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2-59 2 ■ 以视野为单位测定 预先以视野为单位对测定点进行示教，并将各个测定点的高度作为以视野为单位的高度基准。 1 打开 [ 数据编辑 ]-“高度”画面。 2 选择“高度基准”选项卡并进行设置。 1. 从下拉框中选择“视野单位” 。 2. “修正方法”中选择补偿点数。 ‧ 1 点补偿 测定 1 点的高度作为基准。 ‧ 2 点补偿 测定 2 点的高度作为基准。 ‧ 3 点补偿 测定 3 点的高度作为基准。 设置“高度基准”选项…
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5
设置“照明设定”参数。
设置照明使基板颜色清晰可见。详细设置方法，请参照本章前述“3.2.3 ‘照明设定’参数”的内容。
“照明设定”参数的设置示例
以元件为单位测定
26282-P7-00
6
按 [ 提取图像 ] 按钮，确认提取状态。
确认基板面已显示为红色。
确认提取状态
以元件为单位测定
[提取图像]按钮
26283-P7-00
7
保存检查程序。
按按钮区的 [ 保存 ] 按钮，保存检查程序。
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2
■ 以视野为单位测定
预先以视野为单位对测定点进行示教，并将各个测定点的高度作为以视野为单位的高度基准。
1
打开 [ 数据编辑 ]-“高度”画面。
2
选择“高度基准”选项卡并进行设置。
1. 从下拉框中选择“视野单位”。
2. “修正方法”中选择补偿点数。
‧
1 点补偿
测定 1 点的高度作为基准。
‧
2 点补偿
测定 2 点的高度作为基准。
‧
3 点补偿
测定 3 点的高度作为基准。
设置“高度基准”选项卡
以视野为单位测定
1
32
测定点列表
26284-P7-00
3
设置标记数据列表。
参照前述“以元件为单位测定”的 Step3 的步骤设置标记数据列表。
设置标记数据、参数与确认提取状态
以视野为单位测定
标记数据列表
26285-P7-00
4
设置“基本”参数。
参照前述“以元件为单位测定”的 Step4 的步骤设置“基本”参数。
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2
5
按[创建]按钮。
相机移到测定点位置。
6
设置“照明设定”参数。
参照前述“以元件为单位测定”的 Step5 的步骤设置“照明设定”参数。
7
按 [ 提取图像 ] 按钮，确认提取状态。
确认基板面已显示为红色。
8
按 [ 自动创建 ] 按钮，搜索测定点。
显示确认对话框之后，按 [ 是 ] 按钮开始搜索。
自动从 1 号视野开始按顺序搜索最佳测定点，并自动设置坐标。
只有搜索成功的点才会自动设置坐标，若坐标值有变更，则显示为蓝色。
搜索失败的点，其坐标值显示为红色。
参考
‧
搜索会自动避开有元件框的位置进行搜索。
‧
根据设置的“修正方法”不同，搜索的测定点不一样。
1 点补偿 ：搜索视野中心附近。
2 点补偿 ：搜索对角上的 2 点。
3 点补偿 ：搜索的 3 点需使由该 3 点构成的三角形的面积达到最大。
n
要点
若有无法搜索到测定点的视野时，会显示错误提示。此时，请按照画面提示进行操作。
9
确认搜索的结果。
1. 搜索结束之后，会显示“高度基准测试结果”列表。确认以橙色或红色显示的测定点的位置。
2. 按 [ 关闭 ] 按钮，返回“高度”画面。
确认搜索结果
以视野为单位测定
“高度基准测试结果”列表
26286-P7-00
0
测定高度。
按 [ 测试 ] 按钮，对设定的视野内的测定点测定高度。
q
保存检查程序。
按按钮区的 [ 保存 ] 按钮，保存检查程序。