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• • • • • シートの構成 シートの構成 シートの構成 シートの構成 シートの構成 *1 *1 *1 *1 *1 基板移載 基板移載 基板移載 基板移載 基板移載 基板の搬送方向を設定します。 “L → R” 基板が左から右に流れます。 “R → L” 基板が右から左に流れます。 設定を変更した場合は、再度、原点復帰操作が必要です。 *2 *2 *2 *2 *2 排出優先機能 排出優先機能 排出優先機能 排出優先機能 排出優先機能…
3.3.23.3.2
3.3.23.3.2
3.3.2
““
““
“
前前
前前
前
後後
後後
後
工工
工工
工
程程
程程
程
モモ
モモ
モ
ーー
ーー
ー
ドド
ドド
ド
設設
設設
設
定定
定定
定
””
””
”
タブタブ
タブタブ
タブ
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シートの表示シートの表示
シートの表示シートの表示
シートの表示
“運転パラメータ”タブシートの[前後行程モード設定］タブを押す
と、以下のタブシートが表示されます。
Fig.3E40 “前後工程モード設定”タブシート (1)
Fig.3E40-1 “前後工程モード設定”タブシート (2)
0306-006 5-49
AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ
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シートの構成シートの構成
シートの構成シートの構成
シートの構成
*1*1
*1*1
*1
基板移載基板移載
基板移載基板移載
基板移載
基板の搬送方向を設定します。
“L→R”
基板が左から右に流れます。
“R→L”
基板が右から左に流れます。
設定を変更した場合は、再度、原点復帰操作が必要です。
*2*2
*2*2
*2
排出優先機能排出優先機能
排出優先機能排出優先機能
排出優先機能
基板排出動作の排出優先機能を“使用しない”、“使用する”を
設定するデータです。
排出優先機能“使用しない”に設定した場合(標準)
XY テーブル上の装着完了仕上がり済み基板の排出は、次の基板
の XY テーブル部への移載と一緒に行われます。
Fig.3E41
図の A 部に、次の基板がくるまで XY テーブル上の仕上がり済み
基板は待機となります。
排出優先機能“使用する”に設定した場合
XY テーブル上の基板に装着が完了し、XY テーブルが原点に戻っ
たときに、A 部には基板がなく，コンベア搬送も起動していな
い場合には、排出優先機能にしたがい、基板移載を作動させて
後工程への基板(仕上がり基板)排出を実行します。
前工程装置とのラインバランスが合わず、仕上がり基板の滞留
（XY テーブル上)をさける場合にはこの方式が有効です。
0301-005 5-50 AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ
*3*3
*3*3
*3
自動運転停止機能自動運転停止機能
自動運転停止機能自動運転停止機能
自動運転停止機能
自動運転停止機能を“使用する”、”使用しない”を設定する
データです。
自動運転停止機能“使用する”に設定した場合(標準)
装置上に基板が 1 枚もないイニシャライズ状態で、“始動”ボタ
ン“ON”により自動運転に入り、前工程からの基板搬送待ちで
“待機中”の際、前工程運転中信号の OFF を検出してその状態が
2 秒間継続したとき、運転を停止します。
装置上に基板がなく、しかも前工程が自動運転していない場合
は基板が送られてくる可能性はなく、自動運転を継続する必要
がないとの判断に基づきます。
装置上の基板を処理し、装置上に他の未処理基板が 1 枚もない
状態で、処理済み基板を後工程へ排出完了時、前工程が運転停
止状態にある場合は自動停止します。
他社装置との接続では動作しない場合もあります。
*4*4
*4*4
*4
前工程の排出方式前工程の排出方式
前工程の排出方式前工程の排出方式
前工程の排出方式
前工程の基板排出方式に合わせて設定します。
コンベア
コンベアによる基板授受での前工程のワーク搬送信号に連動し
て供給コンベアが作動します。
ワーク搬送信号が途切れると、供給コンベアは停止します。
プッシャー
プッシャーで強制的に前工程より供給コンベアに送られてくる
ケースでの基板授受対応方式です。
供給コンベア入り口側に基板検出センサ(プッシャ用)がない場
合は、“プッシャー”設定をしないでください。
SMEMA (使用不可）
SMEMA 規格による搬送 I/F を行います。
コンベア 2
コンベアにある基板授受を“ワーク要求信号”のみで行うこと
ができます。
コンベア 3
コンベアによる基板授受での前工程のワーク搬送信号に連動し
て供給コンベアが作動します。
ワーク搬送信号が、一定時間途切れても、供給コンベアは作動
し続けます。
0301-005 5-51
AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ