KE-2070.2080.QA表.Rev1.00c(C) - 第40页
QA 表 ＮＯ． 15 (1/2) ＮＯ． 15 (2/2) 机 种 1. XY 校正系数的取得 ① 通 认 MS 参数操作 认 明 认 中的 3-2 直角 认 整，取得 XY 校正系数。 ② 利用 MS 参数操作 认 明 认 中的 3-4 XY 校正系数， 认 入所取得的 认 。 治具基板的 BOC 认认 位置与 认认认认认 果之差： ±20 μ m 以内 2. 认认 方法 ① 认 行原点 复认认 作。 ② 认 入 认 片精度 认认 …
QA表
ＮＯ．
14 (1/2)
ＮＯ．
14 (2/2)
机种
１．确认方法
①把拉伸器放置台放到机架上，然后在上面放
Ｘ认的真直 ：０．０３ｍｍ／认装认的全行程 上拉伸器。
②把认认表安装到认装认上。
※认装认认认完成状认。 ③在认装认行程的左右两端，认整拉伸器的
位置，认认认表的认认”０”。
④ 确认Ｘ认的真直在全行程的范认认在0.03
mm以下。
１．影响Y方向的认装精度。 2. X认弯曲校正系数的取得
２．特认是同认吸附认，影响吸附可靠性。 ① 通认认片精度最后工序中的精度认认表（Excel）的认算，取得校正系数。
② 利用MS参数操作认明认中的3-7 X认弯曲校正，认入所取得的认。
１．
认装精度认化
２．认生吸附异常
３．由于吸附不良，认生芯片跳起，激光异常。
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【5】−14
内容
'06.09.20 新认
日期
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
功能名称
Ｘ认的真直
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（９）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
性阜匂
QA表
ＮＯ．
15 (1/2)
ＮＯ．
15 (2/2)
机种
1. XY校正系数的取得
① 通认MS参数操作认明认中的3-2直角认整，取得XY校正系数。
② 利用MS参数操作认明认中的3-4 XY校正系数，认入所取得的认。
治具基板的BOC认认位置与认认认认认果之差：±20μm以内
2. 认认方法
① 认行原点复认认作。
② 认入认片精度认认用的生认程序，认行玻璃治具基板的BOC认认认认。
③ 将认认认认认果认入精度认认表（Excel）认，确认下列网状部分的认在认格之内。
M机 L机
№１ №１
№２ №２
№３ №３
１．影响认装精度的ＸＹ。
２．影响吸附可靠性。
１．认装精度认化
２．吸附可靠性降低
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【5】−15
内容
'06.09.20 新认
日期
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
功能作用（认格认整认的意认）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
BOC校正值
0.00 0.00
０±０.０２ ２１４±０.０２
功能名称
ＸＹ认的修正系数
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（１０）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
BOC校正值
XY XY
0.00 0.00
２９４±０.０２ 0.00 ３７４±０.０２ 0.00
０±０.０２ ３２４±０.０２
QA表
ＮＯ．
16 (1/2)
ＮＯ．
16 (2/2)
机种
认参照下认以后的内容。
１．认磁认尺和认感器认装认的认隙 ：０．２５±０．１ｍｍ
２．认感器认装认和后通道Ｙ的认隙 ：０．６５±０．１ｍｍ （Ｙ认）
１．认了正确地供料需要控制ＸＹ认的位置，十分重要。
２．ＸＹ认认磁认尺认生警认，ＸＹ认不认作。
（认源关掉之后，需要重新打开认源。）
３．认尺和认感器认装认的相认位置与XY认的认作有直接关系。
１．ＸＹ认认作停止
２．认感器认坏
３．ＸＹ认异常认作
４．认装精度认
化
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【5】−16
内容
'06.09.20 新认
日期
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
功能名称
认磁认尺认隙（１／３）
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（１１）
确认方法及认整方法（故障认理方法）