CPP715A200_YSi Prog V3_C - 第122页
2-58 2 5 设置“照明设定”参数。 设置照明使基板颜色清晰可见。详细设置方法，请参照本章前述“3.2.3 ‘照明设定’参数”的内容。 “照明设定”参数的设置示例 以元件为单位测定 26282-P7-00 6 按 [ 提取图像 ] 按钮，确认提取状态。 确认基板面已显示为红色。 确认提取状态 以元件为单位测定 [提取图像]按钮 26283-P7-00 7 保存检查程序。 按按钮区的 [ 保存 ] 按钮，保存检查程序。
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2
3.6.2 高度基准
下面，介绍设置 3D 检查用的基准面高度的方法。高度基准可以以元件为单位测定，也可以以视野为单位测定。
请根据需要选择使用。
■ 以元件为单位测定
在检查元件时的图像内测定基板颜色部分的高度，将该高度作为以元件为单位的高度基准。
1
打开 [ 数据编辑 ]-“高度”画面。
2
选择“高度基准”选项卡并进行设置。
1. 从下拉框中选定“元件单位”。
2. “标记号码”中选择准备使用的标记号码。
设置“高度基准”选项卡
以元件为单位测定
选择“元件单位” 选择标记号码
26279-P7-00
3
设置标记数据列表。
在与“高度基准”选项卡的“标记号码”中选定的号码相同的编号行中设置“标记名称”与“标记类型”。
设置标记数据列表
以元件为单位测定
选择“高度基准”
26280-P7-00
‧
标记名称
用半角英文数字输入标记的名称。字数控制在 19 字以内，无法使用空格键。
‧
标记类型
从下拉框中选择“高度基准”。
4
设置“基本”参数。
“基本”参数
以元件为单位测定
26281-P7-00
标记查找范围 X、Y(mm)
设置提取基板颜色的范围。
增加亮度
为便于确认基板颜色而调亮整个标记查找范围。
降低亮度
为突出基板颜色而调暗整个标记查找范围。
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2
5
设置“照明设定”参数。
设置照明使基板颜色清晰可见。详细设置方法，请参照本章前述“3.2.3 ‘照明设定’参数”的内容。
“照明设定”参数的设置示例
以元件为单位测定
26282-P7-00
6
按 [ 提取图像 ] 按钮，确认提取状态。
确认基板面已显示为红色。
确认提取状态
以元件为单位测定
[提取图像]按钮
26283-P7-00
7
保存检查程序。
按按钮区的 [ 保存 ] 按钮，保存检查程序。
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2
■ 以视野为单位测定
预先以视野为单位对测定点进行示教，并将各个测定点的高度作为以视野为单位的高度基准。
1
打开 [ 数据编辑 ]-“高度”画面。
2
选择“高度基准”选项卡并进行设置。
1. 从下拉框中选择“视野单位”。
2. “修正方法”中选择补偿点数。
‧
1 点补偿
测定 1 点的高度作为基准。
‧
2 点补偿
测定 2 点的高度作为基准。
‧
3 点补偿
测定 3 点的高度作为基准。
设置“高度基准”选项卡
以视野为单位测定
1
32
测定点列表
26284-P7-00
3
设置标记数据列表。
参照前述“以元件为单位测定”的 Step3 的步骤设置标记数据列表。
设置标记数据、参数与确认提取状态
以视野为单位测定
标记数据列表
26285-P7-00
4
设置“基本”参数。
参照前述“以元件为单位测定”的 Step4 的步骤设置“基本”参数。