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2-12 2 2 设置基准标记。 1. 打开“基板”选项卡，从下拉框中选择“有效” 。 2. 在标记列表中的“编号”栏中输入标记的编号。此例中输入“1” 。 设置基准标记 “基板”选项卡 设置为“有效” 输入标记的编号 25209-P7-00 “基板”选项卡 ( 基板基准标记 ) 以基板为单位，修正基板的位置。 “拼板”选项卡 ( 拼板基准标记 ) 以各个拼板为单位，修正拼板的位置。 “局部”选项卡 ( 局部基准标记 ) 对各个元件等修…
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2.4 基准标记的设置
检查基板时，为保证检查始终在正确的位置上进行，需对因基板的外形加工所产生的误差、固定基板时所产生的
误差以及基板上的局部变形进行修正。修正方法是对基板上的基准标记进行识别，根据识别结果来修正位置。
基准标记有“基板基准标记”、“拼板基准标记”、“局部基准标记”3 种类型。可以根据需要选择使用，也可以同
时使用。
下面，以基板基准标记为例介绍为识别基板上的基准标记需进行的设置。
基板基准标记是将基板左下 ( 或左上 ) 的标记作为第 1 点标记，右上 ( 或右下 ) 的标记作为第 2 点标记进行登录，
对整个基板进行位置校正。最多可登录 3 个标记。还可以根据需要，在登录基板基准标记之后登录拼板基准标记、
局部基准标记。
以基板基准标记为例
基板 第2点标记
第1点标记 第3点标记
(根据需要登录)
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打开基准标记的设置画面。
按 [ 数据编辑 ] 按钮，打开“基准标记”选项卡画面。
“基准标记”选项卡画面
基本参数
[自动设定]
按钮
图像缩放
测试结果
照明设定参数
[保存]按钮
标记列表
标记数据列表
参数列表
[测试]按钮
[移动]按钮
[创建]按钮
[测试标记]按钮
[详细结果]按钮
25208-P7-00
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设置基准标记。
1. 打开“基板”选项卡，从下拉框中选择“有效”。
2. 在标记列表中的“编号”栏中输入标记的编号。此例中输入“1”。
设置基准标记
“基板”选项卡
设置为“有效”
输入标记的编号
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“基板”选项卡 ( 基板基准标记 )
以基板为单位，修正基板的位置。
“拼板”选项卡 ( 拼板基准标记 )
以各个拼板为单位，修正拼板的位置。
“局部”选项卡 ( 局部基准标记 )
对各个元件等修正任意的检查对象位置。
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使相机移到基准标记的位置。
从标记列表中选择第 1 点标记并按 [ 移动 ] 按钮，相机移到基准标记位置。
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设置标记数据列表。
在与标记列表的“编号”栏中输入的编号相同的编号行中设置“标记名称”与“标记类型”。
此例中在编号“1”行中设置。
标记数据列表
从下拉框中选择“基准标记”
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标记名称
用半角英文数字输入标记的名称。字数控制在 19 字以内，无法使用空格键，各个标记的名称不能相同。
标记类型
从下拉框中选择“基准标记”。
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设置提取光。
打开“照明设定”选项卡，按提取光的图像列表按钮。选择基准标记清晰可见的图像之后，按 [OK] 按钮。
此例中选择“MR”。详细内容，请参照本章后述“3.2.3 “照明设定”参数”。
选择提取光
提取光的图像列表按钮
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设置亮度值。
1. 按 [ 提取图像 ] 按钮之后，按放大按钮放大基准标记的图像。
2. 用亮度值滑动条调节亮度值，使只有标记显示为红色。
设置亮度值
放大按钮
亮度值滑动条
[提取图像]按钮
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按“基本”选项卡中的 [ 自动设定 ] 按钮。
显示是否自动设定的确认对话框之后，按 [ 是 ] 按钮。
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拖动鼠标框住标记。
在标记查找范围内，拖动鼠标框住标记。
检查机自动识别标记，并根据识别的结果，按指定的“识别类型”设置参数之后，进行识别测试。
此例中，自动设置“标记 X、Y 尺寸 (mm)”参数。
基准标记
拖动鼠标框住标记
实测数据 测试结果
[自动设定]按钮
自动设置的参数
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确认测试结果。
测试结果为 NG，即未能识别出标记时，必须从 Step5 开始重新设置。
参考
识别出标记时，视野图像的左上角会显示识别到的标记中心坐标。测试结束之后，如果按 [ 创建 ] 按钮，该坐标可以作为基准标记
的坐标输入到标记列表中。如果标记列表中的基准标记输入的是设计坐标时，切勿按 [ 创建 ] 按钮。
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继续对第 2 点基准标记进行识别测试。
按照相同的要领，使相机移到第 2 点基准标记的位置进行识别测试。直到测试结果为 OK。