PTS-NXT3c-07 - 第153页
M6 IIIc-BED 7/ M6 II Ic-ベッ ド 7/ 2UGZBE0001 60 No. Drg.No. & Cod e No. QT Y Description Ra ting Re marks 番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 備考 1 Y60422 1 UNION, HALF ユニオ ン ハ ーフ KQ2H0 4-02AS 2 Y60194 1 UNION, ELBOW ユニオ ン エ ルボ…
φ6
φ6
φ6
φ4
φ10
φ4
φ4
φ6
φ6
φ6
φ6
φ6
φ8 φ8
φ12
φ12
φ4
φ10
φ12
φ4
φ8
φ10
φ10
φ8 φ10
φ4φ4
φ10
φ6
φ6
φ4
AS1201F-M5-06-X229
AS1201F-M5-06-X828
Neg press
Pos press
Neg pressPos press
Neg press
Neg press
Pos press
Pos press
Pos press
102103 109
151
106
112
115
114
116
23
2730
44
25
26
4
20
4 25
20
122
52
51
8 9
15 14
10
21 22
29 13 19 17
43 42 41
18 1631
23
118
10
29
2727
24
3 3
223
105
113
108
110
131
107
132
104
117
1
111
7
6
5 5
12
11
101
120
34
35
28 17
18 16
204
205
203
204
206
207
208
201
202
2UGZBE000160
M6 IIIc-BED 7/
MANUHOLD
CONVEYOR
DUCT
LEFT SIDE
RIGHT SIDE
Y-AXIS FLEXIBLE TRACK
FOR FEEDER OPTION
FOR MODULE FRONT SIDE
WASTE TAPE
DEVICE BASE
XSLIDE
NOZZLE CHANGE
IONIZER
BASE
(AIR SOURSE)
BASE
(AIR SOURSE)
(DEVICE BASE)
PROCESSING UNIT
G
F2
F1
I
H
C1
E
D
STANDARD
VACUUM BACK UP PINS (LANE1)
VACUUM BACK UP PINS (LANE2)
INSTALLATIONS
IONIZER ON
DUST COLLECT
AIR BLOW ON
152
PTS-NXT3c-07
M
6
III c
-
^
'
vK
7
/
<
>
<
>
<
>
<
>
9
'
0
h
8
左側
右側
乂
"
T
1
標準仕様
八一叉
(
工
7
源
）
^
—
7
.
(
工
7
源
）
Y
軸々一夕儿八
7
負圧
012
x
2
埃対策
正圧
06
■
o
:
;
x
;
>
—
H
集塵工
7
夕口一
ON
JJO
M
5
正圧
010
O
oo
SYJS
12
T
-
5
MOZ
-
M
5
-
F
-
Q
正圧
010
OQ
負
O
o
口
>
/
<
T
正
正
o
-
f
才于
-
f
-
f
O
N
正
O
残亍一夕力
、
:
/
夕一
a
7
/
;
Ou
于工
：
o
Q
-
,
PA
Q
(
宁
/
Ux
沁一又部
）
7
二木
K
干
VI
—
儿前側用
W
-
夕
，
0
P
用
M6 IIIc-BED 7/
M6 IIIc-ベッド 7/
2UGZBE000160
No.
Drg.No. & Code No.
QTY
Description
Rating
Remarks
番号
図番
&
ｺｰﾄﾞ番号
個数
品名
規格
備考
1
Y60422
1
UNION, HALF
ユニオン ハーフ
KQ2H04-02AS
2
Y60194
1
UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2VS10-02AS
3
Y60195
2
UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L04-01AS
4
Y60199
2
UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L06-M5A
5
Y60192
2
UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L06-01AS
6
H3145K
1
PLUG
プラグ
KQ2P-04
7
Y60291
1
UNION
ユニオン
KQ2U04-06A
8
Y60205
1
UNION, HALF
ユニオン ハーフ
KQ2H08-00A
9
Y60365
1
UNION
ユニオン
KQ2H10-12A
10
Y60206
2
UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L04-06A
11
Y60313
1
UNION
ユニオン
KQ2T10-00A
12
A61138
1
ELBOW
エルボ
KQ2L12-00A
13
Y60203
1
UNION, HALF
ユニオン ハーフ
KQ2S12-03AS
14
Y3023W
1
UNION
ユニオン
PEG12-8
15
Y3027B
1
UNION
ユニオン
PWJ8-6
16
K11578
2
COUPLER
カプラ
KK4P-10E
17
K1158B
2
COUPLER
カプラ
K4-04PM
18
Y60202
2
ELBOW
エルボ
KQ2L10-99A
19
2MGKBC000403
1
JOINT
ジョイント
20
H66819
2
VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
SYJ512T-5MOZ-M5-F-Q
21
S64379
1
SW, PRESSURE
ＳＷ プレッシャ
ISE30A-C4L-P-ML
22
S64380
1
SW, PRESSURE
ＳＷ プレッシャ
ZSE30A-C4L-P-ML
23
A3033A
3
PLUG
埋栓
PT1/4
24
2MGTBC001604
1
MANIFOLD, AIR
マニホールド エアー
25
A3042A
2
PLUG
埋栓
M-5P
26
K68769
1
CONTROLLER, SPEED
コントローラ スピード
AS1201F-M5-06-X229
27
A3034A
3
PLUG
埋栓
PT1/8
28
2MGKBC000101
1
JOINT
ジョイント
29
A61009
2
ELBOW
エルボ
KQ2L12-99A
30
Y60374
1
UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2LU06-01AS
31
Y60440
1
UNION
ユニオン
KQ2T10-08A
34
Y60337
1
UNION
ユニオン
KQ2T04-06A
35
H3145L
1
PLUG
プラグ
KQ2P-06
41
K1161W
1
COUPLER
カプラ
CPPE7-01
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
42
Y3024A
1
UNION
ユニオン
PMF6-01
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
43
Y3016B
1
UNION
ユニオン
PLLJ6
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
44
Y60346
1
UNION
ユニオン
KQ2H06-02AS
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
51
S5026S
1
SOCKET
ソケット
KK2S-06E
52
S5026S
1
SOCKET
ソケット
KK2S-06E
101
2MGZBE005401
1
TUBE
チューブ
102
2MGZBE004000
1
TUBE
チューブ
103
2MGZBE004101
1
TUBE
チューブ
104
2MGZBE004201
1
TUBE
チューブ
105
2MGZBE004300
1
TUBE
チューブ
106
2MGZBE004401
1
TUBE
チューブ
107
2MGZBE004500
1
TUBE
チューブ
108
2MGZBE004600
1
TUBE
チューブ
109
2MGTBA002701
1
TUBE
チューブ
110
2MGZBE004700
1
TUBE
チューブ
111
2MGZBE004801
1
TUBE
チューブ
112
2MGZBE006600
1
TUBE
チューブ
153
PTS-NXT3c-07
M6 IIIc-BED 7/
M6 IIIc-ベッド 7/
2UGZBE000160
No.
Drg.No. & Code No.
QTY
Description
Rating
Remarks
番号
図番
&
ｺｰﾄﾞ番号
個数
品名
規格
備考
113
2MGTBC018900
1
TUBE
チューブ
114
2MGTBE004700
1
TUBE
チューブ
115
2MGZBE002400
1
TUBE
チューブ
116
2MGZBE007700
1
TUBE
チューブ
117
2MGZBE004900
1
TUBE
チューブ
118
2MGZBE005000
1
TUBE
チューブ
120
2MGZBE005602
1
TUBE
チューブ
122
K70128
1
CONTROLLER, SPEED
コントローラ スピード
AS1201F-M5-06-X828
131
2MGZBE002600
1
TUBE
チューブ
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
132
2MGZBE002700
1
TUBE
チューブ
OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS
151
2MGTBE010200
1
TUBE
チューブ
201
Y60220
1
UNION
ユニオン
KQ2T08-06A
202
Y60200
1
UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
KQ2L06-99A
203
H1059W
1
VALVE, BALL
バルブ ボール
BVLU6-6
204
S40278
2
SENSOR
センサ
ER-VW
205
PZ27412
1
TUBE
チューブ
206
PZ20931
1
TUBE
チューブ
207
PZ20661
1
TUBE
チューブ
208
Y3021F
1
UNION
ユニオン
PCC6-M8M-F
154
PTS-NXT3c-07