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2-55 2 3 选择“Z 轴高度补偿”选项卡并进行设置。 设置“Z轴高度补偿”选项卡 1 4 5 2 3 26276-P7-00 1. 从下拉框中选定“执行” 。 2. “Z 轴高度补偿”选择为“3D”或“激光” 。 3. 在 “标记号码” 中选择准备使用的标记号码 ( 只有 “Z 轴高度补偿” 选择为 “3D” 时才需设置标记号码。) 4. 在“修正方法”中选择补偿点数。 ‧ 不执行 不补偿相机头的高度。 ‧ 1 点补偿 通过测…
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3.6 高度参数 ( 选配 )
该画面，只有选配了激光高度感应器或 3D 投影仪的检查机才显示。
[数据编辑] -“高度”画面
以“高度基准”选项卡为例
测定点列表
参数标记数据列表
基本参数
照明设定参数
“Z轴高度补偿”选项卡 “高度基准”选项卡
[测试]按钮检出状态视野图像
26274-P7-00
在“Z 轴高度补偿”选项卡中，设置通过激光高度感应器或 3D 投影仪测量基板面的高度后对相机头的高度进行补
偿时使用的参数。在“高度基准”选项卡中，设置进行 3D 检查用的基准面的高度。
3.6.1 Z 轴高度补偿
准备检查的基板有挠曲时，通过测量基板面的高度之后对相机头的高度 (Z 轴 ) 进行补偿，可以正确检查基板。
下面，介绍使用 Z 轴高度补偿时的设置方法。
1
设置“最大元件高度”。
打开 [ 数据编辑 ] -“基板”画面，设置“最大元件高度”参数。
[数据编辑] -“基板”画面
设置最大元件高度
设置此处
26275-P7-00
n
要点
‧
若补偿之后的相机头会下降到比最大元件高度还低的位置，这可能会导致与高个元件发生接触，因此无法使用 Z 轴高度补偿。
‧
最大元件高度距离基板面的高度在 40mm 以下时，相机 ( 照明 ) 不会与元件发生干扰。
2
打开 [ 数据编辑 ]-“高度”画面。
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3
选择“Z 轴高度补偿”选项卡并进行设置。
设置“Z轴高度补偿”选项卡
1
4 5
2 3
26276-P7-00
1. 从下拉框中选定“执行”。
2. “Z 轴高度补偿”选择为“3D”或“激光”。
3. 在“标记号码”中选择准备使用的标记号码 ( 只有“Z 轴高度补偿”选择为“3D”时才需设置标记号码。)
4. 在“修正方法”中选择补偿点数。
‧
不执行
不补偿相机头的高度。
‧
1 点补偿
通过测定 1 点的高度之后进行补偿。
‧
2 点补偿
通过测定 2 点的高度之后进行补偿。
‧
3 点补偿
通过测定 3 点的高度之后进行补偿。
5. 输入补偿坐标。
‧
1 点补偿
[X ：1/2 基板长度，1/2 基板宽度 ]
‧
2 点补偿
[X ：1/3 基板长度，1/2 基板宽度 ]、[X ：2/3 基板长度，1/2 基板宽度 ]
‧
3 点补偿
[X：1/4 基板长度，1/2 基板宽度 ]、[X：2/4 基板长度，1/2 基板宽度 ]、[X：3/4 基板长度，1/2 基板宽度 ]
4
设置标记信息。
只有“Z 轴高度补偿”选择为“3D”时，才需设置标记信息。
1. 设置标记数据列表。
在与“Z 轴高度补偿”选项卡的“标记号码”中设置的号码相同的编号行中设置“标记名”与“标记
类型”。
设置标记数据列表
Z轴高度补偿
选择“Z轴高度补偿”
26277-P7-00
‧
标记名称
用半角英文数字输入标记的名称。字数控制在 19 字以内，无法使用空格键。
‧
标记类型
从下拉框中选择“Z 轴高度补偿”。
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2. 设置“基本”参数中的“标记查找范围 X、Y(mm)”。
“Z 轴高度补偿”值，将根据此处设置的范围内的 3D 平均高度算出。
“基本”参数
Z轴高度补偿
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5
测定高度。
按 [ 测试 ] 按钮，对设置的测定点测定高度。
参考
若检出了测定点，测量结果会显示在视野图像的左上角。
6
保存检查程序。
按按钮区的 [ 保存 ] 按钮，保存检查程序。
n
要点
在自动检查过程中，若对相机头的高度 (Z 轴高度 ) 进行了补偿，“自动检查”-“检查时间”画面的“高度补偿识别时间”显示框
中会显示识别时间。