JM-20_维修调整要领书 - 第128页
维修调整要领书 10 -3 密封垫的更换 1 ） 取下泵头盖的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓 (M5 × 20) 。 2 ） 取下泵头盖内测的黑色密封垫，共 2 个，更换上新的密封垫。 ※ 确认密封垫完全放置在泵头盖的密封垫槽内，请注意泵头盖和支架间不要出现相互咬合情况。 3 ） 请将固定泵头盖用的内六角螺栓 (M5 × 20) 用 5.0N ・ m 的力进行对角拧紧。（在更换其它消耗部件 时，在不关闭盖子状态下参照个部位…
维修调整要领书
10-2
10-2．
真空泵零件的更换
考虑以下部件的损耗造成压力降低。
<损耗部件一览> 更换部件组货号：40099554
检查部位
使用数量
检查内容
检查方法
碗形密封垫圈 2 有无异常磨耗、硬化、龟裂等现象 目视
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视
O 环 S-67 2 有无变形、磨耗、硬化、龟裂等無 目视
O 环 P-10 4 有无变形、磨耗、硬化、龟裂等 目视
密封材 2 有无变形、硬化、龟裂等 目视
防止吸气阀碰触胶垫 2 有无裂口、硬化 目视
需要更换下述时，请另行购买。
・真空黄油 货号：40119551
厂家：信越化学工业株式会社 厂家型号：HIVAC-G
在 O 环 P-10 上涂抹黄油。
・螺钉松动防止剂 NK-4 货号：40119552
厂家：SEALEND 株式会社 厂家型号：NK-4
在拧紧固定器时（更换碗形密封垫圈、防止吸气阀碰触胶垫）需要。
＜更换准备＞
1） 请断开电源，确认真空泵处于未开动状态。（刚停止运转后会很热，请停止后放置 30 分钟左右，
确认泵冷却之后再开始作业。）
2） 请卸下背侧正下方的护罩①～③。
3） 从真空泵取下气管、捆束线（电源线、保险丝），卸下固定 VAC_PUMP_PLATE 的内六角螺栓（M4
×8)。
4） 将真空泵从本体上取下。（取下时注意捆束带）
※ 取下真空泵时，真空泵托架与橡胶薄片有时会粘连。
取下电源线、
保险丝。
①
②
③
真空泵
内六角螺栓
M4
×
8
VAC_PUMP_PLATE
连接管
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10-3
密封垫的更换
1） 取下泵头盖的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2） 取下泵头盖内测的黑色密封垫，共 2 个，更换上新的密封垫。
※ 确认密封垫完全放置在泵头盖的密封垫槽内，请注意泵头盖和支架间不要出现相互咬合情况。
3） 请将固定泵头盖用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 的力进行对角拧紧。（在更换其它消耗部件
时，在不关闭盖子状态下参照个部位的更换工程项目）
更换 O 环 S-67
1） 用与更换密封垫一样手法，取下泵头盖和泵
头支架。
※ 泵头支架与碗形密封气缸之间的 O 环 S-67 有时会粘连。
此时如将泵头支架抬起，碗形密封气缸会被一起往上拉。
这种情况下，请撕开剥离之后再进行操作。
泵头盖
内六角螺栓×8
密封垫
泵头护罩的内侧
泵头支架
将泵头支架反过来的状态
碗形密封气缸
泵头支架
O 环 S-67
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2） 更换碗形密封气缸上部的 O 环
S-67，更换上新的 O 环。
※ 盖子的安装，请遵照密封圈的更换顺序实施。在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下参照
个部位的更换工程项目。
更换 O 环 P-10
1） 用与更换密封垫一样手法，取下泵头盖和泵头支架。
2） O 环 P-10 安装到位于连接泵头罩之间的连接管内。事先，确认在 O 环上涂有真空黄油。
3） 插入连接管时，注意不要造成 O 环划伤，进行更换。（1 根管内有 2 个）
※ 盖子的安装，请遵照密封圈的更换顺序实施。在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下参照
个部位的更换工程项目。
O 环 S-67
碗形密封气缸
O 环 P-10 连接管