KE-2070.2080.QA表.Rev1.00c(C) - 第32页
QA 表 ＮＯ． 7 (1/2) ＮＯ． 7 (2/2) 机 种 １．左 认 的后ｔ通道真直度 １−１． 确认 方法 ①安装 认 了 认 置Ｉ型伸 认 的 认 具。 左 认 的Ｙ 认 后通道的真直度 ：２０μｍ以下 ②把 认认 表安装到后通道 认 ，在 认 向器的 两 端 认 整 I 型伸 认 位置 左右的Ｙ 认 右ｔ通道平行度 ：２０μｍ以下 认认认 表的直 认 ” ０ ” 。 ③在后通道的全行程， 确认 真直度 认 ２０μｍ以下。 …
QA表
ＮＯ．
6 (1/2)
ＮＯ．
6 (2/2)
机种
上下方向
左认所示的底座的Y认部和
Ｙ认延认架的认合部的高低
上下方向高低差 ：１５μｍ以下 认安装成１５μｍ以下。
Ｙ认后通道上下方向和左右方向的真直度·平行度，降低寿命。
１．Ｙ认后通道认坏，故障
ＣＤＥ
２．降低Ｙ认后通道寿命
ＣＤＥ
３．Ｙ认后通道认生异常声音
ＣＤＥ
４．Ｙ认后ｔ通道的真直认整，平行认整不良。
ＣＤＥ
ＣＤＥ
ＣＤＥ
ＮＯ ＣＤＥ
①
ＮＯ． 担当人
②
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
【5】−6
40016695
Y认延认机架R(E)
内容
40000702
Y认延认机架R(L)
'06.09.20 新认
40016694
Y认延认机架L(E)
日期
40000701
Y认延认机架L(L)
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认理认想故障（认认格认整认不良而认生的故障） 日期 内容
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
故障认生履认
认生认期
功能名称
Ｙ认延认机架认装（Ｌ尺寸机）
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸY装置（４）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
高低差15μm以
结合部
Y轴延长架
底架的Y轴部
QA表
ＮＯ．
7 (1/2)
ＮＯ．
7 (2/2)
机种
１．左认的后ｔ通道真直度
１−１．确认方法
①安装认了认置Ｉ型伸认的认具。
左认的Ｙ认后通道的真直度 ：２０μｍ以下 ②把认认表安装到后通道认，在认向器的两端认整I型伸认位置
左右的Ｙ认右ｔ通道平行度 ：２０μｍ以下 认认认表的直认”０”。
③在后通道的全行程，确认真直度认２０μｍ以下。
１−２．认整方法
①左认所示的底座的Y认部的认面加工面和后通道的距离在后通
道的前后两端距离，认整认１４．５ｍｍ。
②认松真直度认认格外的后通道螺认，把认道位置的真直度重新
认整到认２０μｍ以下，认认螺认。
Ｙ坐认有关Ｘ坐认位置的偏斜，影响Ｘ方向的认装精度。
会认Ｙ认
后通道增加认荷，Ｙ认后通道认坏，降低寿命。
１．认装精度（Ｘ方向）的认化
２．Ｙ方向移认认认生异常声音
３．Ｙ认后通道认坏，降低寿命。
ＮＯ
①
ＮＯ． 担当人
②
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
【5】−7
内容
40016696 后通道Ｙ（Ｅ） '06.09.20 新认
40000703 后通道Ｙ（Ｌ）
日期
40000700 后通道Ｙ
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
功能名称
Ｙ认后ｔ通道的真直·平行（１／２）
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（５）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
QA表
ＮＯ．
8 (1/2)
ＮＯ．
8 (2/2)
机种
２．左右后通道的平行度
２−１．确认方法
①把上认的认具固定到左认的2个后通道部。
②把认定认器安装到认具右端，认到右认的后通道内认面。
③在全行程移认认具，确认平行度认２０μｍ以下。
２−２．认整方法
①在后通道的前后两端附近，上认表示的底架Ｙ认部认面的加工面和后通道的
ＮＯ． 担当人
距离认整认１４．５ｍｍ。
②认松平行度认格外的右认后通道螺认，认整认道位置，把平行度重新认整
认２０μｍ以下，然后认认螺认。
【5】−8
内容
'06.09.20 新认
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认更履认
日期
功能名称
Ｙ认后ｔ通道的真直·平行（２／２）
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（５）
测定仪器
夹具
后通道(左侧)
后通道(右侧)