JM-20_维修调整要领书 - 第68页
维修调整要领书 3-2 3-1 -2 ． 过滤器的更换 ・ 贴装头过滤器的更换 1 ） 拆下下面照片上的 ① cap （× 2 ），卸下过滤箱 U 。 （过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。） 2 ） 取出过滤器并进行更换。 3 ） 装配请按相反的步骤进行。 4 ） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。 3-1 -3 ． 大气开放用过滤器的更换 1 ） 拆下 ② 带垫片内六角螺栓（ ×4 ），卸下…
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3-1
3
贴装头周边部件
3-1．
电磁阀零件的更换
降低主体的原压力，进行更换。
3-1-1．
电磁阀的更换
1） 拆下①带垫片内六角螺栓（×4），卸下贴装头护罩。
2） 先拆下②带垫片内六角螺栓（×4）、扎线、空气软管，再拆卸电磁阀主体。
3） 先拆卸③盆头螺钉（×2），再拆卸各电磁阀。（注意不要弄丢电磁阀背面的垫圈）
4） 装配请按相反的步骤进行。
5） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
※ ③盆头螺钉（2 个）和密封垫圈（1 个）是各电磁阀的附属品。
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
危险
紧固扭矩：
0.15±0.02N·m
② 带垫片内六角
螺栓（×4）
① 带垫片内六角
螺栓（×4）
贴装头护罩
③ 盆头螺钉（×2）
真空破坏用的
电磁阀
真空发生用的电磁阀
维修调整要领书
3-2
3-1-2．
过滤器的更换
・贴装头过滤器的更换
1） 拆下下面照片上的①cap（×2），卸下过滤箱 U。
（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。）
2） 取出过滤器并进行更换。
3） 装配请按相反的步骤进行。
4） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
3-1-3．
大气开放用过滤器的更换
1） 拆下②带垫片内六角螺栓（×4），卸下贴装头护罩。
2）拆下③盆头螺钉（×3），卸下大气开放用过滤器，进行更换。
3） 装配请按相反的步骤进行。
※ ③盆头螺钉（3 个）是附属品。
①cap （×2）
贴装头过滤器
③ 盆头螺钉（×3）
② 带垫片内六角
螺栓（×4）
大气开放用过滤器
贴装头护罩
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3-3
3-2．
HMS 的更换
3-2-1．
HMS 头部的更换
图 3-2-1-1 HMS 头部的更换
3-2-2．
放大器的更换
将放大器推到下方后（①），向左侧旋转（②），从 HMS 放大器底座上拆下。
装配请按相反的步骤进行。
图 3-2-2-1 放大器部的更换
SM6032502TN（×2）
内六角螺栓 M3×25
①
②