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2.3 オペレーションデータ 0206-004 2 - 30 AFM01JGP （ （ （ （ （ A02_02 A02_02 A02_02 A02_02 A02_02 ） ） ） ） ） 全体認識 全体認識 全体認識 全体認識 全体認識 基板認識機能選択の全体認識を使用する場合、各認識マークの座標 とマーク No. を設定します。 1 1 1 1 1 点目 点目 点目 点目 点目 X X X X X （ （ （ （ （ 横 横 横 横…

100%1 / 311
2.3 オペレーションデータ
0206-004 2-29 AGH01JDTP
基板認識方法 個々認識基板認識方法 個々認識
基板認識方法 個々認識基板認識方法 個々認識
基板認識方法 個々認識
“基板認識機能選択”を“認識する”に設定した場合、個々認識の設
定を以下から選択します。
認識しない : 個々認識を行いません。
認識する : 個々認識を行います。
認識しない
Fig.3B48-2
基板認識方法 個々認識
2.3 オペレーションデータ
0206-004 2-30 AFM01JGP
（（
（（
（
A02_02A02_02
A02_02A02_02
A02_02
））
））
）
全体認識全体認識
全体認識全体認識
全体認識
基板認識機能選択の全体認識を使用する場合、各認識マークの座標
とマーク No. を設定します。
11
11
1
点目 点目 
点目 点目 
点目 
XX
XX
X
（（
（（
（
横横
横横
横
））
））
）
、、
、、
、
YY
YY
Y
（（
（（
（
縦縦
縦縦
縦
））
））
）
1 点目認識マークの座標を設定します。
単位： mm
11
11
1
点目 マーク点目 マーク
点目 マーク点目 マーク
点目 マーク
No.No.
No.No.
No.
1 点目認識マーク No. を設定します。
22
22
2
点目 点目 
点目 点目 
点目 
XX
XX
X
（（
（（
（
横横
横横
横
））
））
）
、、
、、
、
YY
YY
Y
（（
（（
（
縦縦
縦縦
縦
））
））
）
2 点目認識マークの座標を設定します。
単位： mm
22
22
2
点目 マーク点目 マーク
点目 マーク点目 マーク
点目 マーク
No.No.
No.No.
No.
2 点目認識マークデータ No. を設定します。
33
33
3
点目 点目 
点目 点目 
点目 
XX
XX
X
（（
（（
（
横横
横横
横
））
））
）
、、
、、
、
YY
YY
Y
（（
（（
（
縦縦
縦縦
縦
））
））
）
3 点目認識マークの座標を設定します。
単位： mm
33
33
3
点目 マーク点目 マーク
点目 マーク点目 マーク
点目 マーク
No.No.
No.No.
No.
3 点目認識マークデータ No. を設定します。
マークNo.については、“（A03）基板認識マークデータ”を参照してくだ
さい。
11点目 マークNo.
Fig.3B50
12点目 マークNo.
Fig.3B52
13点目 マークNo.
Fig.3B54
10.000 [mm]
10.000 [mm]
1点目 X(横)
1点目 Y(縦)
Fig.3B49
100.000 [mm]
100.000 [mm]
2点目 X(横)
2点目 Y(縦)
Fig.3B51
0.000 [mm]
0.000 [mm]
Fig.3B53
3点目 X(横)
3点目 Y(縦)
（（
（（
（
A03A03
A03A03
A03
））
））
）
  
  
 
基基
基基
基
板板
板板
板
認認
認認
認
識識
識識
識
ママ
ママ
マ
ーー
ーー
ー
クク
クク
ク
デデ
デデ
デ
ーー
ーー
ー
タタ
タタ
タ
Fig.3B57 編集画面例
（（
（（
（
A03_01A03_01
A03_01A03_01
A03_01
））
））
）
マークマーク
マークマーク
マーク
No.No.
No.No.
No.
基板認識で使用する各認識マークのデータに対応します。
パターンプログラムごとに 10 種類のマーク No. を登録することがで
きます。
1
マークNo.
Fig.3B58
0206-004 2-31 AGH01JDTP
2.3 オペレーションデータ