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2-31 2 6 按 [ 判定条件 ] 按钮,设置判定条件。 打开“基本”选项卡,按 [ 判定条件 ] 按钮,打开“坏板标记规格值设定界面”对话框。 按照下列步骤设置判定条件。 1. 点击画面上的坏板标记,标记会自动进入红色方框内。 坏板标记规格值设定界面 判定条件值 1 2 3 4 5 26232-P7-10 2. 按 [ 检出 ] 按钮,显示有坏板标记时的规格值。 3. 再点击没有坏板标记的位置,使红色方框移到没有坏板标记的位置。 …

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3.3.4 “照明设定”参数
为识别坏板标记,还需设置“照明设定”参数。在此,以“亮度”为例介绍设置“照明设定”参数的方法。
1
打开“照明设定”选项卡,从“提取照明类型”中选择“亮度”。
“照明设定”参数
图像列表按钮
亮度
26231-P7-00
2
选择提取光。
1. 按提取光的图像列表按钮,打开“提取照明类型”画面。
2. 从提取光列表中选择可使坏板标记清晰可见的照明 ( 最多可同时选择 2 种照明 )。
3. 选择之后,按 [OK] 按钮,返回“坏板标记”画面。
3
选择屏蔽光。
按屏蔽光的图像列表按钮,打开“提取照明类型”画面。
根据需要,从屏蔽光列表中选择 1 种屏蔽光 ( 也可以不选 )。
4
选择降噪滤镜。
使用降噪滤镜删除噪点。有噪点时,可以从下拉框中选择使噪点平均化的滤镜大小。
5
设置“屏蔽光倍率”参数。
在 Step3 中选择了屏蔽光时,需在“屏蔽光倍率”栏中输入进行图像处理时用的屏蔽光倍率。

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6
按 [ 判定条件 ] 按钮,设置判定条件。
打开“基本”选项卡,按 [ 判定条件 ] 按钮,打开“坏板标记规格值设定界面”对话框。
按照下列步骤设置判定条件。
1. 点击画面上的坏板标记,标记会自动进入红色方框内。
坏板标记规格值设定界面
判定条件值
1
2
3
4
5
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2. 按 [ 检出 ] 按钮,显示有坏板标记时的规格值。
3. 再点击没有坏板标记的位置,使红色方框移到没有坏板标记的位置。
4. 按 [ 不检出 ] 按钮,显示没有坏板标记时的规格值。
5. 按 [ 应用 ] 按钮,自动将有标记与无标记时的规格中间值作为判定条件值输入到“判定条件”栏中。
如果不按 [ 应用 ] 按钮,直接按 [ 关闭 ] 按钮,取得的判定条件值将会被取消。
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进行识别测试。
按 [ 测试 ] 按钮,确认是否可以检出坏板标记。
参考
检出坏板标记时,标记画面的左上角会显示检测到的标记坐标。
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保存检查程序。
按按钮区的 [ 保存 ] 按钮,保存检查程序。

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3.4 视野参数
视野,是检查机进行检查时的相机视野。视野的设置,是在基板上想要检查的位置设置视野,对每个视野拍摄图
像并保存。进行自动检查时,机头移到所设置的坐标处进行检查。设置视野必须在检查机上进行,iPro 离线编程
软件 ( 选配 ) 无法设置视野。
参考
iPro 离线编程软件 ( 选配 ) 只可以利用保存的图像来修改数据。此处所保存的图像还可以作为 OK 图像在基板维修站 ( 选配 ) 中使用。
3.4.1 视野图像的添加
在检查程序中已保存有“Standard Image”图像时,为修改数据,还可以添加视野图像。
下面,介绍添加视野图像的方法。
1
打开“视野编辑”画面。
按 [ 数据编辑 ] 按钮,选择“视野编辑”选项卡。
2
将想要添加图像的基板传入检查机内。
3
按[新建]按钮。
按 [ 新建 ] 按钮,显示确认对话框之后,按 [ 是 ] 按钮。视野图像被保存,保存图像时的日期被输入到
“基板 ID”栏中。
“视野编辑”画面
添加保存视野图像
[新建]按钮被添加的视野图像视野图像
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保存检查程序。
按按钮区的 [ 保存 ] 按钮,保存检查程序。