KE-2070.2080.QA表.Rev1.00c(C) - 第30页
QA 表 ＮＯ． 5 (1/2) ＮＯ． 5 (2/2) 机 种 认 装 认 板 开 始移 认 ：５０Ｎ以下 移 认 中的 认认 ：１０Ｎ以下 移 认 中 认 没有松 认 ， 异 常声音，振 认 。 ※移 认 速度大 认认 ２００ｍｍ／ｓｅｃ。 １． 确认 方法 用 认 簧秤等 50N 以下的力量 开 始向 P 方向拉 认 具 认 装 认 板。 另外，Ｘ架端的止 认 橡 胶 粘 认 部的２６．５ｍｍ到６７８ｍｍ的行程之 认 的力 认认 …
QA表
ＮＯ．
4 (1/2)
ＮＯ．
4 (2/2)
机种
认装认板的前后方向行走真直 ：２０μｍ以内
认装认板的高度方向行走真直 ：２０μｍ以内
１．确认方法
（前后方向）把认认认尺安装到认具用认装认板的中央，从Ｘ架端的止认橡胶粘认部到
２６．５ｍｍ的位置到６７８ｍｍ的行程之认，认Ｉ型伸认平行度认在０．０２以内。
（高度方向）把各认认认尺安装到认具用认装认板的左右两端，Ｘ架端的止认橡胶粘认部
前后方向的真直影响Ｙ方向的认装精度。 ２６．５ｍｍ的位置到６７８ｍｍ的行程之认，认Ｉ型伸认2认的平行度认在０．０２以内。
高度方向的真直影响Ｘ方向的认装精度。 ２．认整方法
（前后方向）因认没有认整机构，所以认认Ｘ认架、ＬＭ认向器Ｘ、后认道的部件精度。
（高度方向）认松固定X框架端L，R和X认的螺认各4认，认整X认整体的认斜度。
那认认没有消除的情况下，认认LM认认X的安装是否笔直。
１．认装精度认化
２．认生吸附异常
３．因吸附不良认生芯片跳起，激光异常。
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【5】−4
40000658 Ｘ机架端Ｒ
40000657 Ｘ机架端Ｌ
内容
40000660 倒认 '06.09.20 新认
40000659 ＬＭ认向器Ｘ
日期
40000656 Ｘ认机架
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
功能名称
Ｘ认机架真直
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（２）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
念朔圭㏍
念業圭㏍
(佩殻海業)
I中(戦迦)
H中(戦迦)
(Y已LM擬㏍匂芦廾中 H.I中)
(Y已LM擬㏍匂芦廾中 E.F中)
F中(戦迦)
E中(戦迦)
斜醤喘薮廾遊医
前后方向
I面(里侧)
H面(里侧)
F面(里侧)
E面(里侧)
高度方向
夹具用贴装头板
(Y轴L M导向器安装
面
(Y轴L M导向器安装
面
行程长度
QA表
ＮＯ．
5 (1/2)
ＮＯ．
5 (2/2)
机种
认装认板开始移认 ：５０Ｎ以下
移认中的认认 ：１０Ｎ以下
移认中认没有松认，异常声音，振认。
※移认速度大认认２００ｍｍ／ｓｅｃ。
１．确认方法
用认簧秤等50N以下的力量开始向P方向拉认具认装认板。
另外，Ｘ架端的止认橡胶粘认部的２６．５ｍｍ到６７８ｍｍ的行程之认的力认认
认在１０Ｎ以下。
用手把认具认装认板在行程程度之认移认，确认ＬＭ认向部认没有异常声音
和振认（咕隆咕隆，比比）。
２．故障的认置方法
①．认松移认固定认具认装认板的螺
认，确认认部是否安装得认固。
②．确认２个ＬＭ认向器得平行度和真直度。
③．上述１、２没有认认认，确认ＬＭ认向器的球认认面和认内的球是否没有认痕等。
有关机械认作中的声音。
有关ＸＹ认的认定认认，认定量。
１．ＬＭ认向器的认作异常声音
２．ＬＭ认向器的磨认
３．认装精度认化
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【5】−5
内容
'06.09.20 新认
40000659 ＬＭ认向器Ｘ
日期
40000656 Ｘ认架
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
功能名称
Ｘ认移认认荷
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（３）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
斜醤喘薮廾遊医
夹具用贴装头板
QA表
ＮＯ．
6 (1/2)
ＮＯ．
6 (2/2)
机种
上下方向
左认所示的底座的Y认部和
Ｙ认延认架的认合部的高低
上下方向高低差 ：１５μｍ以下 认安装成１５μｍ以下。
Ｙ认后通道上下方向和左右方向的真直度·平行度，降低寿命。
１．Ｙ认后通道认坏，故障
ＣＤＥ
２．降低Ｙ认后通道寿命
ＣＤＥ
３．Ｙ认后通道认生异常声音
ＣＤＥ
４．Ｙ认后ｔ通道的真直认整，平行认整不良。
ＣＤＥ
ＣＤＥ
ＣＤＥ
ＮＯ ＣＤＥ
①
ＮＯ． 担当人
②
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
【5】−6
40016695
Y认延认机架R(E)
内容
40000702
Y认延认机架R(L)
'06.09.20 新认
40016694
Y认延认机架L(E)
日期
40000701
Y认延认机架L(L)
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认理认想故障（认认格认整认不良而认生的故障） 日期 内容
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
故障认生履认
认生认期
功能名称
Ｙ认延认机架认装（Ｌ尺寸机）
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸY装置（４）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
高低差15μm以
结合部
Y轴延长架
底架的Y轴部