JM-20_维修调整要领书 - 第132页
维修调整要领书 10 -7 真空泵分解图 No. 名称 No. 名称 1 支柱 10 O 环 S-67 2 泵头盖 11 密封材 3 泵头支架 12 排气阀按压件 4 碗形密封气缸 13 排气阀 5 连杆 14 防止吸气阀碰触胶垫 6 固定器 15 O 环 P-10 7 碗形密封垫 16 内六角螺栓（ M5 × 20 ） 8 吸气阀 17 平头小螺钉 (M4 × 8) 9 连接管 18 圆头小螺钉 (M3 × 5)
维修调整要领书
10-6
吸气阀、排气阀的更换
1） 松开圆头螺钉(M3×5) ，按下并取下排气阀。
2） 擦干净泵头支架，更换新的排气阀。
3） 盖上排气阀按压件，使用 0.8N・m 的力，用涂抹了螺钉松动防止剂（Loctite242）的圆头螺钉(M3×5)
对泵头支架进行固定。
4） 松开固定吸气阀的圆头螺钉(M3×5)，取下吸气阀和垫片。
5） 擦干净泵头支架，更换新的吸气阀。在将吸气孔、排气孔完全覆盖状态下，安装吸气阀、排气阀。
6） 放好垫片，使用 0.8N・m 的力，用涂抹了螺钉松动防止剂（Loctite242）的圆头螺钉(M3×5)对泵
头支架进行固定。
※ 请按照密封材料更换步骤实施盖子的安装。在更换其它消耗部件时，在不关闭盖子状态下参照个
部位的更换工程项目。
排气阀按压件
排气阀
吸气阀
垫片
泵头支架
涂抹在螺钉头纹路2～3圈。
螺钉前端处不要涂抹。
Loctite涂抹量
维修调整要领书
10-7
真空泵分解图
No.
名称
No.
名称
1 支柱 10 O 环 S-67
2 泵头盖 11 密封材
3 泵头支架 12 排气阀按压件
4 碗形密封气缸 13 排气阀
5 连杆 14 防止吸气阀碰触胶垫
6 固定器 15 O 环 P-10
7 碗形密封垫 16 内六角螺栓（M5×20）
8 吸气阀 17 平头小螺钉(M4×8)
9 连接管 18 圆头小螺钉(M3×5)
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11-1
11
有关开关类･护罩
11-1．
按键开关的更换
① 起动 SW
② 监视器变换 SW
（背面操作装卸时）
③ 维护键 SW
④ 停止 SW
1） 开关的拆法是，请从护罩背面转动开关，向前面拉拔拆下（具体参看下图）。
2） 安装时请按相反操作顺序进行。
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
危险
前侧
①
②
③
④
后侧
①
④
②
※将锁定手柄朝箭头方向转动，解除锁定。
锁定手柄
TOP 标记位置
面板
① 固定部件
②
锁紧螺母
TOP 标记位置
③触点部