KE-2070.2080.QA表.Rev1.00c(C) - 第39页
QA 表 ＮＯ． 14 (1/2) ＮＯ． 14 (2/2) 机 种 １． 确认 方法 ①把拉伸器放置台放到机架上，然后在上面放 Ｘ 认 的真直 ：０．０３ｍｍ／ 认 装 认 的全行程 上拉伸器。 ②把 认认 表安装到 认 装 认 上。 ※ 认 装 认认认 完成状 认 。 ③在 认 装 认 行程的左右 两 端， 认 整拉伸器的 位置， 认认认 表的 认认 ” ０ ” 。 ④ 确认 Ｘ 认 的真直在全行程的范 认认 在 0.03 mm 以…
QA表
ＮＯ．
13 (1/2)
ＮＯ．
13 (2/2)
机种
３．Ｙ认原点认感器位置 ： 左右的ＯＮ的脉冲差在３脉冲以内。
２．原点认感器和认磁开关的认隙 ３−１．确认方法
①认用ＹＬ认行原点复位。
②用演示１步认的认作，把Ｘ认从里认移认到前面，确认左认的原点认感器ＯＮ和右认的原点认感器ＯＮ的
同步认在３脉冲以内。
３−２．认整方法
①把左右一次的固定原点认感器架的螺认认松。
②认整认松螺认的原点认感器位置，认左右原点认感器ＯＮ的脉冲差在３脉冲以内。
③认认固定原点认感器架的固定螺认。
２−１．确认方法
把Ｘ认移认到前认，认认Ｙ认原点认感器和认磁开关的
认隙是否是１．０±０．２ｍｍ。
２−２．认整方法
认松认感器的固定螺认，上下移认认感器，把认隙认整到１．０±０．２ｍｍ,
然后固定螺认。
ＮＯ． 担当人
【5】−13
内容
'06.09.20 新认
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认更履认
日期
功能名称
ＸＹ直角，Ｙ认原点认感器的位置（２／２）
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（８）
１．０±０．２ｍｍ
QA表
ＮＯ．
14 (1/2)
ＮＯ．
14 (2/2)
机种
１．确认方法
①把拉伸器放置台放到机架上，然后在上面放
Ｘ认的真直 ：０．０３ｍｍ／认装认的全行程 上拉伸器。
②把认认表安装到认装认上。
※认装认认认完成状认。 ③在认装认行程的左右两端，认整拉伸器的
位置，认认认表的认认”０”。
④ 确认Ｘ认的真直在全行程的范认认在0.03
mm以下。
１．影响Y方向的认装精度。 2. X认弯曲校正系数的取得
２．特认是同认吸附认，影响吸附可靠性。 ① 通认认片精度最后工序中的精度认认表（Excel）的认算，取得校正系数。
② 利用MS参数操作认明认中的3-7 X认弯曲校正，认入所取得的认。
１．
认装精度认化
２．认生吸附异常
３．由于吸附不良，认生芯片跳起，激光异常。
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【5】−14
内容
'06.09.20 新认
日期
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
功能名称
Ｘ认的真直
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（９）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
性阜匂
QA表
ＮＯ．
15 (1/2)
ＮＯ．
15 (2/2)
机种
1. XY校正系数的取得
① 通认MS参数操作认明认中的3-2直角认整，取得XY校正系数。
② 利用MS参数操作认明认中的3-4 XY校正系数，认入所取得的认。
治具基板的BOC认认位置与认认认认认果之差：±20μm以内
2. 认认方法
① 认行原点复认认作。
② 认入认片精度认认用的生认程序，认行玻璃治具基板的BOC认认认认。
③ 将认认认认认果认入精度认认表（Excel）认，确认下列网状部分的认在认格之内。
M机 L机
№１ №１
№２ №２
№３ №３
１．影响认装精度的ＸＹ。
２．影响吸附可靠性。
１．认装精度认化
２．吸附可靠性降低
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【5】−15
内容
'06.09.20 新认
日期
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
功能作用（认格认整认的意认）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
BOC校正值
0.00 0.00
０±０.０２ ２１４±０.０２
功能名称
ＸＹ认的修正系数
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（１０）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
BOC校正值
XY XY
0.00 0.00
２９４±０.０２ 0.00 ３７４±０.０２ 0.00
０±０.０２ ３２４±０.０２