(SPC) P ARMI だけの半導体技術の強み 1. 業界最速のサイクルタイム 最 速 の レ ー ザ ー ス キ ャ ン ⽅ 式 同 ⼀ 分 野 最 速 の 検 査 速 度 : 1 5 c m / s e c 2