装置技術 – PARMI - 第5页
P ARMI だけの 3D A OI の強み 1. 業界最速のサイクルタイム 同 ⼀ 分 野 最 速 の 検 査 速 度 : 6 5 c m / s e c 世 界 唯 ⼀ の レ ー ザ ー ラ イ ン ビ ー ム ( L i n e B e am ) ス キ ャ ン ⽅ 式 2
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