N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册 - 第116页
EJM8DC-MB-03E-0 1 NPM-DX 各单元定期检查部位 1 ＜各类型共同点＞ 各种压力表 3-6 -1 工程师手册 3-6 关于设定值和检查方法的细节，请参考操作手册 “6-1-1 压 力的检查 ” 。 真空泵供给压 ( 用于 B 基台的 ) 主气压 真空破坏压 ( 用于 B 基台的 ) 1 真空泵供给压 ( 用于 A 基台的 ) 选购件用 清扫吹气压 真空破坏压 ( 用于 A 基台的 ) 1 3 2 2 4 1
EJM8DC-MB-03E-01
NPM-DX
3-5-2
No.
名称
参考使用寿命
[h]
备注 参阅
1
基板传送皮带
– – 9-3-3
■延长传送带
No.
名称
参考使用寿命
[h]
备注 参阅
1
FA电脑: 日历蓄电池
(87600)
10 年
9-3-5
2
FA电脑:UPS蓄电池
(26280)
6 年
■LNB
选购件
EJM8DC-MB-03E-01
NPM-DX
各单元定期检查部位 1
＜各类型共同点＞
各种压力表
3-6-1
工程师手册
3-6
关于设定值和检查方法的细节，请参考操作手册 “6-1-1 压力的检查”。
真空泵供给压
(用于B 基台的)
主气压
真空破坏压
(用于B 基台的)
1
真空泵供给压
(用于A 基台的)
选购件用
清扫吹气压
真空破坏压
(用于A 基台的)
1
3
2
2
4
1
EJM8DC-MB-03E-01
NPM-DX
3-6-2
真空泵
触摸屏
XY单元
后侧
触摸屏
真空泵
X轴线性导轨
电缆支架
Y轴线性导轨
电缆支架