KE-2070.2080.QA表.Rev1.00c(C) - 第23页
QA 表 NO. 3 NO. 3 (2/2) 机 种 ① 认 行 MS 参数的 OCC 认 像机 认认 (主,从 两 者), 确认 是否符合以下 认 格。 OCC 认 像机 认认 (角度) =-1.2 ∼ 0.4° OCC 认 像机 认认 (角度) =-1.2 ∼ 0.4° (注)如果不符合 认 格,再次 认 取,使 认 像机 认 整 认 具在 认认 器上 认 示 认 正 认 , 确认 和窗口没有接触。 认 入 认认认 的情况下, 认认…

QA表
NO.
2
NO.
2 (2/2)
机种
①手认控制,确认OCC垂直照明和角度照明的亮灯情况。 ※确认所有的OCC。
②前后认认偏光认光认,确认是否达到最亮的状认。
③确认认定认前后的安全认罩是否关认。
(角度照明) LGET认出认果 AVE_LVL = 95±1 ④按照MS参数的指示,把白色陶瓷基板认置到CAL认上。
(垂直照明) LGET认出认果 AVE_LVL = 48∼45 ※确认是否认示认准认流认。如果不是认,用PageUp,PageDown 认认行认更。
⑤点认确认按认,认整认流
认认VCS认认器的AVE_LVL认成既定认。(参照认1、认2)
(注) 角度照明: 认准认流认认220以下,偏差认流认认128。⑥认整后认定数次,确认是既定认。
垂直照明: 认准认流认认250以下,偏差认流认认250。⑦同认地认整所有的OCC垂直照明、角度照明。
(注)白色陶瓷基板使用3个月后认更认新的。(认认后认及认更认。)
(注)在认整照明认认了避免外界光认的影响,认将表面无光认板置于陶瓷基板的前后以遮蔽外界光认。
BOC认认、IC认认认认认的照明亮度认整影响认认的认
像。
也影响供料认认认认的认像。
①认认认认精度认化
②认生认认认认异常
③认装偏斜
④吸附位置自认修正位置偏斜
⑤吸附率降低
NO
①
②
NO. 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【2】−2
KE-2070/2080
装置名称
OCC装配
确认方法及认整方法(故障认理方法)
功能名称
OCC照明光量认整(OCC照明)
认制日期
2006/9/20
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用(认格认整认的意认)
认想故障(认认格认整认不良而认生的故障)
认象元件
40001904
LIGHT CONTROL基板认(KE2060) LIGHT CONTROL基板的基准认认
认更履认
认号品名 有关认量特性
内容
40001979
OCC同认照明基板认 DC认源认出认认
'06.09.20 新认
40001982
OCC角度照明基板认 DC认源认出认认
日期
E2107998000
陶瓷基板(V002)
図1 MSパラメータ画面
図2 VCSモニタ
夕
1 MS歌方 鮫中
夕2 VCS酌篇匂
图1 MS参数界面
图2 VCS监视器

QA表
NO.
3
NO.
3 (2/2)
机种
① 认行MS参数的OCC认像机认认(主,从两者),确认是否符合以下认格。
OCC认像机认认(角度)=-1.2∼0.4°
OCC认像机认认(角度)=-1.2∼0.4° (注)如果不符合认格,再次认取,使认像机认整认具在认认器上认示认正认,确认和窗口没有接触。
认入认认认的情况下,认认器所认示的部品框等会认生认斜或偏移。
① 认认认认精度认化
② 认生认认认认异常
③ 认认器所认示的部品框认生认斜或偏移。
NO
①
②
NO. 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【2】−3
内容
'06.09.20 新认
E2106998000 认像机认整认具
日期
40001212 认像机认装
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障(认认格认整认不良而认生的故障)
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用(认格认整认的意认)
确认方法及认整方法(故障认理方法)
功能名称
OCC认像机认认认整(角度)
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
OCC装配

QA
表
NO.
1 (1/2)
NO.
1 (2/2)
机种
向CAL认上移认HMS认感器,认松2认的螺认cap,
把认感器下面和CAL认上面的距离认整成认格认,
认认螺认cap,认行固定。
垂直认感器下面和CAL部上面的距离 此认,确认FAR灯和NEAR灯均亮灯。
→ 40±0.2mm
・高度测定错误
NO
①
②
NO. 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【3】−1
内容
'06.09.20 新认
日期
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障(认认格认整认不良而认生的故障)
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用(认格认整认的意认)
功能名称
HMS认感器高度认整
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
HMS
确认方法及认整方法(故障认理方法)
CAL块上面
FAR灯 NEAR灯
レンジ表示灯 点灯状態
NEAR/FAR 両点灯:測定中心距離±1mm
NEAR 点灯:測定範囲内近距離側
FAR 点灯:測定範囲内遠距離側
NEAR/FAR 両点滅:測定範囲外
袈律⑪幣菊 疏菊彜蓑
NEAR/FAR 譲疏菊:霞協嶄伉鉦宣±1mm
NEAR 疏菊:霞協袈律坪除鉦宣迦
FAR 疏菊:霞協袈律坪垓鉦宣迦
NEAR/FAR 譲註菊:霞協袈律翌
指示灯 灯亮状态
NEAR/FAR 两灯都亮:测量中心距离±1mm
NEAR 灯亮:测定范围内近距离侧
FAR 灯亮:测量范围内远距离侧
NEAR/FAR 两灯都不亮:测量范围以外