JM-20_维修调整要领书 - 第67页
维修调整要领书 3-1 3 贴装头周边部件 3-1 ． 电磁 阀 零件的 更换 降低主体的原压力，进行更换。 3-1 -1 ． 电磁阀的更换 1 ） 拆下 ① 带垫片内六角螺栓（ ×4 ），卸下贴装头护罩。 2 ） 先拆下 ② 带垫片内六角螺栓（× 4 ）、扎线、空气软管，再拆卸电磁阀主体。 3 ） 先拆卸 ③ 盆头螺钉（× 2 ），再拆卸各电磁阀。（注意不要弄丢电磁阀背面的垫圈） 4 ） 装配请按相反的步骤进行。 5 ） 更换后请用手…
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2-12
2-7．
更换贴装头部分后的从新调整
表 2-7-1 更换贴装头部分后的从新调整项目一览表
激光偏差
激光缩放
比例
贴装头
偏差
贴装综合
偏差
VCS 摄像机
偏差
VCS 综合
偏差
贴装头组件
○ ○ ○ ○ ○ ○
Z 马达
○
θ马达
○ ○
○ ○
LNC120
○ ○ ○
贴装头上升气缸
同步皮带 Z
○
同步皮带θ
○
Z 滑动轴
○ ○ ○
MS 参数请从左边按顺序输入。
更换贴装头装置组、Z 马达、同步皮带 Z 后进行激光偏差输入时，请将激光偏差的基板上面高度值置
为 0 之后重新取得。如果仍是更换前的偏差值，有些情况下可能不能正确取得偏差或不能自动取得。
注意
为了防止对人体造成伤害，触摸屏、HOD 操作时，请勿将手伸进机器内，
也不要将脸和头部靠近机器。
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3-1
3
贴装头周边部件
3-1．
电磁阀零件的更换
降低主体的原压力，进行更换。
3-1-1．
电磁阀的更换
1） 拆下①带垫片内六角螺栓（×4），卸下贴装头护罩。
2） 先拆下②带垫片内六角螺栓（×4）、扎线、空气软管，再拆卸电磁阀主体。
3） 先拆卸③盆头螺钉（×2），再拆卸各电磁阀。（注意不要弄丢电磁阀背面的垫圈）
4） 装配请按相反的步骤进行。
5） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
※ ③盆头螺钉（2 个）和密封垫圈（1 个）是各电磁阀的附属品。
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
危险
紧固扭矩：
0.15±0.02N·m
② 带垫片内六角
螺栓（×4）
① 带垫片内六角
螺栓（×4）
贴装头护罩
③ 盆头螺钉（×2）
真空破坏用的
电磁阀
真空发生用的电磁阀
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3-2
3-1-2．
过滤器的更换
・贴装头过滤器的更换
1） 拆下下面照片上的①cap（×2），卸下过滤箱 U。
（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。）
2） 取出过滤器并进行更换。
3） 装配请按相反的步骤进行。
4） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
3-1-3．
大气开放用过滤器的更换
1） 拆下②带垫片内六角螺栓（×4），卸下贴装头护罩。
2）拆下③盆头螺钉（×3），卸下大气开放用过滤器，进行更换。
3） 装配请按相反的步骤进行。
※ ③盆头螺钉（3 个）是附属品。
①cap （×2）
贴装头过滤器
③ 盆头螺钉（×3）
② 带垫片内六角
螺栓（×4）
大气开放用过滤器
贴装头护罩