N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册 - 第177页
EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX 4- 10 -4 4 5 将供料器工作台盖 倒向内侧。 ● 不要倚靠在供料器工 作台盖 上,也不要在上 面放置物品。 6 基板传器 ● 基板传器 ( ) 轨道 1 、 2 的 侧、侧 1 ● 使用 。 轨道 2 基板 传器 ( 侧 ) 轨道 2 基板 传器 ( 侧 ) 轨道…

EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
OFF SERVO ON
基板传器的 2
4-10-3
工程师手册
4-10
传送带
对基板传器器的方法进行说明
使用工具: 所需时间: 5 分钟
1
卸下交换台车
(→P.2-4)
2
3
将传送带宽度调整
150 mm
(→『作手册』P.3-3-4)
●作
10
9
交换台车
(→P.2-4)
8
7
供料器工作台
OFF SERVO ON

EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
4-10-4
4
5
将供料器工作台盖
倒向内侧。
●不要倚靠在供料器工作台盖
上,也不要在上面放置物品。
6
基板传器
●基板传器 ()
轨道1、2的侧、侧1
●使用。
轨道2
基板传器
(侧)
轨道2
基板传器
(侧)
轨道1
基板传器
(侧)
轨道1
基板传器
(侧)
在A基台侧置传送带时的、
传器的置

EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
OFF SERVO ON
使用工具: 所需时间: 2 分钟
传送带L、传送带R
基板传器的 3
4-10-5
工程师手册
4-10
3
2
1
将传送带宽度调整
150 mm
(→『作手册』P.3-3-4)
●作
6
5
SERVO
ON
4
传送带的
上面盖
传送带的
上面盖
基板传器
●使用。
●基板传器
轨道1、2的侧、侧2
●的作所的传送带L、R的。
基板传器