DECAN_S1_Maintenance(Chi_Ver1.0)_Resize - 第45页
DE CAN S 1 M ain te na nc e Ha n db oo k 3-1 7 Chap ter 3 每日检查 Nex t Generation, Multi - Functi onal Placer Fix Camera Lens 检查及清扫 Step 4. 使用空 气 喷射 器 清 扫 镜 头 注 意 Cover Glass 材质是玻璃的因此易碎,要小心。

DECAN S1 Maintenance Handbook
3-16
Chapter 3
每日检查
Next Generation, Multi-Functional Placer
Fix Camera Lens 检查及清扫
每日检查
清除沾在Camera Lens上的异物,可以防止元件识别错误。
维护工具
(+)起子,空气喷射器
措施
Step 1. 进行X Frame的后面移动。
参考详见详见"4. X Frame 后面移动"(第1-4页)使 X Frame向背面进
行移动。
Step 2. 按 OP面板的'EMG'按 钮 停 止 作 业 后 ,依 次 按 'STOP','RESET'按钮。
详细内容请参阅详见详见"2. 紧急停止"(第1-2页)
Step 3. 利用(+)起子 分离螺钉
Fix
Camera
Lens
检查及清扫
(所需时间: 10分 / No. D-7)

DECAN S1 Maintenance Handbook
3-17
Chapter 3
每日检查
Next Generation, Multi-Functional Placer
Fix Camera Lens 检查及清扫
Step 4. 使用空气喷射器清扫镜头
注 意
Cover Glass材质是玻璃的因此易碎,要小心。

MEMO
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
3-18
每日检查