N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册 - 第172页

EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX + 安全 开关的检查 1 3 4-9 -1 工程师手册 4 - 9 紧急停止开关的检 查 2 对紧急停止开关 的检查方法进 行说明。 使用工具 : 不要 所需时间 : 2 分钟 ● 请事先执行原点复归 操作 。 按前侧的紧急停止开关。 请确认画面已经 过渡到左侧画 面。 按后侧的紧急停止开关,并确认画面 与前侧相同地过渡到新画面。 请确认画面已经 过渡到左侧画 面。

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从安全盖卸下过
滤器进行清扫
使用气枪
请勿使用有机溶剂
过滤器
把过滤器安装在
安全盖上
过滤器
取出过滤器芯进行清扫
分解过滤器单元
使用气枪,清除过滤芯的
灰尘
(请勿使用有机溶剂)
把过滤器单元组装成原样
贴装头
过滤器芯
O型环
过滤器盒
圆环
真空泵
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NPM-DX
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安全开关的检查
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工程师手册
4-9
紧急停止开关的检
2
对紧急停止开关的检查方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
请事先执行原点复归操作
按前侧的紧急停止开关。
请确认画面已经过渡到左侧画面。
按后侧的紧急停止开关,并确认画面
与前侧相同地过渡到新画面。
请确认画面已经过渡到左侧画面。
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前侧盖,确认
󲺊[AF 盖]
的󰍵示󳗓󱾩是从󲈔󱾩󰶧󱾩
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侧盖,确认
󲺊[AR 盖]
的󰍵示󳗓󱾩是从󲈔󱾩󰶧󱾩
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 () 的󰗷󰔜
<A基台的确认>
<B基台的确认>
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对(盖)的󰗷󰔜方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
󳖱 󱼪 ,是从󲣵前侧进行,󳖱 是从󲣵的侧进行󰈄作
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(󰍵示󲳊确认󱉲面󰍵示)
要󰁀4󰡘
(#4) 󰁀1󰡘、 󰁀4󰡘。
用A基台󰕮的󰢜󳟛确认。