黄油 货号：40119551
厂家：信越化学工业株式会社 厂家型号：HIVAC-G
在 O 环 P-10 上涂抹黄油。
・螺钉松动防止剂 NK-4 货号：40119552
厂家：SEALEND 株式会社 厂家型号：NK-4
在拧紧固定器时（更换碗形密封垫圈、防止吸气阀碰触胶垫）需要。
＜更换准备＞
1） 请断开电源，确认真空泵处于未开动状态。（刚停止运转后会很热，请停止后放置 30 分钟左右，
确认泵冷却之后再开始作业。）
2） 请卸下背侧正下方的护罩①～③。
3） 从真空泵取下气管、捆束线（电源线、保险丝），卸下固定 VAC_PUMP_PLATE 的内六角螺栓（M4
×8)。
4） 将真空泵从本体上取下。（取下时注意捆束带）
※ 取下真空泵时，真空泵托架与橡胶薄片有时会粘连。
取下电源线、
保险丝。
①
②
③
真空泵
内六角螺栓
M4
×
8
VAC_PUMP_PLATE
连接管
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10-3
密封垫的更换
1） 取下泵头盖的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2） 取下泵头盖内测的黑色密封垫，共 2 个，更换上新的密封垫。
※ 确认密封垫完全放置在泵头盖的密封垫槽内，请注意泵头盖和支架间不要出现相互咬合情况。
3） 请将固定泵头盖用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 的力进行对角拧紧。（在更换其它消耗部件
时，在不关闭盖子状态下参照个部位的更换工程项目）
更换 O 环 S-67
1） 用与更换密封垫一样手法，取下泵头盖和泵
头支架。
※ 泵头支架与碗形密封气缸之间的 O 环 S-67 有时会粘连。
此时如将泵头支架抬起，碗形密封气缸会被一起往上拉。
这种情况下，请撕开剥离之后再进行操作。
泵头盖
内六角螺栓×8
密封垫
泵头护罩的内侧
泵头支架
将泵头支架反过来的状态
碗形密封气缸
泵头支架
O 环 S-67