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( ( ( ( ( C02_02 C02_02 C02_02 C02_02 C02_02 ) ) ) ) ) 割基板認識 割基板認識 割基板認識 割基板認識 割基板認識 割基板認識機能を設定します。 認識しない : 割基板認識機能を使用しません。 認識する : 割基板認識機能(2 点認識)を使用します。 • “認識する”に設定した場合 2.3 オペレーションデータ (A02)基板認識データ (A02_01)基板認 識機能選択 “基板認識…

((
((
(
C02C02
C02C02
C02
))
))
)
装装
装装
装
着着
着着
着
デデ
デデ
デ
ーー
ーー
ー
タタ
タタ
タ
(P)(P)
(P)(P)
(P)
((
((
(
C02_01C02_01
C02_01C02_01
C02_01
))
))
)
ユニットコントロールユニットコントロール
ユニットコントロールユニットコントロール
ユニットコントロール
装着データ(001, 002・・・・・U
n
)の使用を以下から選択します。
通常は、“装着”を選択してください。
装着 : 装着データユニットの装着データが有効となります。
スキップ : 装着データユニットの装着データが無効となります。
オフセットオフセット
オフセットオフセット
オフセット
X [mm]X [mm]
X [mm]X [mm]
X [mm]
、、
、、
、
オフセットオフセット
オフセットオフセット
オフセット
Y [mm]Y [mm]
Y [mm]Y [mm]
Y [mm]
装着データ(P)のすべての装着座標“X、Y”と割基板の認識座標に
対するオフセット値を設定します。
単位: mm
(a) 通常は、ゼロを使用します。
(b) このオフセットは、“A02_02 全体認識”の座標“X、Y”
には、影響しませんので注意してください。
オフセットオフセット
オフセットオフセット
オフセット
ZZ
ZZ
Z
装着データ(P)のすべての装着角度“Z”に対するオフセット値を設
定します。
単位: °(度)
通常は、ゼロを使用します。
0301-005 2-42
AGH01JDTP
2.5 装着データ
装着
ユニットコントロール
Fig.3B87
+000.000
+000.000
オフセットX[mm]
オフセットY[mm]
Fig.3B88
+000.00
オフセットZ[°]
Fig.3B89

((
((
(
C02_02C02_02
C02_02C02_02
C02_02
))
))
)
割基板認識割基板認識
割基板認識割基板認識
割基板認識
割基板認識機能を設定します。
認識しない: 割基板認識機能を使用しません。
認識する : 割基板認識機能(2 点認識)を使用します。
•“認識する”に設定した場合
2.3 オペレーションデータ (A02)基板認識データ (A02_01)基板認
識機能選択 “基板認識方法 割り認識”の設定により、以降(1)、
(2)のように認識座標が異なります。
基板認識方法 割り認識の設定
(1)“認識する”(通常の割り基板認識)
(2)“Un 全体”
(1)“認識する”(通常の割り基板認識)の場合
Fig.3B91 割基板認識の例
(a) 割基板認識機能の詳細については、“第 2 編: 操作(スーパーバイ
ザ)の 2 節 2. 各種機能”を参照してください。
(b) パターン原点は、必ず装着座標基準内に設定してください。
(c) 割基板認識座標の 1 点目と 2 点目は、適宜決めてください。
2.5 装着データ
0306-005 2-43 AGH01JDTP
認識する
割基板認識
Fig.3B90

認識座標 認識座標
認識座標 認識座標
認識座標
X1 [mmX1 [mm
X1 [mmX1 [mm
X1 [mm
]]
]]
]
、、
、、
、
認識座標 認識座標
認識座標 認識座標
認識座標
Y1 Y1
Y1 Y1
Y1
[[
[[
[
mmmm
mmmm
mm
]]
]]
]
パターン原点を基準として、1 点目の割基板認識座標“X1 と Y1”を
設定します。
単位: mm
認識座標 認識座標
認識座標 認識座標
認識座標
X2 [mmX2 [mm
X2 [mmX2 [mm
X2 [mm
]]
]]
]
、、
、、
、
認識座標 認識座標
認識座標 認識座標
認識座標
Y2 [mmY2 [mm
Y2 [mmY2 [mm
Y2 [mm
]]
]]
]
パターン原点を基準として、2 点目の割基板認識座標“X2 と Y2”を
設定します。
単位: mm
認識マーク 認識マーク
認識マーク 認識マーク
認識マーク
FM1FM1
FM1FM1
FM1
、、
、、
、
認識マーク 認識マーク
認識マーク 認識マーク
認識マーク
FM2FM2
FM2FM2
FM2
1 点目の割基板認識マーク No. FM1 と 2 点目のマーク No. FM2 を設定
します。
オペレーションデータの基板認識マークデータで設定されている
マーク No. から選択してください。
(2)“Un 全体”の場合
Fig.3B94-1 2 ユニットの例
• 各ユニットごとの認識座標“(X1,Y1),(X2,Y2)”と認識マーク“FM1,FM2”
を設定してください。
• 認識座標は、装着座標基準を原点として設定します。
2.5 装着データ
0306-005 2-44 AGH01JDTP
010.000
010.000
認識座標 X1[mm]
認識座標 Y1[mm]
Fig.3B92
100.000
100.000
認識座標 X2 [mm]
認識座標 Y2 [mm]
Fig.3B93
01
01
認識マーク FM1
認識マーク FM2
Fig. 3B94