KE-2070.2080.QA表.Rev1.00c(C) - 第25页

QA 表 NO. 1 (1/2) NO. 1 (2/2) 机 种 向 CAL 认 上移 认 坏 认认认 感器, 认 松螺 认 cap( 2 认 ), 认 坏 认认认 感器下面和 CAL 认 上面的距离 认认认 格 认 移 认 BM 认认 架,然后用螺 认 cap固定。 ・ 坏标记传感器和CAL 部上面的距离 → 28 mm ・ 坏标记的检测错误 NO ① ② NO. 担当人 ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ 【 4 】− 1 KE-207…

100%1 / 110
QA
NO.
1 (1/2)
NO.
1 (2/2)
CAL上移HMS感器,2的螺cap,
感器下面和CAL上面的距离整成,
认认cap,行固定。
垂直感器下面和CAL部上面的距离 确认FAR灯和NEAR灯均亮灯。
→ 40±0.2mm
高度测定错误
NO
NO. 担当人
3】−1
内容
'06.09.20
日期
更履
号品 关认量特性
象元件
想故障(认认不良而生的故障)
量保认认认
 功能安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
量特性()
功能作用(的意
功能名称
HMS感器高度
制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
HMS
确认方法及整方法(故障理方法)
CAL块上面
FAR灯 NEAR
レン表示灯 点灯状
EAR/FAR 両点灯測定中心距離±1mm
NEAR       点灯:測定範囲内近距離側
FAR 点灯:測定範囲内遠距離側
EAR/FAR 両点滅:測定範囲外
袈律幣菊 疏菊彜蓑
NEAR/FAR 疏菊:霞協嶄伉鉦宣±1mm
NEAR 疏菊:霞協袈律坪除鉦宣迦
FAR 疏菊:霞協袈律坪垓鉦宣迦
NEAR/FAR 註菊:霞協袈律
指示灯 灯亮状态
NEAR/FAR 两灯都亮:测量中心距离±1mm
NEAR 灯亮:测定范围内近距离侧
FAR 灯亮:测量范围内远距离侧
NEAR/FAR 两灯都不亮:测量范围以外
QA
NO.
1 (1/2)
NO.
1 (2/2)
CAL上移认认认感器,松螺cap(2),
认认认感器下面和CAL上面的距离认认认
BM认认架,然后用螺cap固定。
坏标记传感器和CAL部上面的距离 →
28
mm
坏标记的检测错误
NO
NO. 担当人
4】−1
KE-2070/2080
装置名称 认认认感器 确认方法及整方法(故障理方法)
功能名称
BMR感器高度
制日期
2006/9/20
量保认认认
 功能安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
量特性()
功能作用(的意
想故障(认认不良而生的故障)
象元件
更履
号品 关认量特性
内容
'06.09.20
日期
+0.5
 0
CAL块上面
QA
NO.
1 (1/2)
NO.
1 (2/2)
1.确认方法 把由尼塔公司制的放到下定。
认认
用由尼塔公司的如下。
1)认认在机外定形完了后72240内施加力。
2)定皮认认,用L手或棒状物敲打所有皮中央定,麦克在皮认认度方向
   接受中央的振(认认30N左右,注意。)
3)X,Y认达认达认认
的朝向不同力也不同,在下列位置定。
4)机内定形,XY1往返运认,之后关认罩用通常速度运认
   
系到·吸附位置的认认定特性),直接影响装精度。
CDE
1.装精度
CDE
2.生吸附
CDE
3.因吸附不良生芯片跳起,激光
CDE
4.和停止故障
CDE
CDE
CDE
NO 更履
日期 NO. 内容 担当人
5】−1
'06.09.20
认达(同步皮YM)
240N345N
325±20N
190N以下
认达(同步皮XM)
120N 195N
175±20N
100N以下
Y皮(同步皮YB)
1050N1280N
1230±50N
800N以下
X皮(同步皮XB)
850N1020N
1070±50N
650N以下
定部位 认认
的判定(认认认)
40000717 同步皮YM
40000675 同步皮XM
40016697 同步皮YB(E)
40000733 同步皮YB(L)
40000732 同步皮YB
40000688 同步皮XB
号品 关认量特性
象元件
内容
想故障(认认不良而生的故障)
故障生履
日期
功能作用(的意
1157
70M80M 3.8 70 1115
同步皮XB 全机
3.8 60
119
同步皮YA 全机
2.5 40 93
同步皮XA 全机
2.5 20
认认量皮认认度皮跨度
(g/mmm) (mm) (mm)
量保认认认
 功能安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
量特性()
认种认
功能名称
XY皮认认力(1/3)
制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
XY装置(1)
确认方法及整方法(故障理方法)
同步皮YB
80E
3.8 70 1325
70L80L 3.8 70 1221
皮带轮固定
位置
(
A
)
皮带轮固定
位置
(
)
应在放大图的固定螺丝位置
(A)或(B)测定和设定皮带张
力。
X已 Y已
朔何
朔何
X討揮
Y討揮
Y討揮
X瀧器討揮
X瀧器討揮
念何念何
X轴 Y轴
X皮带
Y皮带
Y皮带
X马达皮带
Y马达皮带