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*8 *8 *8 *8 *8 カメラ カメラ カメラ カメラ カメラ 3 3 3 3 3 倍率 X(横)[0.01 µ m/pixel]、倍率 Y(縦)[0.01 µ m/pixel] カメラ 3 (基板認識カメラ)の倍率を設定するデータで、1 ピク セルが何 m m に相当するかを設定します。 X 方向と Y 方向を設定します。 *9 *9 *9 *9 *9 カメラ カメラ カメラ カメラ カメラ 3 3 3 3 3 位置 X(横)[…
*6*6
*6*6
*6
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
22
22
2
角度[°]
XY テーブル座標系とカメラ 2(部品認識カメラ低倍)走査座標系
との角度差オフセットデータです。
XY テーブル系に対してカメラ走査線が反時計方向にずれて
いるときは“+”になります。
*7*7
*7*7
*7
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
22
22
2
基準ゲイン(透過)、基準レベル(透過)、
基準ゲイン(反射 12)、基準レベル(反射 12)、
基準ゲイン(反射 1)、基準レベル(反射 1)、基準ゲイン(反射
2)、基準レベル(反射 2)
カメラ 2(部品認識カメラ低倍)の映像信号の明るさを表す画素
情報に変換する際の増幅率の設定を行います。
(a) ゲインの値を小さくするとコントラストが良くなりま
す。
(b) レベルの値を小さくすると全体の明るさが明るくなりま
す。
(c) 透過照明用 / 反射照明用をそれぞれ設定できます。
Fig.3E35-2 “カメラオフセット”タブシート (3)
0306-006 5-37 AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ
*8*8
*8*8
*8
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
33
33
3
倍率 X(横)[0.01µm/pixel]、倍率 Y(縦)[0.01µm/pixel]
カメラ 3(基板認識カメラ)の倍率を設定するデータで、1 ピク
セルが何 mm に相当するかを設定します。
X 方向と Y 方向を設定します。
*9*9
*9*9
*9
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
33
33
3
位置 X(横)[mm]、位置 Y(縦)[mm]
XY テーブル基板原点とカメラ 3(基板認識カメラ)中心との距離
設定オフセットで、設計値に対する調整データです。
Fig.3E35-3
0306-006 5-38
AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ
*10*10
*10*10
*10
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
33
33
3
Z(角度)[°]
XY テーブル座標系とカメラ 3(基板認識カメラ)走査座標系と
の角度差オフセットデータです。
XY テーブル系に対してカメラ走査線が反時計方向にずれて
いるときは“+”になります。
*11*11
*11*11
*11
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
33
33
3
基板照明 1 ゲイン、基板照明レベル 1、
基板照明 2 ゲイン、基板照明レベル 2
カメラ 3(基板認識カメラ)の映像信号の明るさを表す画素情報
に変換する際の増幅率の設定を行います。
(a) ゲインの値を小さくするとコントラストが良くなりま
す。
(b) レベルの値を小さくすると全体の明るさが明るくなり
ます。
*12*12
*12*12
*12
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
33
33
3
バッドマーク階調値
バッドマークのコントラストの設定を行います。
*13*13
*13*13
*13
カメラカメラ
カメラカメラ
カメラ
33
33
3
バッドマークゲイン、バッドマークレベル
バッドマークの明るさを表す画素情報に変換する際の増幅率
の設定を行います。
(a) ゲインの値を小さくするとコントラストが良くなりま
す。
(b) レベルの値を小さくすると全体の明るさが明るくなりま
す。
0306-006 5-39
AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ