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*5 *5 *5 *5 *5 供給コンベア 供給コンベア 供給コンベア 供給コンベア 供給コンベア タイマー 1 [秒]、タイマー 2[秒]、停止タイマー[ 秒] 供給コンベアの設定です。 タイマー 1 [秒] 前工程との基板授受での供給コンベアの動作制限時間を設定し ます。 供給コンベアの動作している時間を計り、基板の引っかかり異 常の監視に使用されます。 (a) 設定は、前工程装置との基板授受搬送に要する時間 に 2 秒程度加算した…
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自動運転停止機能自動運転停止機能
自動運転停止機能自動運転停止機能
自動運転停止機能
自動運転停止機能を“使用する”、”使用しない”を設定する
データです。
自動運転停止機能“使用する”に設定した場合(標準)
装置上に基板が 1 枚もないイニシャライズ状態で、“始動”ボタ
ン“ON”により自動運転に入り、前工程からの基板搬送待ちで
“待機中”の際、前工程運転中信号の OFF を検出してその状態が
2 秒間継続したとき、運転を停止します。
装置上に基板がなく、しかも前工程が自動運転していない場合
は基板が送られてくる可能性はなく、自動運転を継続する必要
がないとの判断に基づきます。
装置上の基板を処理し、装置上に他の未処理基板が 1 枚もない
状態で、処理済み基板を後工程へ排出完了時、前工程が運転停
止状態にある場合は自動停止します。
他社装置との接続では動作しない場合もあります。
*4*4
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前工程の排出方式前工程の排出方式
前工程の排出方式前工程の排出方式
前工程の排出方式
前工程の基板排出方式に合わせて設定します。
コンベア
コンベアによる基板授受での前工程のワーク搬送信号に連動し
て供給コンベアが作動します。
ワーク搬送信号が途切れると、供給コンベアは停止します。
プッシャー
プッシャーで強制的に前工程より供給コンベアに送られてくる
ケースでの基板授受対応方式です。
供給コンベア入り口側に基板検出センサ(プッシャ用)がない場
合は、“プッシャー”設定をしないでください。
SMEMA (使用不可）
SMEMA 規格による搬送 I/F を行います。
コンベア 2
コンベアにある基板授受を“ワーク要求信号”のみで行うこと
ができます。
コンベア 3
コンベアによる基板授受での前工程のワーク搬送信号に連動し
て供給コンベアが作動します。
ワーク搬送信号が、一定時間途切れても、供給コンベアは作動
し続けます。
0301-005 5-51
AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ
*5*5
*5*5
*5
供給コンベア供給コンベア
供給コンベア供給コンベア
供給コンベア
タイマー 1[秒]、タイマー 2[秒]、停止タイマー[秒]
供給コンベアの設定です。
タイマー 1[秒]
前工程との基板授受での供給コンベアの動作制限時間を設定し
ます。
供給コンベアの動作している時間を計り、基板の引っかかり異
常の監視に使用されます。
(a) 設定は、前工程装置との基板授受搬送に要する時間
に 2 秒程度加算したデータを設定します。
(b) データの入力範囲は“0 ∼ 99 秒”です。
タイマー 2[秒]
供給コンベアによる基板の装置内搬送における供給コンベアの
動作制限時間を設定します。
供給コンベアの動作している時間を計り、基板の引っかかり異
常の監視に使用されます。
データの入力範囲は“0 ∼ 99 秒”です。
停止タイマー[秒]
供給コンベアのバッファ位置のセンサが基板を検出してから、
コンベアが停止するまでのディレー時間を設定します。
以下の図のような基板の場合に、フォトセンサが基板を検出
し、停止した際に、ちょうど基板パターンの隙間で基板が停止
してしまうと基板なしと判定してしまうので、ディレータイマ
を設定します。
Fig.3E42
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0301-005 5-52 AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ
*6*6
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後工程の排出方式後工程の排出方式
後工程の排出方式後工程の排出方式
後工程の排出方式
後工程装置との基板授受を設定します。
標準
後工程装置が当社製の装置に接続した場合は、“標準”に設定
してください。
コンベアによる基板の授受で後工程のワーク要求信号 ON を条件
にワーク搬送信号を ON して基板を排出します。
基板排出動作開始後、所定時間内にワーク要求信号が OFF しな
い場合は、異常停止します。
インターバル
後工程のワーク要求信号 ON を条件に、基板を排出します。
所定時間(排出コンベアタイマーで設定した時間)経過後、コン
ベアを停止します。
コンベア停止後、[排出インターバルタイマー]で設定時間の経
過後、排出条件が整えば排出動作を開始します。
異常の検出は行いません。
SMEMA (使用不可）
SMEMA 規格による搬送 I/F を行います。
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*7*7
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排出コンベア排出コンベア
排出コンベア排出コンベア
排出コンベア
タイマー 1[秒]、タイマー 2[秒]
停止タイマー(バッファ 1)[秒]、停止タイマー(バッファ 2)[秒]
タイマー 1[秒]
後工程との基板授受で排出コンベアの動作制限時間を設定しま
す。
(a) 設定は、後工程装置との基板授受搬送に要する時間
に 2 秒程度加算したデータを設定します。
(b) データの入力範囲は“0 ∼ 99 秒”です。
タイマー 2[秒]
排出コンベアの基板の装置内搬送における動作制限時間を設定
します。
データの入力範囲は“0 ∼ 99 秒”です。
停止タイマー(バッファ 1)[秒]
排出コンベアのバッファ 1 位置のセンサが基板を検出してか
ら、コンベアが停止するまでのディレー時間を設定します。
0301-005 5-53 AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ