DECAN_S1_Maintenance(Chi_Ver1.0)_Resize - 第48页
每周检查 Chap ter 4 Nex t Generation, Multi - Functi onal Placer DE CAN S 1 M ain te na nc e Ha n db oo k 4-2 Head Mirror清扫 每周检查 维护工 具 空气喷射器 , 酒精 , 超细纤维布块 措施 Step 1. 参 考 详见 详见 "3. X - Frame 前面移 动 " ( 第 1 - 3 页 ) 、进…
每周检查
Chapter 4
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
4-1
Head Fly Camera Lens清扫
维护工具
空气喷射器,酒精,棉棒,扳手
措施
Step 1. 参 考详见详见"3. X-Frame 前面移动"( 第 1 - 3 页 ) 、进 行 X Frame
的前面移动。
Step 2. 按OP面板的'EMG'按钮停止作业后、依次按'STOP','RESET'按钮。
详细内容请参阅详见详见"2. 紧急停止"(第1-2页)
Step 3. 用M3扳手拧开Camera Cover固 定 螺 丝 后 、从 Head Ass'y中分离
Camera Cover
Step 4. 利用空气喷射器清扫相机镜头上的灰尘、如果没有完全清除杂质、就
在棉签上沾上少量酒精后擦拭
注 意
如果用力擦拭镜头，有可能损坏镜头表面。
Step 5. 参考 详见"3. 撤销紧急停止"(第1-6页)解除紧急停止后重新进行
作业
Head
Fly
Camera
Lens
清扫
Chapter 4
每周检查
(所需时间: 5分 / No. W-1)
每周检查
Chapter 4
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
4-2
Head Mirror清扫
每周检查
维护工具
空气喷射器,酒精,超细纤维布块
措施
Step 1. 参 考详见详见"3. X-Frame 前面移动"( 第 1 - 3 页 ) 、进 行 X Frame
的前面移动。
Step 2. 按OP面板的'EMG'按钮停止作业后、依次按'STOP','RESET'按钮。
详细内容请参阅详见详见"2. 紧急停止"(第1-2页)
Step 3. 用空气喷射器清扫Mirror的灰尘。
Step 4. 如果没有完全消除杂物时、在干净的布沾少量的酒精后进行擦拭
注 意
如果用力擦拭或用不干净的布块擦拭，有可能损坏Mirror表面的涂层。
涂层损坏时，请咨询 C/S公司（STS）或当地代理商。
Step 5. 参考 详见"3. 撤销紧急停止"(第1-6页)解除紧急停止后重新进行
作业
Head
Mirror
清扫
(所需时间: 5分 / No. W-2)
每周检查
Chapter 4
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
4-3
Solenoid Valve的检查
措施
Step 1. 在ANC上插入 CN040吸嘴
Step 2. 设 备 起 动 后 、把 ANC的CN040吸嘴安装到贴装头
Step 3. 选择MMI的"Diagnosis"菜 单 后 、选 择 "Vacuum"子菜单。
2
1
Solenoid
Valve
的检查
(所需时间: 20分 / No. W-3)