3OM-1053-002 - 第281页
3.4 3.4 3.4 3.4 3.4 “ “ “ “ “ 環 環 環 環 環 境 境 境 境 境 設 設 設 設 設 定 定 定 定 定 ” ” ” ” ” タブ タブ タブ タブ タブ 3.4.1 3.4.1 3.4.1 3.4.1 3.4.1 “ “ “ “ “ タ タ タ タ タ ワ ワ ワ ワ ワ ー ー ー ー ー 灯 灯 灯 灯 灯 ” ” ” ” ” タブ タブ タブ タブ タブ • • • • • シートの表示 シート…
*14*14
*14*14
*14
通過動作選択通過動作選択
通過動作選択通過動作選択
通過動作選択
通過動作の方法を以下から選択します。
コンベア：コンベアが動作して、基板が通過します。
移載爪 ：コンベアと基板移載爪が動作して、基板が通過しま
す。
*15*15
*15*15
*15
排出コンベア基板外れ検出排出コンベア基板外れ検出
排出コンベア基板外れ検出排出コンベア基板外れ検出
排出コンベア基板外れ検出
排出コンベア部において基板外れの“検出しない”または“検
出する”を設定します。
*16*16
*16*16
*16
炉信号チェック機能炉信号チェック機能
炉信号チェック機能炉信号チェック機能
炉信号チェック機能
炉信号チェック機能の“検出しない”または“検出する”を設
定します。
“前工程の排出方式”または“後工程の排出方式”を
“SMEMA”に設定すると、この機能は使用できません。
*17*17
*17*17
*17
基板有無信号確認基板有無信号確認
基板有無信号確認基板有無信号確認
基板有無信号確認
基板有無信号の確認を行うかどうか設定します。
確認しない： 基板有無信号を確認しません。
前後工程 ：前工程 / 後工程位置から基板有無信号を確認し
ます。
前工程のみ ： 前工程装置からの基板有無信号を確認します。
後工程のみ ： 後工程装置からの基板有無信号を確認します。
(a) 基板有無信号を確認する設定の場合、前工程およ
び後工程装置のコンベア上の基板を検出し、本装
置の自動段取りなどの動作を制限します。
(b)“前工程の排出方式”または“後工程の排出方式”
を“SMEMA”に設定すると、この機能は使用できま
せん。
*18*18
*18*18
*18
移載コンベア逆転速度移載コンベア逆転速度
移載コンベア逆転速度移載コンベア逆転速度
移載コンベア逆転速度
基板搬送時に、コンベアを逆転させてワーク基板を移載爪に寄
せる動作の速度を可変することができます。
以下から選択します。
減速なし 10% 減速 20% 減速 30% 減速 40% 減速
50% 減速 60% 減速 70% 減速 80% 減速 90% 減速
0301-005 5-56
AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ
3.43.4
3.43.4
3.4
““
““
“
環環
環環
環
境境
境境
境
設設
設設
設
定定
定定
定
””
””
”
タブタブ
タブタブ
タブ
3.4.13.4.1
3.4.13.4.1
3.4.1
““
““
“
タタ
タタ
タ
ワワ
ワワ
ワ
ーー
ーー
ー
灯灯
灯灯
灯
””
””
”
タブタブ
タブタブ
タブ
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••
•
シートの表示シートの表示
シートの表示シートの表示
シートの表示
“環境設定”タブシートの[タワー灯］タブを押すと、以下のタブ
シートが表示されます。
Fig.3E46 “タワー灯”タブシート
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••
•
シートの構成シートの構成
シートの構成シートの構成
シートの構成
*1*1
*1*1
*1
データ名データ名
データ名データ名
データ名
タワー灯色(赤、黄、緑）とブザー音を設定する項目が表示さ
れます。
*2*2
*2*2
*2
赤、赤、
赤、赤、
赤、
黄、黄、
黄、黄、
黄、
緑緑
緑緑
緑
タワー灯色(赤、黄、緑）の“点灯”、“消灯”を設定します。
*3*3
*3*3
*3
ブザーブザー
ブザーブザー
ブザー
ブザーの“消音”、“断続音”、“連続音”、“設定音”を設定しま
す。
“登録音”は、“ブザー設定”タブシートで、任意のパターンを
作成することができます。
0301-004 5-57 AGH01JDTP
3.4 “環境設定”タブ
3.4 “環境設定”タブ
0111-003 5-57-1 AGH01JDTP
*4*4
*4*4
*4
[[
[[
[
標準の設定に変更する標準の設定に変更する
標準の設定に変更する標準の設定に変更する
標準の設定に変更する
]]
]]
]
アイコンアイコン
アイコンアイコン
アイコン
タワー灯色を標準の設定に変更します。