N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册 - 第53页
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EJM8DC-SF-01C-02
NPM-DX
使用须知 3
1-4
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●为了防止吸着元件落下，即使按下紧急停止开关真空泵的马达也不会停止运转。
各部位马达操作的注意事项
各部位连接器操作的注意事项
(设备内部A/B基台)
真空ポンプ
●如果按紧急停止开关，以下马达会停止运转。
・X轴、Y轴马达
・贴装头Z轴、θ轴马达
・宽度调整马达
●以下连接器即使按下了紧急停止开关，电源也不会被切断。 拔插连接器时，请必须要将设备的电源设为
OFF。
・CPU BOX用电源连接器
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使用须知 4
1-4
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高度传感器的使用注意事项
项目 激光规格
制造
松下智能⽣产科技株式会社
型号
MTKA007994AA
波长
660 nm
输出
240 μW
等级 1类
安装位置 参照图
限制条件
IEC60825-1 2007
●高度传感器属于激光安全规格一类 (IEC60825-1) 产品，在正常使用下基本上是安全的，但是在进行维护
或操作时请勿直视。
■请勿直视。
■高度传感器的规格
●高度传感器能够安装在本设备X单元的前后部位上。
激光素子的最大输出为240 μW。传感器头未具有拆开时停止激光反射的结构。如果将其拆开，
则有被辐射的激光照射的危险，因此请绝对不要拆开传感器头。