N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册 - 第172页
EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX + 安全 开关的检查 1 3 4-9 -1 工程师手册 4 - 9 紧急停止开关的检 查 2 对紧急停止开关 的检查方法进 行说明。 使用工具 : 不要 所需时间 : 2 分钟 ● 请事先执行原点复归 操作 。 按前侧的紧急停止开关。 请确认画面已经 过渡到左侧画 面。 按后侧的紧急停止开关,并确认画面 与前侧相同地过渡到新画面。 请确认画面已经 过渡到左侧画 面。

EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
4
5
6
4-8-2
从安全盖卸下过
滤器进行清扫
●使用气枪。
●请勿使用有机溶剂。
过滤器
把过滤器安装在
安全盖上
过滤器
取出过滤器芯进行清扫
①分解过滤器单元。
②使用气枪,清除过滤器芯的
灰尘。
(请勿使用有机溶剂)
③把过滤器单元组装成原样。
贴装头
过滤器芯
O型环
过滤器盒
圆环
真空泵

EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
+
安全开关的检查
1
3
4-9-1
工程师手册
4-9
紧急停止开关的检查
2
对紧急停止开关的检查方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
●请事先执行原点复归操作。
按前侧的紧急停止开关。
请确认画面已经过渡到左侧画面。
按后侧的紧急停止开关,并确认画面
与前侧相同地过渡到新画面。
请确认画面已经过渡到左侧画面。

EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
4-9-2
1
2
3
3
前侧盖,确认
[AF 盖]
的示是从
4
侧盖,确认
[AR 盖]
的示是从
1
2
4
(盖) 的
<A基台的确认>
<B基台的确认>
5
5
对(盖)的方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
● ,是从前侧进行, 是从的侧进行作。
431
(示确认面示)
要4
(#4) 1、 4。
用A基台的确认。